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公开(公告)号：CN103293660A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310215186.8
申请日：2013-05-31
申请人： 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明公开了一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法，包括衬底，在衬底片的一面附着增透膜，另一面附着第一布拉格反射镜，在第一布拉格反射镜上附着第一电极和第二电极；在第一电极上附着四个金属桥墩，在四个金属桥墩上附着有桥面；桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形且中心嵌有第二布拉格反射镜；第一布拉格反射镜与第二布拉格反射镜构成F-P腔的谐振腔；通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜在垂直于第一布拉格反射镜的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能，该滤波器能有大的调谐范围，响应速度快。
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公开(公告)号：CN103293660B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310215186.8
申请日：2013-05-31
申请人： 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明公开了一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法，包括衬底，在衬底片的一面附着增透膜，另一面附着第一布拉格反射镜，在第一布拉格反射镜上附着第一电极和第二电极；在第一电极上附着四个金属桥墩，在四个金属桥墩上附着有桥面；桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形且中心嵌有第二布拉格反射镜；第一布拉格反射镜与第二布拉格反射镜构成F-P腔的谐振腔；通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜在垂直于第一布拉格反射镜的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能，该滤波器能有大的调谐范围，响应速度快。
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公开(公告)号：CN103345057B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201310215152.9
申请日：2013-05-31
申请人： 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供了一种微型的桥式结构及其制备方法，包括四个悬臂梁，金属桥面，四个金属桥墩和衬底；每一个悬臂梁均为L型结构，悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与金属桥面连接；金属桥面与悬臂梁位于同一个平面，四个悬臂梁将金属桥面悬挂于衬底上，并在金属桥面的下底面与衬底之间形成空腔结构。方法包括在洁净的衬底表面制备金属桥墩；在形成有金属桥墩的衬底表面涂覆牺牲层；对牺牲层进行光刻处理后将金属桥墩顶部的牺牲层去除并露出金属桥墩的顶部；对牺牲层进行固化处理；在固化后的牺牲层上制备金属桥面；去除金属桥面底部的牺牲层形成空腔，搭建桥式结构。本发明提供的桥式结构，可调谐范围大，桥面平行度好。
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公开(公告)号：CN103345057A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310215152.9
申请日：2013-05-31
申请人： 华中科技大学 , 广西师范学院 , 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供了一种微型的桥式结构及其制备方法，包括四个悬臂梁，金属桥面，四个金属桥墩和衬底；每一个悬臂梁均为L型结构，悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与金属桥面连接；金属桥面与悬臂梁位于同一个平面，四个悬臂梁将金属桥面悬挂于衬底上，并在金属桥面的下底面与衬底之间形成空腔结构。方法包括在洁净的衬底表面制备金属桥墩；在形成有金属桥墩的衬底表面涂覆牺牲层；对牺牲层进行光刻处理后将金属桥墩顶部的牺牲层去除并露出金属桥墩的顶部；对牺牲层进行固化处理；在固化后的牺牲层上制备金属桥面；去除金属桥面底部的牺牲层形成空腔，搭建桥式结构。本发明提供的桥式结构，可调谐范围大，桥面平行度好。
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公开(公告)号：CN106672893B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201611249408.8
申请日：2016-12-29
摘要： 本发明公开了一种可调谐滤波器，其包括：半导体衬底；第一反射平面，形成在半导体衬底上；底部电极，包括相互电性绝缘的第一电极和第二电极，形成在第一反射平面上；支撑元件，设置在所述第二电极上，用于支撑金属桥面并将金属桥面电性连接到所述第二电极；金属桥面，由所述支撑元件支撑并且与所述底部电极相对设置，所述金属桥面为关于其中心点呈旋转对称的具有迷宫状的悬梁框架结构；第二反射平面，设置在金属桥面中并且从朝向第一反射平面的一侧暴露出。本发明还公开了一种可调谐滤波器阵列，其包括：具有读出电路的基底；阵列设置在所述基底上多个可调谐滤波器，其中，所述可调谐滤波器为如前所述的可调谐滤波器。
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公开(公告)号：CN106672893A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611249408.8
申请日：2016-12-29
CPC分类号： B81B7/02 , G01J3/2823 , G01N21/01
摘要： 本发明公开了一种可调谐滤波器，其包括：半导体衬底；第一反射平面，形成在半导体衬底上；底部电极，包括相互电性绝缘的第一电极和第二电极，形成在第一反射平面上；支撑元件，设置在所述第二电极上，用于支撑金属桥面并将金属桥面电性连接到所述第二电极；金属桥面，由所述支撑元件支撑并且与所述底部电极相对设置，所述金属桥面为关于其中心点呈旋转对称的具有迷宫状的悬梁框架结构；第二反射平面，设置在金属桥面中并且从朝向第一反射平面的一侧暴露出。本发明还公开了一种可调谐滤波器阵列，其包括：具有读出电路的基底；阵列设置在所述基底上多个可调谐滤波器，其中，所述可调谐滤波器为如前所述的可调谐滤波器。
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公开(公告)号：CN102730629B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201210207100.2
申请日：2012-06-21
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种微透镜的制备方法及其产品，该方法包括：在基片上执行光刻工艺以形成直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；对所形成的凸台结构执行刻蚀工艺并清洗掉光刻胶，形成由基片材料构成的凸台结构；在基片及凸台结构上再次执行光刻工艺，以在凸台结构上形成其直径小于凸台直径的圆柱形结构；将所获得的制品放置在丙酮蒸气环境中，通过丙酮蒸气对圆柱形结构的腐蚀，由此形成具备球冠结构的微透镜；以及通过刻蚀工艺或倒模工艺将光刻胶材料构成的微透镜予以转移，相应形成最终制得的微透镜产品。通过本发明，能够有效避免光刻胶热熔法所存在的接触角不足、透镜球面面型误差较大的缺陷，并制备高质量、小接触角且尺寸更大的微透镜产品。
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公开(公告)号：CN102747325B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201210229768.7
申请日：2012-07-04
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法，包括：（1）将蓝宝石作为基底并进行清洗；（2）将清洗后的基底置于离子束镀膜机中并在室温条件下执行离子束溅射工艺，在此过程中首先对镀膜机内部抽真空至低于5.0×10-6Torr，然后向其通入氩气和氧气以形成3.0×10-4~4.0×10-4Torr的工作压强，由此在基底上沉积形成二氧化钒薄膜；（3）取出沉积二氧化钒薄膜的基底并在氮气保护氛围下执行退火处理，其中退火温度为420~490℃，退火时间为120~30分钟，退火后冷却由此获得最终产品。本发明还公开了相应的产品和特定用途。通过本发明，能够在室温条件下即可获得相变性能优良、相变幅度大、薄膜颗粒大小一致，排列均匀且可靠性高的产品，而且特别适用于激光防护等方面的用途。
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公开(公告)号：CN103543526A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310456195.6
申请日：2013-09-29
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G02B26/12
CPC分类号： G02B26/12 , G01S7/4817 , G01S7/4972 , G01S17/42 , G02B26/105
摘要： 本发明公开了一种阵列式激光扫描器，它包括成底座、控制驱动系统和阵列布置的若干个子镜；所述若干个子镜按照相同的朝向排列，均固定在底座上；各相邻子镜之间留有间距，使相邻子镜在倾斜时不相互碰到；所述控制驱动系统与所述N个子镜中的压电驱动器连接，用于实现对反射镜偏转角度的开环控制。本发明能够通过多光束扫描的方式将多个小扫描场拼接为大扫描场同时保证扫描角度和扫描频率，每个子镜也能独立扫描，实现多目标探测。本发明大幅度提高了空间利用率，提升扫描角度。具有驱动速度快，控制精度高，没有机械磨损，机构紧凑，空间利用率高，稳定性好的特点，并且体积小，重量轻，刚度高，特别适合卫星和无人机成像激光雷达应用。
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公开(公告)号：CN102981243A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210434727.1
申请日：2012-11-02
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了二维快速控制反射镜，包括反射镜片，第一、第二支架，第一柔性铰链，第一至第三压电驱动器，一级倾斜平台，底座，以及控制驱动系统；二支架对称固定在底座的一条中轴线上，一级倾斜平台位于二支架之间的下方，三个压电驱动器依次排列在一级倾斜平台和第一支架、第二支架所包围的空间内，驱动器通过第一柔性铰链与一级倾斜平台顶部连接，反射镜片固定在第一柔性铰链上；控制驱动系统实现对反射镜片偏转角度的闭环控制。本发明具有驱动速度快，控制精度高，没有机械磨损，机构紧凑，空间利用率高，无轴间干扰，稳定性好的特点，并且体积小，重量轻，刚度高，可实现单镜面二维扫描。
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