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公开(公告)号：CN115375590B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211326022.8
申请日：2022-10-27
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种亮度非均匀性在线补偿的图像处理方法。本发明结合机器视觉缺陷检测场景的特征，通过序列图像提取邻近区域内非均匀性光照在工件表面非缺陷区域上的成像亮度信息，参考光响应非均匀性的校正步骤，设定均匀光照亮度期望值，获得该区域内非均匀亮度的补偿增益参数，实现亮度非均匀性的在线补偿。本发明避免了亮度非均匀性离线补偿方法使用单一视场区域计算补偿增益导致的工件表面其他区域出现过补偿或欠补偿的情况，并避免了FFT滤波等在线图像处理算法导致的图像细节特征失真和无法适应工件边缘图像等问题。
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公开(公告)号：CN120032065A
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202510505887.8
申请日：2025-04-21
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本申请涉及数据表征处理技术领域，公开了一种大规模三角网格连续细节分层表征方法与动态重构方法，其中，表征方法包括：基于获取到的大规模复杂场景图进行顶层划分，得到BVH结构；其中，BVH结构中叶子节点确定为底层划分结构节点，BVH结构中根节点和中间节点确定为顶层划分结构节点；基于底层划分结构节点包含的三角网格进行底层空间划分，生成相对应的以面片为粒度的初始面片表征集合；基于初始面片表征集合，从底层划分结构节点到顶层划分结构节点进行网格简化操作，得到连续多分辨率网格表征。本申请提供的技术方案，能够有效应对大规模网格模型的存储、计算和实时显示需求。
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公开(公告)号：CN115993695A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202310169949.3
申请日：2023-02-27
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/28
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。
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公开(公告)号：CN115511749A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211263100.4
申请日：2022-10-14
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于相位信息的差分干涉对比图像去噪方法及装置，针对差分干涉对比图像中的噪声和边界干扰等问题导致的背景亮度值不均匀现象，对傅里叶变换后的图像中的相位信息进行恢复，并对像素值进行非线性映射。本发明实现了图像背景区域的去噪效果，缩小了背景像素值的变化范围，减小后续积分操作中的累积噪声，且不影响目标区域的梯度分布。
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公开(公告)号：CN117289422A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311004244.2
申请日：2023-08-10
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/04 , G02B27/62 , G02B7/02 , G02B26/00 , G03F7/20 , G03F9/00 , G01B11/24 , G01B11/06 , G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种基于面型干涉的高度对焦装置及方法。包括二维运动平台、面型干涉模块、现有光路系统和工件，二维运动平台上方分别安装有现有光路系统和面型干涉模块；本发明通过采用离轴干涉测量的方法，能够实现对大尺寸工件全尺寸高度面型快速重构，并通过工件绝对坐标转换实现对应工件位置的高度映射，从而在现有光路系统工作过程中驱动高度执行机构进行高度对焦动作。本发明减少了晶圆对准的时间，提高了检测节拍；避免了在现有光路系统引入对焦模块对光学设计提出的难度、机械干涉和光学干扰等问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117192769A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311004237.2
申请日：2023-08-10
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种宽谱极紫外聚焦光路系统设计方法。通过提出级联式圆柱面反射镜组的聚焦光路系统，能够在降低加工成本的基础上，在高聚焦能力的配置下，对像差进行补偿，从而获得高成像质量的效果；解决了传统掠入射反射聚焦光路系统中遇到的加工成本、成像质量、聚焦能力三者难以平衡的问题。本发明提出的设计在极紫外研究领域，特别是工业应用领域具有较好的现实应用意义。
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公开(公告)号：CN115993695B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310169949.3
申请日：2023-02-27
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/28
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。
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公开(公告)号：CN116342589A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310582526.4
申请日：2023-05-23
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种跨视场划痕缺陷连续性检测方法和系统。包括：1）检测获得单视场划痕缺陷的坐标信息；2）根据划痕缺陷坐标进行工件整体划痕分布图的绘制；3）确定缺陷分布图坐标及保存图像像素映射关系；4）再通过图像预处理、骨架提取、连通域计算、拟合度计算以及坐标像素映射等步骤获得跨视场划痕的统计信息。本发明实现了对工件表面跨视场划痕缺陷的连续性检测效果，相比于现有的划痕缺陷检测算法，能够在较小的物方视场尺寸即较高的物方检测分辨率时保证划痕缺陷检测的完整性，同时不需要将跨视场划痕缺陷图像进行拼接后再进行特征的提取，大大降低了对算力的要求。
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公开(公告)号：CN116184745A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310172098.8
申请日：2023-02-14
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本申请涉及一种照明装置和光学检测设备。照明装置包括外壳、固定组件以及照明组件。外壳包括垂直于第一方向的照明表面和安装表面、设置于安装表面和照明表面之间的内腔、以及连通照明表面和安装表面的通孔。通孔用于容纳光学镜头。固定组件靠近安装表面设置于内腔中，用于在第二方向上与光学镜头可拆卸连接；第二方向垂直于第一方向；照明组件设置于内腔中。外壳包括设置于照明表面的照明孔；照明组件露出于照明孔。本申请的技术方案从根本上解决了在狭小空间内固定照明装置的难题，也消除了因照明装置滑落造成的样品表面损伤的问题。并且照明组件的设置提高了样品表面的光照强度，因此能够缩短成像所需的时间。
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公开(公告)号：CN116342589B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310582526.4
申请日：2023-05-23
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种跨视场划痕缺陷连续性检测方法和系统。包括：1）检测获得单视场划痕缺陷的坐标信息；2）根据划痕缺陷坐标进行工件整体划痕分布图的绘制；3）确定缺陷分布图坐标及保存图像像素映射关系；4）再通过图像预处理、骨架提取、连通域计算、拟合度计算以及坐标像素映射等步骤获得跨视场划痕的统计信息。本发明实现了对工件表面跨视场划痕缺陷的连续性检测效果，相比于现有的划痕缺陷检测算法，能够在较小的物方视场尺寸即较高的物方检测分辨率时保证划痕缺陷检测的完整性，同时不需要将跨视场划痕缺陷图像进行拼接后再进行特征的提取，大大降低了对算力的要求。
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