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公开(公告)号：CN102102782A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010599521.5
申请日：2010-12-22
CPC分类号： F16L9/12 , B05B13/0431 , B29C47/0016 , B29C47/0023 , B29C47/827 , B29C47/86 , B29C47/866 , B29C47/8895 , B29C2947/92266 , B29C2947/92485 , B29C2947/92704 , B29C2947/92895 , Y10T428/1352 , Y10T428/139 , Y10T428/1397
摘要： 本发明的课题在于提供一种可用于旋转、弯曲等运转部的高耐久性管以及其制造方法，该管具有能够耐受严酷的弯曲、伸缩、扭曲等的物性，且可降低管间或与其它部件相接触时的滑动阻力。作为解决上述课题的手段，该管是用于如下制品的管：该制品中多根管的两端被固定，具有为使这些管间、及/或与其它部件相接触而捆扎的部位，且具有所述两端的固定部反复进行相对移动的动作的运转部，其中，所述管通过将热塑性聚醚酯弹性体挤出成型而获得，外侧表面形成为梨皮状。
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公开(公告)号：CN102102782B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201010599521.5
申请日：2010-12-22
CPC分类号： F16L9/12 , B05B13/0431 , B29C47/0016 , B29C47/0023 , B29C47/827 , B29C47/86 , B29C47/866 , B29C47/8895 , B29C2947/92266 , B29C2947/92485 , B29C2947/92704 , B29C2947/92895 , Y10T428/1352 , Y10T428/139 , Y10T428/1397
摘要： 本发明的课题在于提供一种可用于旋转、弯曲等运转部的高耐久性管以及其制造方法，该管具有能够耐受严酷的弯曲、伸缩、扭曲等的物性，且可降低管间或与其它部件相接触时的滑动阻力。作为解决上述课题的手段，该管是用于如下制品的管：该制品中多根管的两端被固定，具有为使这些管间、及/或与其它部件相接触而捆扎的部位，且具有所述两端的固定部反复进行相对移动的动作的运转部，其中，所述管通过将热塑性聚醚酯弹性体挤出成型而获得，外侧表面形成为梨皮状。
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公开(公告)号：CN113322444A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110219949.0
申请日：2021-02-26
摘要： 本发明涉及吸附装置、成膜装置、吸附方法、成膜方法及电子器件的制造方法。使静电吸盘良好地吸附被吸附体。本发明的吸附装置的特征在于，具有：支撑单元，所述支撑单元支撑被吸附体的第一主面的周缘部，所述被吸附体具有所述第一主面和该第一主面的相反侧的第二主面；吸附部件，所述吸附部件从所述被吸附体的所述第二主面侧吸附所述被吸附体；以及多个推压构件，所述多个推压构件用于从所述被吸附体的所述第二主面侧推压所述被吸附体，所述多个推压构件分别配置在与所述被吸附体的所述第二主面具有的多个角部中的至少两个角部对应的位置。
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公开(公告)号：CN110578118A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201811560378.1
申请日：2018-12-20
摘要： 本发明的静电吸盘系统用于吸附被吸附体，其特征在于，包括：包括电极部的静电吸盘；用于向上述静电吸盘的上述电极部施加电位差的电位差施加部；以及用于控制由上述电位差施加部施加的电位差的电位差控制部，上述电位差控制部进行控制，使得用于使上述静电吸盘吸附第1被吸附体的第1电位差、比上述第1电位差小的第2电位差、以及用于经由上述第1被吸附体将第2被吸附体吸附于上述静电吸盘的第3电位差依次施加于上述电极部，上述第3电位差为上述第2电位差以上。
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公开(公告)号：CN109972084B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201811009947.3
申请日：2018-08-31
摘要： 本发明提供一种成膜装置、成膜方法、以及电子设备的制造方法，该成膜装置包括：静电卡盘，其用于保持基板；掩模台，其设置在所述静电卡盘的基板保持面侧，用于保持掩模；磁力施加机构，其设置在所述静电卡盘的与基板保持面相反的一侧，用于对所述掩模施加磁力；以及控制部，其控制所述静电卡盘、所述掩模台以及所述磁力施加机构，在为了使所述基板与所述掩模紧贴而使所述磁力施加机构向所述掩模台移动之前，所述控制部进行控制，以使被所述静电卡盘保持的所述基板与被所述掩模台保持的所述掩模具有规定的间隔。
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公开(公告)号：CN109114168A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810263392.9
申请日：2018-03-28
申请人： 阿奥依株式会社
摘要： 本发明提供一种管子保持结构，能够抑制产生粉尘并减轻振动。该管子保持结构(1)具备：由挠性材料形成的多根的管子(10)；以及将这些管子(10)在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式保持的保持体(20)。多根的管子(10)具有：将多根的主管子(10A)以沿X轴方向并排状态接合而形成的主管子组(11)；以及将多根的副管子(10B、10C、10D)以沿X轴方向并排而形成的副管子组(12、13、14)。副管子组(12、13、14)层叠在主管子组(11)的两侧并与该主管子组(11)一体接合。保持体(20)与主管子组(11)的X轴方向上的两侧部相接合。
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公开(公告)号：CN109957775B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201811010711.1
申请日：2018-08-31
摘要： 本发明的静电吸盘，包括：包括电极部的基板保持部；对所述电极部施加电压的电压施加部；对由所述电压施加部向所述电极部施加的电压进行控制的电压控制部，所述静电吸盘包括多个基板保持部，所述电压施加部对所述多个基板保持部施加用于保持基板的第一电压以及用于分离基板的第二电压，所述电压控制部对每一个所述基板保持部独立地控制所述第二电压的施加。
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公开(公告)号：CN109957775A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201811010711.1
申请日：2018-08-31
摘要： 本发明的静电吸盘，包括：包括电极部的基板保持部；对所述电极部施加电压的电压施加部；对由所述电压施加部向所述电极部施加的电压进行控制的电压控制部，所述静电吸盘包括多个基板保持部，所述电压施加部对所述多个基板保持部施加用于保持基板的第一电压以及用于分离基板的第二电压，所述电压控制部对每一个所述基板保持部独立地控制所述第二电压的施加。
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公开(公告)号：CN109957774A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201811009948.8
申请日：2018-08-31
摘要： 本发明的成膜装置包含基板保持单元和静电吸盘，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部，所述静电吸盘设置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件及所述第二支承部件分别能够在其基板支承面支承基板的方向上位移。
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公开(公告)号：CN109114168B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201810263392.9
申请日：2018-03-28
申请人： 阿奥依株式会社
摘要： 本发明提供一种管子保持结构，能够抑制产生粉尘并减轻振动。该管子保持结构(1)具备：由挠性材料形成的多根的管子(10)；以及将这些管子(10)在弯曲的状态下以能够直线往复移动的方式保持的保持体(20)。多根的管子(10)具有：将多根的主管子(10A)以沿X轴方向并排状态接合而形成的主管子组(11)；以及将多根的副管子(10B、10C、10D)以沿X轴方向并排而形成的副管子组(12、13、14)。副管子组(12、13、14)层叠在主管子组(11)的两侧并与该主管子组(11)一体接合。保持体(20)与主管子组(11)的X轴方向上的两侧部相接合。
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