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公开(公告)号：CN114502914A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202080068030.X
申请日：2020-08-13
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种用于测量光学表面(102)的形状的测试干涉仪(100)的衍射光学元件(10)，其包括：衍射形状测量结构(16)，其布置在衍射光学元件的使用表面(14)上并且被配置为当衍射光学元件布置在测试干涉仪中时生成用于照射待测量的光学表面的测试波(122)；以及至少一个测试场(18)，被配置为用于测量定位在测试场内的测试结构的多个轮廓性质，轮廓性质表征相对于使用表面横向延伸的测试结构的轮廓并且包括测试结构的轮廓的侧翼角、测试结构的轮廓深度、和在测试结构的沟槽形状的轮廓的基部区域中出现的微沟槽的深度。测试场布置在使用表面的一个位置处而不是衍射形状测量结构，使得测试场由多个衍射形状测量结构围绕。
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公开(公告)号：CN107223217B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201680009975.8
申请日：2016-02-02
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种EUV投射光刻的照明光学单元，包括场分面反射镜和光瞳分面反射镜。经由相应的一个照明通道，通过恰好一个场分面和恰好一个光瞳分面(29)在光源与物场之间引导相应使用的照明光部分束(16i)。可用作校正光瞳分面的至少一些光瞳分面(29)布置在照射其上的照明光部分束(16i)的束路径中，使得在像位置处产生光源的像，像位置位于沿着照明通道(16i)距光瞳分面(29)一定距离。用于可用作信号连接至位移致动器(31)的校正场分面的至少一些场分面的受控位移的校正控制装置(32)实施为使得校正场分面的校正位移路径如此之大，使得相应校正照明通道(16i)在边沿由校正光瞳分面(29)切断，使得照明光部分束(16i)不全部从校正光瞳分面(29)传输到物场中。使用照明光学单元，可以执行一种规定在照明光学单元(4)的物场的横向场坐标(x)之上的照明光(16)的最小照明强度的方法。
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公开(公告)号：CN107223217A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201680009975.8
申请日：2016-02-02
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种EUV投射光刻的照明光学单元，包括场分面反射镜和光瞳分面反射镜。通过恰好一个场分面和恰好一个光瞳分面(29)沿着在光源与物场之间的照明通道引导相应使用的照明光部分束(16i)。可用作校正光瞳分面的至少一些光瞳分面(29)布置在作用其上的照明光部分束(16i)的束路径中，使得在像点处产生光源的像，像点位于沿着照明通道(16i)距光瞳分面(29)一定距离。用于可用作信号连接至位移致动器(31)的校正场分面的至少一些场分面的受控位移的校正控制装置(32)设计为使得校正场分面的校正位移路径如此之大，使得相应校正照明通道(16i)在光瞳分面(29)的边缘侧被修剪，使得照明光部分束(16i)不全部由光瞳分面(29)传输到物场中。本发明还涉及一种通过照明光学单元(4)的物场的横向场坐标(x)预定照明光(16)的最小照明强度的方法。
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