一种Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114974892B

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202210652964.9

    申请日:2022-06-08

    IPC分类号: H01G4/30 H01G4/10 H01G4/00

    摘要: 本发明属于电容器技术领域,具体涉及一种Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器及其制备方法。本发明的Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器中设有阳极氧化膜,且所述阳极氧化膜是通过上层膜、中层膜、下层膜共同阳极氧化而形成的,这种制备方法能够形成稳定的阳极氧化复合膜,在Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器中,稳定的阳极氧化复合膜能够有效提高其击穿场强和储能密度等性能;并且通过对电流及电压的控制即可控制阳极氧化复合膜的厚度,因此本发明的制备方法简单且易于操控。

    一种Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114974892A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210652964.9

    申请日:2022-06-08

    IPC分类号: H01G4/30 H01G4/10 H01G4/00

    摘要: 本发明属于电容器技术领域,具体涉及一种Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器及其制备方法。本发明的Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器中设有阳极氧化膜,且所述阳极氧化膜是通过上层膜、中层膜、下层膜共同阳极氧化而形成的,这种制备方法能够形成稳定的阳极氧化复合膜,在Al2O3/BaSrTiO4/Al2O3多层固态薄膜电容器中,稳定的阳极氧化复合膜能够有效提高其击穿场强和储能密度等性能;并且通过对电流及电压的控制即可控制阳极氧化复合膜的厚度,因此本发明的制备方法简单且易于操控。