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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119483539A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411415066.7
申请日：2024-10-11
Applicant: 中电科技德清华莹电子有限公司
Abstract: 本发明提供一种可抑制杂散模式且具有调谐特性的弹性波装置，属于通信电子器件技术领域，包括压电基底和激励电极，所述激励电极置于压电基底上表面，所述压电基底包括复合衬底和压电薄膜，所述激励电极至少包括叉指换能器和汇流条，所述压电薄膜表面设有刻蚀窗口，所述刻蚀窗口包括T型刻蚀窗口和L型刻蚀窗口，分别构成T型结构弹性波装置和L型结构弹性波装置。刻蚀窗口通过匹配界面间声阻抗、优化电场分布和制造反射边界等方案实现了杂散模式的抑制，并且通过控制刻蚀深度能够调整目标模式的谐振频段，适用于多类型声波器件，尤其对于高性能滤波器的低插损、小纹波以及大带宽需求。
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公开(公告)号：CN116318042A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310170180.7
申请日：2023-02-27
Applicant: 中电科技德清华莹电子有限公司
Abstract: 本发明涉及一种无介质桥的声表面波滤波器，包括压电衬底，输入信号端子，输出信号端子以及至少一个纵向耦合谐振器型声表面波滤波器件，该滤波器件包括设置在压电衬底上至少三个沿声表面波传播方向的叉指换能器，最外侧的两个叉指换能器单端接地，其余叉指换能器的同端电极以及最外侧的叉指换能器的非接地端均通过引线电连接在一起，每个纵向耦合谐振器型声表面波滤波器件还包括第一反射器和第二反射器，第一反射器和第二反射器分别位于最外侧的两个叉指换能器的两侧。本发明的纵向耦合声表面波滤波器不需要引线架桥即可实现接地，工艺步骤更少、成本更低，且器件可靠性更高。本发明的纵向耦合声表面波滤波器在通带高频侧有较好的抑制度。
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公开(公告)号：CN116232271A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310170063.0
申请日：2023-02-27
Applicant: 中电科技德清华莹电子有限公司
Abstract: 本发明涉及一种复合薄膜衬底的弹性波装置，包括硅基底；中间键合物，设置在所述硅基底之上；压电薄膜，设置在所述中间键合物之上；叉指换能器，设置在压电薄膜之上；通孔，所述通孔贯穿中间键合物和压电薄膜，且通孔位于叉指换能器的外围；布线电极，覆盖于通孔之上与叉指换能器相连。本发明在复合薄膜衬底的弹性波装置中，将布线电极的热量通过导热绝缘材料或者直接传导到硅基底上，解决了弹性波装置中叉指换能器散热存在短板的问题，提高了弹性波装置的功率耐受能力。
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公开(公告)号：CN117294276A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311178362.5
申请日：2023-09-13
Applicant: 中电科技德清华莹电子有限公司
Abstract: 本发明提供了一种同时抑制横向杂散模式和间隙模式的弹性波装置，属于通信电子器件技术领域，包括压电基底和叉指换能器，所述叉指换能器设置于压电基底上，所述叉指换能器包括连接横条、连接真指、假指、两个总线电极和周期性排列的两组电极指，两组所述电极指相互咬合，所述电极指排列方向与孔径方向垂直，相邻的两个所述电极指分别通过连接横条、连接真指连接到不同的所述总线电极上，所述连接真指和与其相对的所述电极指间形成第一间隙，假指和与其相对的所述电极指间形成第二间隙。本发明技术较好地抑制了弹性波装置的横向杂散模式和间隙模式，同时改善了Q值。
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公开(公告)号：CN221058271U
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202322484194.4
申请日：2023-09-13
Applicant: 中电科技德清华莹电子有限公司
Abstract: 本实用新型提供了一种同时抑制横向杂散模式和间隙模式的弹性波装置，属于通信电子器件技术领域，包括压电基底和叉指换能器，所述叉指换能器设置于压电基底上，所述叉指换能器包括连接横条、连接真指、假指、两个总线电极和周期性排列的两组电极指，两组所述电极指相互咬合，所述电极指排列方向与孔径方向垂直，相邻的两个所述电极指分别通过连接横条、连接真指连接到不同的所述总线电极上，所述连接真指和与其相对的所述电极指间形成第一间隙，假指和与其相对的所述电极指间形成第二间隙。本实用新型技术较好地抑制了弹性波装置的横向杂散模式和间隙模式，同时改善了Q值。
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