玻璃芯多层配线基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN114731761A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202080078469.0

    申请日:2020-11-17

    Abstract: 提供一种更简单的玻璃贯通电极,并且提供与此后的贯通电极的可靠的电连接。具有:玻璃基板,其设置有孔径从第1面侧趋向第2面侧而减小的贯通孔;贯通电极,其沿贯通孔的侧壁而配置;以及层状构造体,其分别形成于玻璃基板的两面,第2面侧的层状构造体形成为将贯通孔封堵的状态,构成贯通孔的第2面侧的底部部位,贯通电极具有3个层,3个层中的第1层配置于贯通孔的侧壁的玻璃第1面侧的一部分、以及将贯通孔的第2面侧的开口部封堵的贯通孔的第2面侧的底部部分的一部分或整个面,3个层中的第2层配置为将第1层及从第1层露出的贯通孔的侧壁、以及贯通孔的第2面侧的底部部位覆盖,3个层中的第3层配置于第2层上。

    玻璃装置的制造方法以及玻璃装置

    公开(公告)号:CN112335037A

    公开(公告)日:2021-02-05

    申请号:CN201980036910.6

    申请日:2019-06-07

    Inventor: 泽田石将士

    Abstract: 能够更简便地提供具有玻璃厚度为300μm以下的薄玻璃基板的玻璃装置。在玻璃装置的制造方法中,在玻璃基板(10)中形成一个以上的贯通孔(40),并经由贯通孔(40)将玻璃基板的第一面上的第一布线(14)和第二面上的第二布线(15)连通起来。在形成第一布线(14)以后,通过蚀刻形成贯通孔(40)并且使玻璃基板(10)变薄,然后形成贯通孔(40)内的布线和第二布线(15),变薄后的玻璃基板(10)的厚度为50μm以上300μm以下,贯通孔(40)的形状为圆锥台形状。

    玻璃装置的制造方法以及玻璃装置

    公开(公告)号:CN112335037B

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN201980036910.6

    申请日:2019-06-07

    Inventor: 泽田石将士

    Abstract: 能够更简便地提供具有玻璃厚度为300μm以下的薄玻璃基板的玻璃装置。在玻璃装置的制造方法中,在玻璃基板(10)中形成一个以上的贯通孔(40),并经由贯通孔(40)将玻璃基板的第一面上的第一布线(14)和第二面上的第二布线(15)连通起来。在形成第一布线(14)以后,通过蚀刻形成贯通孔(40)并且使玻璃基板(10)变薄,然后形成贯通孔(40)内的布线和第二布线(15),变薄后的玻璃基板(10)的厚度为50μm以上300μm以下,贯通孔(40)的形状为圆锥台形状。

    复合配线基板
    4.
    发明公开
    复合配线基板 审中-实审

    公开(公告)号:CN116746285A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202280010231.3

    申请日:2022-02-03

    Inventor: 泽田石将士

    Abstract: 提供一种配线基板,用于与半导体芯片的接合的接合端子的窄间距化、基板内的配线的微細化、以及低成本化容易,能够达成较高的连接可靠性。复合配线基板(10)具有:第1配线基板(11);第2配线基板(12),其以与所述第1配线基板(11)相对的方式与所述第1配线基板(11)接合,周缘部与中央部相比而距所述第1配线基板(11)的距离更大;以及密封树脂层(13),其介于所述第1及第2配线基板(11、12)之间,并且将所述第2配线基板(12)的端面覆盖。

    配线基板的制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113939900A

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN202080034946.3

    申请日:2020-05-22

    Abstract: 一种配线基板的制造方法,在进行将FC‑BGA用配线基板(1)的接合部(18a)与中介层(3)的接合部(18b)接合的接合工序之后,进行:在FC‑BGA用配线基板(1)与中介层(3)之间填充底部填充胶(2A)的树脂供给工序;使底部填充胶(2A)固化的树脂固化工序;以及将支撑体(5)从中介层(3)上剥离的支撑体剥离工序,其中,在进行支撑体剥离工序之后,进行树脂供给工序,然后进行树脂固化工序。

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