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公开(公告)号：CN114910019B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202210544597.0
申请日：2022-05-19
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明提供了一种实现动态调节扫描光束直径的样品检测装置及方法，属于样品检测领域，方法为：将低相干光分为第一路子光束和第二路子光束；将第一路子光束经反射形成参考光；将第二路子光束转变为线偏振光；评估样品当前扫描检测位置所需的扫描精细程度，在反射式空间光调制器上加载相位图，在扫描过程中动态改变光束的波前相位并反射扫描光束；对样品面扫描，并利用扫描透镜压缩扫描光束，经样品表面反射形成反射光；反射光与参考光发生干涉，由光谱仪获取的频域干涉信息经计算机提取出样品各点高度信息；对样品待检测区域中各个扫描位置的高度信息进行整合，获取整个样品的表面形貌。本发明大大提高了对不同区域扫描精度不同的样品的检测效率。
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公开(公告)号：CN110044931B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201910330947.1
申请日：2019-04-23
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/01
摘要： 本发明公开了一种曲面玻璃表面和内部缺陷的检测装置，属于曲面玻璃缺陷检测领域，其包括LED光源、起偏器、成像镜头和偏振相机，其中，起偏器设置在LED光源出射端，用于将通过自身的LED光起偏为偏振方向可调的线偏振光，工作时，线偏振光自身为平行光束，线偏振光位于待检测曲面玻璃侧面，且线偏振光平行于曲面玻璃的平面部分，偏振相机设置在曲面玻璃平面部分的垂直线上，用于采集从待检测曲面玻璃出射的携带后曲面玻璃缺陷信息的出射光，所述成像镜头设置在偏振相机上，用于与偏振相机协同工作而成像。本发明装置检测精确，效率高，成本低，能同时检测曲面玻璃内部和表面的缺陷。
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公开(公告)号：CN108827915B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201810849568.9
申请日：2018-07-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/43
摘要： 本发明公开了一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法，属于测量与光学领域，包括如下步骤：S1取临界角对应的像素位置前后各m个像素，一共为(2m+1)个像素，采集该(2m+1)个像素对应的反射率，以作为拟合数据，S2采用菲涅尔反射率公式，对步骤S1获取的拟合数据进行菲涅尔反射率拟合，得到菲涅尔拟合函数，S3对步骤S2获得的菲涅尔拟合函数求导，导函数的峰值点即为临界角对应的亚像素位置。本发明提供了一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法，其充分利用了阵列器件测量折射率的自动化、快速的特点，同时提高了折射率测量的精度。
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公开(公告)号：CN110751624A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201910850100.6
申请日：2019-09-10
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G06T7/00 , G06T7/60 , G06T9/00 , G06T9/20 , G06F30/398
摘要： 本发明公开一种提高PCB检查精度的方法及系统，所述方法包括：读取Gerber文件，检查Gerber文件是否是RS-274X格式；根据Gerber文件语法规则，查找各种Gerber文件代码，获得Gerber文件图像的参数信息；根据Gerber文件图像的参数信息，采用插值补点的算法计算绘制XLD图像所需参数；根据所计算得到的参数使用Halcon软件绘制XLD图像。同时本发明还实现了一种转换RS-274X格式的Gerber文件为XLD文件的系统。本发明技术方案在应用于AOI上时，不会产生由于位图像素本身的大小带来的精度上的误差，具有精度高，简单高效的特点，提高了PCB检查的精准率。
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公开(公告)号：CN107153049B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201710395824.7
申请日：2017-05-31
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/41
摘要： 本发明公开了一种抑制杂散光的物质折射率测量装置，属于光学仪器领域，其包括光源，输入耦合光学模块，反射测量模块，输出耦合光学模块，阵列器件以及图像采集分析系统，输入耦合光学模块用于接收来自光源的光束并将其聚焦或发散，反射测量模块用于容置待测对象并对其折射率进行测量以获得折射率原始信息，输出耦合光学模块用于收集带有待测对象折射率信息的反射光，阵列器件用于接受带有待测对象折射率信息的反射光，并将其转化为光电信号，图像采集分析系统用于对光电信号进行处理和分析，以直接输出待测对象的折射率数值。本发明通过设计反射测量模块，能巧妙消除测量薄层物质折射率时的杂散光，且能用于测量薄层物质的折射率。
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公开(公告)号：CN107153050B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201710395833.6
申请日：2017-05-31
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/41
摘要： 本发明公开了一种折射率匹配的装置以及匹配方法，属于折射率匹配领域，其包括匹配板，该匹配板包括在目标匹配介质之间设置的匹配液通道，该匹配液通道具有输入端口和输出端口，该匹配液通道的敞口与目标匹配介质形成光学平面，其还包括光源、输入耦合光学模块、棱镜、输出耦合光学模块、面阵器件以及图像分析处理系统，匹配板的光学平面与所述棱镜的测量面相面重合，以保证匹配溶液的液面与棱镜的测量面重合，进而使得测量光穿过棱镜底面后在匹配溶液液面发生折射和反射。本发明还提供了折射率匹配方法。本发明装置可以实时完成折射率匹配液和待匹配介质折射率的直接检测，从而实现折射率匹配状态实时检测，其能消除系统误差，匹配方便而精确。
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公开(公告)号：CN110361074A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201810253307.0
申请日：2018-03-26
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01F23/292
摘要： 本发明公开了一种光电式液位检测装置，属于液位检测技术领域，用于测量透明液体的液位高度，包括透明液体容器、光源、聚光柱透镜、滤光片、阵列光电检测器件以及信号采集处理单元，透明液体容器连通容置待测液体的本体容器，光源为发散光源，其位于透明液体容器的底部，光源发射出的发散光束用于从透明液体容器底部入射进入待测液体中，并从透明液体容器的侧壁出射，聚光柱透镜紧邻透明液体容器的外壁，滤光片设置在聚光柱透镜出射光方向上，阵列光电检测器件设置在滤光片出射光方向上，信号采集处理单元连接阵列光电检测器件，用于处理电信号，从而获得液位高度。本发明装置是一种高精度，结构简单，低成本的光电式液位检测装置。
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公开(公告)号：CN109425410B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201810850033.3
申请日：2018-07-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01F23/292
摘要： 本发明公开了一种光电式液位测量装置，属于光电检测技术领域，导光板用于与待测量液位的液体相面接触或者相邻设置，导光板为实心整体，能透光，导光板上具有导光板液位面和导光板采光面，导光板液位面用于与待测量液位的液体相面接触或者相邻设置，且待测液体液位线落于导光板液位面内，导光板采光面处设置有导光微结构，用于将导光板内的传输的光导出至导光板外，在不同于导光板液位面和不同于导光板采光面的地方向导光板入射光束，通过待测液体液位改变导光板内光束的传输，从而改变导光板采光面出射光的光场，通过检测该出射光光场的变化，进而检测获得待测液体的液位。本发明测量装置结构简单，元器件价格低廉，测量精确可靠，维护方便。
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公开(公告)号：CN110044928A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910328571.0
申请日：2019-04-23
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/01
摘要： 本发明公开了一种空间编码光场对曲面玻璃表面缺陷的检测装置，包括：投影仪、CCD相机和数据处理模块；所述投影仪通过接收编码指令调制单色光调制产生编码光线，并将其投影至曲面玻璃表面形成编码图像；所述编码图像的清晰度不受曲面玻璃状态的限制；所述CCD相机用于采集曲面玻璃表面的编码图像；所述数据处理模块用于为投影仪提供编码指令，并通过分析编码图像检测玻璃表面缺陷。本发明涉及的投影仪包括DMD芯片和双远心投影单元，实现在被测物体变形前后获取放大倍数恒定的编码图像，采用其对曲面玻璃表面缺陷进行检测，检测效率及准确度均会提升。
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公开(公告)号：CN109425410A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810850033.3
申请日：2018-07-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01F23/292
摘要： 本发明公开了一种光电式液位测量装置，属于光电检测技术领域，导光板用于与待测量液位的液体相面接触或者相邻设置，导光板为实心整体，能透光，导光板上具有导光板液位面和导光板采光面，导光板液位面用于与待测量液位的液体相面接触或者相邻设置，且待测液体液位线落于导光板液位面内，导光板采光面处设置有导光微结构，用于将导光板内的传输的光导出至导光板外，在不同于导光板液位面和不同于导光板采光面的地方向导光板入射光束，通过待测液体液位改变导光板内光束的传输，从而改变导光板采光面出射光的光场，通过检测该出射光光场的变化，进而检测获得待测液体的液位。本发明测量装置结构简单，元器件价格低廉，测量精确可靠，维护方便。
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