层间绝缘膜的制造方法和层间绝缘膜

    公开(公告)号:CN114509919B

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202111338423.0

    申请日:2021-11-12

    Abstract: 本发明提供一种层间绝缘膜的制造方法,其能够制造镀铜密合性优异的层间绝缘膜。层间绝缘膜的制造方法具备被膜形成工序、曝光工序和热固化工序。在上述被膜形成工序中,形成感光性组合物的被膜,该感光性组合物含有(A)含羧基树脂、(B)光聚合引发剂、(C)光聚合性化合物以及(D)环氧树脂。在上述曝光工序中,以3mW/cm2~300mW/cm2的照度对上述被膜曝光320nm~390nm的波长的紫外线。在上述热固化工序中,使上述曝光工序后的被膜在140℃以上的温度进行热固化。

    层间绝缘膜的制造方法和层间绝缘膜

    公开(公告)号:CN114509919A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202111338423.0

    申请日:2021-11-12

    Abstract: 本发明提供一种层间绝缘膜的制造方法,其能够制造镀铜密合性优异的层间绝缘膜。层间绝缘膜的制造方法具备被膜形成工序、曝光工序和热固化工序。在上述被膜形成工序中,形成感光性组合物的被膜,该感光性组合物含有(A)含羧基树脂、(B)光聚合引发剂、(C)光聚合性化合物以及(D)环氧树脂。在上述曝光工序中,以3mW/cm2~300mW/cm2的照度对上述被膜曝光320nm~390nm的波长的紫外线。在上述热固化工序中,使上述曝光工序后的被膜在140℃以上的温度进行热固化。

Patent Agency Ranking