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公开(公告)号：CN105988443B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201510090163.8
申请日：2015-02-27
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本发明公开了一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置，该方法包括：确定预设流程中第一对象所到达的站点；判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点；在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制；在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断时间间隔限制是否为最大时间间隔限制；在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急程度等级；以及根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理。通过本发明，解决了具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题。
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公开(公告)号：CN105302078B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201410245482.7
申请日：2014-06-04
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/67
摘要： 本发明涉及一种半导体制造工艺中炉管机台运行的控制系统及方法，所述方法包括步骤A：获取上游机台晶圆组的信息、炉管机台晶圆组的信息以及炉管机台信息；步骤B：根据步骤A中的所述信息计算所述上游机台晶圆组的炉管预批量处理值和所述炉管机台晶圆组的炉管预批量处理值；步骤C：根据所述预批量处理值，对所述上游机台和炉管机台进行排货和派货。本发明的优点在于：(1)设计者(Planner)和监控者(supervisor)可实时维护和监控机台以及Lots信息，保证数据的实时性和准确性。(2)上游的机台可以根据下游的炉管机台的实际需求，及时准确的生产，既保证了上游机台的利用率和产量，又满足了下游机台的需求。实现了整个上下游机台利用率的最大化。
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公开(公告)号：CN105988424A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201510044192.0
申请日：2015-01-28
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本申请提供了一种半导体工艺制程信息的生成方法与生成装置。该半导体工艺制程信息的生成方法包括：获取机台的初始在制品的数量和机台的在制品的目标输出总量，目标输出总量包括多批目标输出量；获取用于计算待预测时间内机台上的在制品的数量的计算模型；根据初始在制品的数量、目标输出总量和计算模型计算在待预测时间内的机台上在制品的数量；判断机台上的在制品的数量在预设时间内是否小于预设数量；以及当判断出机台上的在制品的数量在预设时间内小于预设数量时，控制机台停止工作。该半导体工艺制程信息的生成方法，避免了制造工程师根据经验做出的不当的停机维修决定，提高了机台的产能，避免了对生产周期的影响。
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公开(公告)号：CN105094066A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201410188627.4
申请日：2014-05-06
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418 , G06Q50/04
CPC分类号： Y02P90/02 , Y02P90/30 , G05B19/41865 , G06Q50/04
摘要： 本发明公开了一种生产系统的控制方法及装置。其中，该方法包括：获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，其中，生命周期为生产系统中所有事件的执行时间的总和；根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制。本发明解决了由于统计的时间信息分散于多个系统中，不能有效地统计生产浪费的时间，导致生产系统的生产效率降低的技术问题，达到了缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果。
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公开(公告)号：CN105470156A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201410456338.8
申请日：2014-09-09
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 本申请一种基于RTD的量测工艺，涉及半导体制造领域，通过预先在量测机台上设置采样及WLT相关信息后，对该量测机台上队列中的lot进行匹配分组，并于同一组中对每个晶圆进行排序；根据上述的排序及预设的信息对晶圆进行抽样量测工艺。另外，当对经过腔室机台的晶圆进行量测工艺时，还可基于其经过的腔室信息对其进行分组排序，及后续的抽样量测工艺。由于可随时根据量测工艺需求来及时的调整不同的晶圆进行抽样检测的量测机台、分组信息及抽样规则，并针对经过不同机台类型的晶圆进行针对性的抽样量测，进而在确保量测工艺准确性的同时，能够有效的避免其抽样的片面性，且还能合理的调配每个量测机台的工作量。
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公开(公告)号：CN104217978A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310222155.5
申请日：2013-06-05
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
CPC分类号： G06Q10/06316
摘要： 一种半导体批次产品的处理系统和方法，其中所述半导体批次产品的处理系统包括：若干批次产品；处理站点；关键批次产品到达时间预测单元；机台端口下一次可用时间预测单元；约束检查单元和分配单元。所述分配单元根据关键批次产品到达时间预测单元获得的关键批次产品到达处理站点的时间间隔和机台端口下一次可用时间预测单元获得的处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算约束检查单元获得的各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。本发明的半导体批次产品的处理系统和方法缩短了关键批次产品等待时间，合理安排了机台资源。
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公开(公告)号：CN105094066B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201410188627.4
申请日：2014-05-06
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418 , G06Q50/04
摘要： 本发明公开了一种生产系统的控制方法及装置。其中，该方法包括：获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，其中，生命周期为生产系统中所有事件的执行时间的总和；根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制。本发明解决了由于统计的时间信息分散于多个系统中，不能有效地统计生产浪费的时间，导致生产系统的生产效率降低的技术问题，达到了缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率的技术效果。
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公开(公告)号：CN104779134B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201410014462.9
申请日：2014-01-13
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/00
摘要： 本发明揭示了一种派货系统及派货方法，所述派货系统包括Q‑time站点群模块；匹配模块，所述匹配模块用于匹配所述Q‑time站点群模块与所述空置站点的信息；QNHT模块，所述QNHT模块设定产品未来所要到达的Q‑time末端站点的最短可用时间；判断模块，所述判断模块连通Q‑time站点群模块及QNHT模块，用于控制所述产品的可用设备的放行；及空置站点控制模块，接收判断模块的指令，用于控制所述产品的空置站点变动。所述派货方法包括通过所述判断模块的判断结果安排产品的派货顺序。从而杜绝了人为经验可能出错的情况，也不再需要人为做账来跳过空置站点，降低了生产复杂性，提高生产效率，同时更加有效的防止了超出Q‑time的状况发生。
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公开(公告)号：CN104460334B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201310438680.0
申请日：2013-09-23
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B17/02
摘要： 本发明揭示了一种仿真方法，用于对实时派货系统的派货规则进行仿真，所述仿真方法包括：设定待仿真的派货规则的派货信息；对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系；根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果。本发明还揭示了一种应用该方法的仿真系统。本发明的仿真方法能够预测实时派货系统的派货规则上线后结果的好坏，避免派货规则的跑货风险。
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公开(公告)号：CN104977903A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201410133233.9
申请日：2014-04-03
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： Y02P90/02 , Y02P90/04 , G05B19/41865
摘要： 本发明提供一种基于实时派工系统的机台组下的晶圆批次派工方法和系统，方法包括：基于有效机台信息和线上晶圆批次数据，设定一机台组下每个机台的负载端口的数量、每个机台的实时派货规则，以及各个机台上派货至该机台的每个晶圆批次的预定时间规格；实时获取每个机台正在处理的晶圆批次信息，并根据每个机台的负载端口的数量和每个机台正在处理的晶圆批次信息，计算出后续一段预估时间内各个机台的空闲顺序；按照所述空闲顺序依次更新每个机台的实时派货规则，并根据更新后实时派货规则得到每个机台的派货结果。本发明能够避免同一机台组下机台在预定晶圆批次时发生同时预定同一批晶圆的情况。
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