一种铜掺氧化锌透明导电薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114107917B

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN202111332943.0

    申请日:2021-11-11

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/35 C23C14/08

    摘要: 本发明公开一种CZO透明导电薄膜,成分组成为:Cu(1at.%~2at.%),Zn(48at.%~50at.%),O(50at.%~52at.%),呈纤维状生长结构,包括多条被阻断的柱状晶,相邻柱状晶之间无微裂纹或微孔洞,密度为5.3~5.5g/cm3。该导电薄膜具有较低的电阻率,较好的透光率。本发明还提供了一种CZO透明导电薄膜的制备方法,包括:向镀膜腔室抽真空,持续通入惰性气体,设置靶电源参数,采用纯CZO陶瓷靶在基体上进行单靶溅射、以ZnO陶瓷靶和金属Cu靶在基体上进行双靶共溅射或以ZnCu合金靶在基体上进行反应溅射以形成CZO透明导电薄膜。该方法制备简单、高效。

    一种无损检测导电氧化物薄膜电学性能的方法

    公开(公告)号:CN111122545B

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN201911397370.2

    申请日:2019-12-30

    IPC分类号: G01N21/65

    摘要: 本发明的目的在于提供一种快速、无损检测导电氧化物薄膜电学性能的方法,首先利用激光拉曼(Raman)光谱仪测定导电氧化物薄膜的特定光谱,将特定光谱进行定量,定量方法可对拉曼的E2high,AM和LO三种信号进行准确定量与区分,进而间接解决了该三类信号对应的本征缺陷或非本征缺陷结构难以定量的难题;接着将光谱定量数据与霍尔测试仪实际测到的电学数据进行比对分析,得出对应关系;最后根据对应关系,就可以利用拉曼光谱仪这种无损检测手段,快速测量出导电氧化物薄膜的电学性能,在检测领域具有极大的应用前景。

    一种抗高温水蒸气腐蚀的纳米梯度复合多层涂层及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN109234694B

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN201811268906.6

    申请日:2018-10-29

    摘要: 本发明公开了一种抗高温水蒸气腐蚀的纳米梯度复合多层涂层,由纳米梯度结构的CrxAlySi1‑x‑y层、CraAlbSicN1‑a‑b‑c层以及CreN1‑e层依次沉积在基体上形成,0.45≤x≤0.6,0.15≤y≤0.3,0.3<a≤0.4,0.2≤b≤0.25,0.06≤c≤0.13,0.85<e≤1,x、y、a、b、c、e均为平均原子比。本发明还公开了所述涂层的制备方法,分成三个时间段进行沉积,分别控制各时间段的溅射时间、所用靶材及其溅射功率以及通入N2的流量制得,得到的涂层硬度高达18~23GPa,在300~800℃冷热交替水蒸气腐蚀下5~7次,涂层不开裂,特别适合应用于发电领域。

    一种高硬度MAX相陶瓷涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109487209A

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201811524622.9

    申请日:2018-12-13

    IPC分类号: C23C14/06 C23C14/35 C23C14/02

    摘要: 本发明公开了一种高硬度的MAX相陶瓷涂层,所述涂层的成分组成为VxAlyC1-x-y,x=0.52~0.54,y=0.23~0.24,其中x,y为原子比率;所述涂层为结晶态,呈V型柱状晶生长结构,涂层为六方晶体结构;所述涂层利用X射线衍射在2θ=10~90°范围内测试,只在35.55°处出现MAX相(100)衍射峰,在63.85°处出现MAX相(110)衍射峰。该MAX相陶瓷涂层采用磁控溅射法并辅助射频叠加中频的电源施加方式,在非晶基体上非外延生长得到,得到的VxAlyC1-x-y涂层硬度高达20~25Gpa,大大提高了涂层的硬度,增强了其防护性能。

    一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN104498872B

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:CN201410647741.9

    申请日:2014-11-14

    IPC分类号: C23C14/06 C23C14/35

    摘要: 本发明公开了一种高硬度耐磨损的硼化钒涂层,所述的涂层组成为VxBy,其中y/x=1.5~2.4;所述的涂层由长短不一的柱状晶组成,柱状晶宽度为50nm~300nm,柱状晶长宽比为5~30;涂层密度在4.0g/cm3~4.9g/cm3;所述的涂层利用X射线衍射(XRD)检测,具有高度(001)择优取向。本发明还公开了高硬度耐磨损的硼化钒涂层的制备方法,制备的硼化钒涂层具有高硬度H≥35GPa,摩擦系数为0.4~0.6,对直径6mm的Al2O3研磨球在5N的作用力下,涂层的磨损率为~10‑16m3/N·m数量级。该涂层适合高温、高压下用来增强器件表面的耐磨性,延长器件的使用寿命。

    一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN103042753B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201210575224.6

    申请日:2012-12-26

    摘要: 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层,由VC层和Co层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Co层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为1.0~3.0:1,总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Co增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶和Co靶分别安装在中频阴极上,靶面垂直于旋转工作台,采用磁控溅射方法对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Co增韧涂层在保持涂层具有较高的硬度的同时提高了涂层的韧性,可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。