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公开(公告)号：CN105022166B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201510526032.X
申请日：2015-08-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置，包括呈长方体结构的洁净转运箱，其前端敞口，后端设有进风口；可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置，并能够遮盖住该敞口的前挡板；可拆卸地安装在所述进风口位置，并能够遮盖住该进风口的后挡板；对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道，该滑道具有至少一条滑槽，所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求，大口径光学元件在进入滑道后，能够实现一定的柔性调整，转运方便可靠，具有结构简单，操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN105502142B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201510410156.1
申请日：2015-07-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B66C1/10
摘要： 本发明公开了一种精密定位与柔性对接系统，包括吊臂，吊臂通过滑轮系统设有钢绳；与钢绳下端连接的夹具臂；可转动地安装在夹具臂一端的夹具头；撑杆和撑台构成的随动支撑结构，撑杆下端铰接在夹具臂上；悬摆内圈和悬摆外圈，钢绳穿过悬摆内圈，悬摆外圈固定在撑台一端；悬摆调平机构，该悬摆调平机构一端铰接在悬摆内圈上端，另一端与吊臂固定。本发明通过撑杆和撑台组成的随动支撑结构与吊钩共同作用，确保夹具头和夹具臂始终处于双吊点柔性悬挂状态，使大口径光机模块安装过程具有柔顺性，并通过调平结构使大口径光机模块在安装过程中始终保持静力平衡状态，通过空间姿态调整，实现大口径光机模块的空间精密定位，并与安装位之间进行柔性对接。
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公开(公告)号：CN105022166A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510526032.X
申请日：2015-08-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置，包括呈长方体结构的洁净转运箱，其前端敞口，后端设有进风口；可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置，并能够遮盖住该敞口的前挡板；可拆卸地安装在所述进风口位置，并能够遮盖住该进风口的后挡板；对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道，该滑道具有至少一条滑槽，所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求，大口径光学元件在进入滑道后，能够实现一定的柔性调整，转运方便可靠，具有结构简单，操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN110389090A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910722708.0
申请日：2019-08-06
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N15/02
摘要： 一种大口径反射镜表面颗粒污染物亚像素尺寸标定方法，本发明的目的是为了解决现有像素级尺寸标定方法精度低的问题。过程为：一、将整个通光域均分为4×4个子区域，制备与子区域尺寸相同的标定板，并在标定板上预置不同尺寸的二氧化硅颗粒；二、将标定板依次放置在反射镜表面均匀分割的不同的子区域上，并分别采集不同区域的标定板图片；三、得到颗粒污染物在图像中的位置坐标、像素面积、像素直径、总灰度信息；四、在超景深显微镜下测量颗粒污染物的实际直径和实际面积；五、训练污染物面积、直径标定模型，由训练好的污染物面积、直径标定模型对测试样本进行估计。本发明用于表面颗粒污染物亚像素尺寸标定领域。
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公开(公告)号：CN110389088A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910722035.9
申请日：2019-08-06
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种大口径反射镜表面颗粒污染物在线监测方法，涉及工程光学技术领域。本发明是为了解决现有暗场检测方法，由于污染物具有尺寸小、数量少导致自动聚焦算法受图像背景影响，未综合考虑镜头制造误差与成像系统安装误差引起的成像畸变，由于图像背景复杂，污染物提取算法易造成漏检与误检的问题。本发明使光源发出的光以低角度双侧扫掠式辐照于反射镜表面，实现反射镜表面全口径辐照；使成像系统的焦面聚焦在反射镜表面，调整成像系统的曝光时间，实现目标点颗粒污染物和背景的分离，然后采集反射镜表面的图像；对采集到的图像进行畸变矫正、并去除矫正后图像中的背景光，然后对图像进行二值化处理，获得图像中的颗粒污染物信息。
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公开(公告)号：CN105502142A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510410156.1
申请日：2015-07-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B66C1/10
摘要： 本发明公开了一种精密定位与柔性对接系统，包括吊臂，吊臂通过滑轮系统设有钢绳；与钢绳下端连接的夹具臂；可转动地安装在夹具臂一端的夹具头；撑杆和撑台构成的随动支撑结构，撑杆下端铰接在夹具臂上；悬摆内圈和悬摆外圈，钢绳穿过悬摆内圈，悬摆外圈固定在撑台一端；悬摆调平机构，该悬摆调平机构一端铰接在悬摆内圈上端，另一端与吊臂固定。本发明通过撑杆和撑台组成的随动支撑结构与吊钩共同作用，确保夹具头和夹具臂始终处于双吊点柔性悬挂状态，使大口径光机模块安装过程具有柔顺性，并通过调平结构使大口径光机模块在安装过程中始终保持静力平衡状态，通过空间姿态调整，实现大口径光机模块的空间精密定位，并与安装位之间进行柔性对接。
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公开(公告)号：CN110389089A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910722706.1
申请日：2019-08-06
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，属于颗粒污染物检测技术领域。本发明针对大口径反射镜的工作姿态造成光路中的颗粒污染物易沉积附着于反射镜表面，从而造成反射镜表面的损伤问题。包括外框架、反射镜及光源单元、导轨及图像监测单元，外框架呈长方体，外框架的所有表面设置黑色不透明外包层，形成暗场环境；沿外框架长度方向的一侧边框上设置反射镜及光源单元，反射镜及光源单元用于固定反射镜，并提供光源及实现光源对反射镜辐照角度的调节；另一侧边框的底边上固定沿外框架长度方向的导轨，图像监测单元与导轨滑动连接；图像监测单元用于实现对反射镜不同距离的自动聚焦及图像监测。本发明用于反射镜表面的颗粒污染物检测。
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公开(公告)号：CN105511040A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510410088.9
申请日：2015-07-13
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种用于大口径光学元件拆装的对接装置，包括拆装箱，所述拆装箱的上下两端均设有盖板，该盖板内壁上设有拆装导轨，所述拆装箱上下两端的盖板外壁上对称地设有对接机构；所述对接机构包括固定在盖板外壁上的滑道、可滑动地安装在所述滑道内的定位桥、以及位于定位桥与盖板外壁之间的搭接导轨；所述滑道靠近拆装箱敞口一端设有开口，所述搭接导轨与同侧的盖板之间留有间隙，当推动定位桥伸出开口时，所述搭接导轨能够在摩擦力作用下沿开口伸出拆装箱。本发明能够确保复杂光学系统中大口径光学元件的安全可靠的拆装，具有结构简单紧凑，调节方便，可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN110389090B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN201910722708.0
申请日：2019-08-06
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01N15/02
摘要： 一种大口径反射镜表面颗粒污染物亚像素尺寸标定方法，本发明的目的是为了解决现有像素级尺寸标定方法精度低的问题。过程为：一、将整个通光域均分为4×4个子区域，制备与子区域尺寸相同的标定板，并在标定板上预置不同尺寸的二氧化硅颗粒；二、将标定板依次放置在反射镜表面均匀分割的不同的子区域上，并分别采集不同区域的标定板图片；三、得到颗粒污染物在图像中的位置坐标、像素面积、像素直径、总灰度信息；四、在超景深显微镜下测量颗粒污染物的实际直径和实际面积；五、训练污染物面积、直径标定模型，由训练好的污染物面积、直径标定模型对测试样本进行估计。本发明用于表面颗粒污染物亚像素尺寸标定领域。
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公开(公告)号：CN110389088B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201910722035.9
申请日：2019-08-06
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种大口径反射镜表面颗粒污染物在线监测方法，涉及工程光学技术领域。本发明是为了解决现有暗场检测方法，由于污染物具有尺寸小、数量少导致自动聚焦算法受图像背景影响，未综合考虑镜头制造误差与成像系统安装误差引起的成像畸变，由于图像背景复杂，污染物提取算法易造成漏检与误检的问题。本发明使光源发出的光以低角度双侧扫掠式辐照于反射镜表面，实现反射镜表面全口径辐照；使成像系统的焦面聚焦在反射镜表面，调整成像系统的曝光时间，实现目标点颗粒污染物和背景的分离，然后采集反射镜表面的图像；对采集到的图像进行畸变矫正、并去除矫正后图像中的背景光，然后对图像进行二值化处理，获得图像中的颗粒污染物信息。
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