一种测量硬质涂层硬度的方法

    公开(公告)号:CN109632542A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811625665.6

    申请日:2018-12-28

    IPC分类号: G01N3/40

    CPC分类号: G01N3/40

    摘要: 本发明属于物理测量技术领域,具体涉及一种测量硬质涂层硬度的方法。本发明的测量方法包括以下步骤:在待测样品的硬质涂层上设置热塑性有机材料涂层;将热塑性有机材料涂层加热软化,然后在热塑性有机材料涂层上压出压痕,冷却,测量压痕尺寸,计算硬质涂层硬度。本发明通过在硬质涂层上设置具有一定塑性的有机材料涂层来降低压头对压痕周边的涂层的冲击作用,减小其碎裂程度;同时未被压头直接压到的涂层,被塑性的有机材料涂层包裹,即使其下方的粘合层失效,也不会大片脱落。本发明的方法能够减少硬度测量时压头压出的压痕四周的裂纹数量以及裂纹尺寸,同时对压痕尺寸具有一定的放大,从而使得硬质涂层的硬度测量波动性小。

    一种氧化铝湿敏传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118914306A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202411152566.6

    申请日:2024-08-21

    IPC分类号: G01N27/22

    摘要: 本发明公开了一种氧化铝湿敏传感器及其制备方法,属于传感器技术领域,本发明在硅衬底下表面设置有背面金属电极层,所述硅衬底的氧化硅层上表面设置有多孔氧化铝层,贯穿所述氧化铝层开设有第一通孔;所述多孔氧化铝层上表面设置有ZnO层,所述ZnO层上表面设置有ZnO:Al层,贯穿所述ZnO层和ZnO:Al层开设有第二通孔;所述ZnO:Al层上表面设置有正面金属电极层,所述背面金属电极层和正面金属电极层分别设置有金属焊盘电极。

    一种多孔硅气敏传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN113252737B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202110501819.6

    申请日:2021-05-08

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明涉及一种多孔硅气敏传感器及其制造方法。其中,本发明的多孔硅气敏传感器的多孔硅层处于衬底表面的中部区域,多孔硅层的外围被衬底所包围;多孔硅层从中心向外围分为中部内区域和中部外区域,中部内区域被中部外区域所包围;中部内区域的孔隙密度一致,中部外区域的孔隙密度从内向外逐渐降低,中部内区域的孔隙密度大于中部外区域的孔隙密度;金属栅线电极的内端处于多孔硅层上,金属栅线电极的外端延伸至多孔硅层外围的衬底之上并用于外接;处于多孔硅层上的金属栅线电极的宽度大于处于多孔硅层外围的衬底之上的金属栅线电极的宽度。本发明的多孔硅气敏传感器的栅线不容易断裂,具有较高的可靠性。

    一种多孔硅气敏传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN113252737A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110501819.6

    申请日:2021-05-08

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明涉及一种多孔硅气敏传感器及其制造方法。其中,本发明的多孔硅气敏传感器的多孔硅层处于衬底表面的中部区域,多孔硅层的外围被衬底所包围;多孔硅层从中心向外围分为中部内区域和中部外区域,中部内区域被中部外区域所包围;中部内区域的孔隙密度一致,中部外区域的孔隙密度从内向外逐渐降低,中部内区域的孔隙密度大于中部外区域的孔隙密度;金属栅线电极的内端处于多孔硅层上,金属栅线电极的外端延伸至多孔硅层外围的衬底之上并用于外接;处于多孔硅层上的金属栅线电极的宽度大于处于多孔硅层外围的衬底之上的金属栅线电极的宽度。本发明的多孔硅气敏传感器的栅线不容易断裂,具有较高的可靠性。

    一种聚晶超硬刀具及其制备方法

    公开(公告)号:CN104668598B

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201510069940.0

    申请日:2015-02-09

    IPC分类号: B23B27/14 B23B27/20 B22D19/00

    摘要: 本发明公开了一种聚晶超硬刀具及其制备方法,所述聚晶超硬刀具包括刀体部和刃口部,所述刃口部位于所述刀体部两个以上表面的交汇处;所述刀体部与刃口部材料均为聚晶材料,刃口部材料的平均结晶度大于所述刀体部材料的平均结晶度。本发明的聚晶超硬刀具,刃口部材料的结晶度大于刀体部材料的结晶度,使刃口的应力减小,刃口的硬度提高,从而延长了刀具的使用寿命。本发明制备方法通过采用金属诱导的工艺,提高刃口的结晶度,从而减小刃口应力,同时提高刃口硬度,延长了刀具的使用寿命;该制备方法工艺简单,操作方便,适合大规模工业化生产。

    一种双面电极型多孔硅基氧化物气敏传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117233216A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311202492.8

    申请日:2023-09-18

    IPC分类号: G01N27/12

    摘要: 本发明属于氧化物气敏传感器领域,具体涉及一种双面电极型多孔硅基氧化物气敏传感器及其制备方法。该气敏传感器包括由下向上依次设置的硅基板、多孔硅层、氧化硅层和氧化物气敏层,所述氧化物气敏层上设有上电极,所述硅基板的背侧设有下电极;氧化物气敏层内设置有氧吸除材料区,所述氧化硅层内与氧吸除材料区对应位置设置有多孔硅区,多孔硅区的上部与氧吸除材料区相连通,下部与所述多孔硅层相连通,所述多孔硅区占据所述氧化硅层的一部分;所述氧吸除材料区的至少局部区域的上下方向上的电导率高于多孔硅的电导率。本发明利用氧吸除材料区在氧化硅层中形成空洞区域,降低了传感器的导通电阻,降低了器件工作电压。

    一种测量硬质涂层硬度的方法

    公开(公告)号:CN109632542B

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201811625665.6

    申请日:2018-12-28

    IPC分类号: G01N3/40

    摘要: 本发明属于物理测量技术领域,具体涉及一种测量硬质涂层硬度的方法。本发明的测量方法包括以下步骤:在待测样品的硬质涂层上设置热塑性有机材料涂层;将热塑性有机材料涂层加热软化,然后在热塑性有机材料涂层上压出压痕,冷却,测量压痕尺寸,计算硬质涂层硬度。本发明通过在硬质涂层上设置具有一定塑性的有机材料涂层来降低压头对压痕周边的涂层的冲击作用,减小其碎裂程度;同时未被压头直接压到的涂层,被塑性的有机材料涂层包裹,即使其下方的粘合层失效,也不会大片脱落。本发明的方法能够减少硬度测量时压头压出的压痕四周的裂纹数量以及裂纹尺寸,同时对压痕尺寸具有一定的放大,从而使得硬质涂层的硬度测量波动性小。