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公开(公告)号：CN1841200B
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200610077419.2
申请日：2006-03-28
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC分类号： C07C309/17 , C07C2603/74
摘要： 适合作为酸生成剂的盐和包含该盐的化学放大型抗蚀组合物本发明提供一种式(L)的盐式(L)的盐其中Q代表-CO-基团或-C(OH)-基团；环X代表含有3-30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是-C(OH)-基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当Q是-CO-基团时，在Q位置上的两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1-6个碳原子的烷基、含有1-6个碳原子的烷氧基、含有1-4个碳原子的全氟烷基、含有1-6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R10和R20各自独立地表示氟原子或含有1-6个碳原子的全氟化烷基；A+表示有机平衡离子。本发明还提供一种包含式(L)的盐的化学放大型抗蚀组合物。
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公开(公告)号：CN101566798A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910135320.7
申请日：2009-04-20
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/2041 , Y10S430/108 , Y10S430/111
摘要： 本发明提供了一种化学放大型抗蚀剂组合物，所述组合物包含树脂(A)、树脂(B)和产酸剂，所述树脂(A)不含氟原子而含侧链中有酸不稳定性基团的结构单元(a1)，所述树脂(B)含侧链中有含氟基团的结构单元(b2)和至少一种选自有酸不稳定性基团的结构单元(b1)、有羟基的结构单元(b3)和侧链中有内酯结构的结构单元(b4)的结构单元，其中所述树脂(B)的量为2重量份或更少每100重量份树脂(A)。
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公开(公告)号：CN101514173A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910007686.6
申请日：2009-02-20
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： C07C309/17 , C07C303/32 , C07C321/28 , C07C319/20 , C07D333/46 , G03F7/004 , H01L21/027
摘要： 本发明提供了式(I)所代表的多羟基化合物：其中，R51到R67各自独立地代表氢原子等，选自R1到R5的至少一个为式(II)所代表的基团，其余的为氢原子或式(III)所代表的基团，其中Q1和Q2各自独立地代表氟原子等，U代表C1－C20二价烃基等，A+代表有机反离子，其中X1到X4各自独立地代表氢原子等，n代表0－3的整数，W代表如下基团中的任何一个：(见图)Z1代表C1－C6烷基等，环Y代表C3－C20脂环烃基。本发明还提供含有该多羟基化合物的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101900942A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200910253948.7
申请日：2009-12-09
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0392 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
摘要： 一种抗蚀剂组合物，包含：(A)树脂，其在碱性水溶液中不可溶或可溶性差，但通过酸的作用变为在碱性水溶液中可溶，(B)式(1)所表示的多元酚化合物：其中R1、R2、R3、R4和R5之中的至少一个是式(2)所表示的基团，其他的是氢原子：其中X1和X2各自独立地表示氢原子等，n代表0～4的整数，Z1表示C1-C6烷基等，并且环Y表示脂环烃基，和(C)产酸剂。
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公开(公告)号：CN101735390A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910212074.0
申请日：2009-11-03
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： C08F222/14 , C08F212/14 , C08F212/08 , C08F220/28 , G03F7/004
CPC分类号： C08F220/08 , C08F24/00 , C08F220/12 , C08F220/26 , C08F220/28 , C08F222/14 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2059 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 一种聚合物，其包含由结构式(I)表示的结构单元以及由结构式(II)表示的结构单元，其中，R1代表氢原子或甲基，X代表直链或支链C1-C6亚烷基、Z代表由结构式(Ia)表示的基团；R2在各种情况下独立地是直链或支链C1-C6烷基，并且m代表0至15的整数；R3代表氢原子或甲基；R4在各种情况下独立地是直链或支链C1-C6烷基，并且n代表0至4的整数。
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公开(公告)号：CN101168509A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710167318.9
申请日：2007-10-22
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： C07C69/74 , H01L21/027 , G03F7/004
CPC分类号： C07C39/15 , C07C67/31 , C07C69/712 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 本发明提供一种由式(I)表示的多元酚化合物，其中选自R1、R2、R3、R4和R5中的至少一个是由式(II)表示的基团，其中X1、X2、X3和X4分别独立地表示氢原子或C1～C4烷基，n表示0～3的整数，Z1表示C1～C6烷基或C3～C12环烷基，环Y表示脂环烃基，并且其它的是氢原子，以及一种含有该化合物的化学放大型光刻胶组合物。
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公开(公告)号：CN101003591B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200610168220.0
申请日：2006-12-26
申请人： 住友化学株式会社
CPC分类号： C08F220/38 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08J3/075
摘要： 本发明提供一种树脂，该树脂通过照射产生酸并且是有机阳离子和阴离子聚合物的盐，其中阴离子聚合物没有碳-碳不饱和键。本发明还提供包含该树脂的化学放大光刻胶组合物。
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公开(公告)号：CN101750891A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910246532.2
申请日：2009-11-30
申请人： 住友化学株式会社
发明人： 安藤信雄
IPC分类号： G03F7/004
CPC分类号： G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 一种抗蚀剂组合物，包含：(A)树脂，含有在其侧链中具有酸不稳定基团的结构单元和式(I)表示的结构单元：其中R1表示氢原子或甲基，Z1表示单键或-(CH2)k-CO-O-，k表示1～4的整数，环X表示未取代或取代的具有-COO-的C3-C30环状烃基，(B)树脂，含有在其侧链中具有酸不稳定基团的结构单元和式(III)表示的结构单元：其中R6表示氢原子或甲基，R7每次出现时独立地是直链或支链的C1-C6烷基，n表示0～4的整数，和(C)产酸剂。
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公开(公告)号：CN101747310A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910211961.6
申请日：2009-12-08
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： C07D311/96 , C07D311/64 , C07D311/60 , G03F7/039
CPC分类号： C07D311/02 , C07D311/96 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122 , Y10S430/126
摘要： 本发明提供了由式(I)表示的化合物以及含有该化合物的化学增幅光刻胶组合物：其中P1、P2、P3、P4和P5各自独立地表示氢原子等，而选自由R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8和R9组成的组中的至少一个是由式(II)表示的基团：其中X1和X2各自独立地表示氢原子等，n表示1～4的整数，Z1表示C1-C6烷基等，并且环Y表示脂环烃基，而其余的各自独立地表示氢原子、C1-C6烷基或羟基。
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公开(公告)号：CN101021683B
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN200710079265.5
申请日：2007-02-13
申请人： 住友化学株式会社
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0397 , G03F7/0046 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/126
摘要： 本发明提供了化学放大光刻胶组合物，其包含：树脂(A)，其不含有氟原子，而含有具有酸不稳定基团的结构单元(a1)；树脂(B)，其含有具有含氟基团的结构单元(b2)和选自具有酸不稳定基团的结构单元(b1)、具有羟基的结构单元(b3)和具有内酯结构的结构单元(b4)的至少一种结构单元；和产酸剂。
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