一种异质结中长波红外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113284975B

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202110580050.1

    申请日:2021-05-26

    摘要: 本发明公开了一种异质结中长波红外探测器及其制备方法,所述探测器包括Si衬底、WS2/石墨烯量子点异质结和金电极,Si衬底上生长WS2/石墨烯量子点异质结,金电极设置在WS2/石墨烯量子点异质结上,制备步骤如下:一、在Si衬底上磁控溅射沉积WS2薄膜;二、制备WS2/石墨烯量子点异质结;三、利用磁控溅射技术在异质结表面沉积Au电极。本发明的探测器为光电导型器件,通过合成WS2/石墨烯量子点异质结使材料的带隙处于中长波红外波段,当入射光子能量大于异质结禁带宽度,材料中光生载流子可以实现跃迁,整个材料体系的电导率增大,从而实现器件在中长波红外波段的响应,材料制备工艺简单,便于工业化大规模生产。

    一种二硫化钼/二硫化钨红外双色探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113299779A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202110580063.9

    申请日:2021-05-26

    摘要: 本发明公开了一种二硫化钼/二硫化钨红外双色探测器及其制备方法,所述探测器包括蓝宝石衬底、MoS2层、WS2层和金电极,蓝宝石衬底上生长MoS2层,MoS2层上生长WS2层,金电极设置在MoS2层和WS2层上,具体制备方法如下:一、利用磁控溅射技术在蓝宝石衬底上生长MoS2层;二、利用CVD技术在MoS2层上生长WS2层;三、利用磁控溅射技术在MoS2层和WS2层表面蒸镀金电极。本发明利用WS2层与MoS2层构成超晶格,通过调节厚度,在超晶格中形成多个子带能级,能级带隙满足中波双色红外探测要求,当入射光子大于等于超晶格的自带能级时,光生载流子可以在子带间跃迁,超晶格的电导率增加,实现红外双波段探测。

    一种异质结中长波红外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113284975A

    公开(公告)日:2021-08-20

    申请号:CN202110580050.1

    申请日:2021-05-26

    摘要: 本发明公开了一种异质结中长波红外探测器及其制备方法,所述探测器包括Si衬底、WS2/石墨烯量子点异质结和金电极,Si衬底上生长WS2/石墨烯量子点异质结,金电极设置在WS2/石墨烯量子点异质结上,制备步骤如下:一、在Si衬底上磁控溅射沉积WS2薄膜;二、制备WS2/石墨烯量子点异质结;三、利用磁控溅射技术在异质结表面沉积Au电极。本发明的探测器为光电导型器件,通过合成WS2/石墨烯量子点异质结使材料的带隙处于中长波红外波段,当入射光子能量大于异质结禁带宽度,材料中光生载流子可以实现跃迁,整个材料体系的电导率增大,从而实现器件在中长波红外波段的响应,材料制备工艺简单,便于工业化大规模生产。