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公开(公告)号：CN107385504B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201710524891.4
申请日：2017-06-30
摘要： 基于电化学约束刻蚀的阵列电极及其加工方法。本发明涉及一种基于电化学约束刻蚀的阵列电极及其加工方法。所述的主控制系统将控制信号发送给电化学工作站、阵列电极控制与运动控制系统，所述的电化学工作站、阵列电极控制与运动控制系统再将信号反馈给主控制系统。本发明用于基于电化学约束刻蚀的阵列电极。
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公开(公告)号：CN107385504A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710524891.4
申请日：2017-06-30
CPC分类号： C25F7/00 , B23H3/00 , B23H3/04 , B81B7/04 , B81C1/00373 , B81C2201/0185 , B81C2201/0191 , B82Y40/00 , C25F3/02
摘要： 基于电化学约束刻蚀的阵列电极及其加工方法。本发明涉及一种基于电化学约束刻蚀的阵列电极及其加工方法。所述的主控制系统将控制信号发送给电化学工作站、阵列电极控制与运动控制系统，所述的电化学工作站、阵列电极控制与运动控制系统再将信号反馈给主控制系统。本发明用于基于电化学约束刻蚀的阵列电极。
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公开(公告)号：CN103837708A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201210492775.6
申请日：2012-11-27
摘要： 本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括：宏微位移平台；位移台，固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上，可在该X-Y平面上进行位移，电解池与该位移台相对静止；探针电极，固设于宏微位移平台确定的Z方向上，其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中，距离电解池内的工件预设距离；以及电化学工作站，其工作电极连接至探针电极，其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中，控制工作电极电位恒定，检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号，获得电流信号曲线，由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。
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公开(公告)号：CN113406165B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202110672096.6
申请日：2021-06-17
摘要： 一种基于振动模式的电化学检测装置控制系统及检测方法，涉及一种电化学检测系统及检测方法。检测装置固定在Z向位移台上，X‑Y二维气浮平台上固定三维压电位移台，信号发生器控制激振压电陶瓷环的振动，电容式位移传感器测得激振压电陶瓷环的位移变化经电荷放大器处理后传递给锁相放大器，PID控制器将锁相放大器提取的电压幅值信号运算处理后对压电促动器进行控制，压电促动器、X‑Y二维气浮平台和三维压电位移台为上位机提供实时信号，上位机通过UMAC控制器控制Z向位移台、X‑Y二维气浮平台和三维压电位移台。探针以振动模式接近被测样品表面，减小相互作用力不易损坏，Z向闭环反馈功能保证距离恒定，检测更加准确。
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公开(公告)号：CN107486601B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201710675817.2
申请日：2017-08-09
摘要： 一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法，涉及微纳米加工领域。方法是：根据需要加工的特定形貌结构，设计制作异形电极刀具；将异形电极刀具固定于夹具上，再将夹具固定于多维操纵装置的Z方向位移台上；将被加工工件固定于电解池底部，向电解池注入电解液，控制异形电极刀具逼近被加工工件，并利用多维操纵装置的XY方向位移台调整异形电极刀具与被加工工件相对位置；将辅助电极和参比电极浸入电解液中，电化学工作站的工作电极线连接异形电极刀具，启动电化学工作站，产生电化学电流；控制C方向转台使被加工工件进行旋转运动，同时加工进行；加工结束后，被加工工件表面产生要求的形貌结构。本发明用于对工件进行电化学加工。
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公开(公告)号：CN113406166B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202110672098.5
申请日：2021-06-17
IPC分类号： G01N27/30 , G01N27/416 , G01B7/02
摘要： 一种基于振动模式的电化学检测装置，涉及一种电化学检测装置。滑槽固定座上竖向滑动安装有滑块并且设有紧固螺栓能够紧固定位，压电促动器竖向固定在滑块上，电容固定器固定在压电促动器底部，调距环与电容固定器下端旋接配合，电容式位移传感器插装在电容固定器内部，锁紧螺钉能够锁紧定位，激振压电陶瓷环固定在调距环底部，柔性铰链夹装固定在上固定环与下固定环之间，边缘固定导电片并连接外接导线，上固定环固定在激振压电陶瓷环底部，定位螺钉安装螺母接头与柔性铰链紧固定位，纳米电极探针固定在螺母接头底部。探针逼近样品表面更加精准安全，并且电容式位移传感器与探针的间距调节方便，保证最佳使用性能。
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公开(公告)号：CN113406165A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110672096.6
申请日：2021-06-17
摘要： 一种基于振动模式的电化学检测装置控制系统及检测方法，涉及一种电化学检测系统及检测方法。检测装置固定在Z向位移台上，X‑Y二维气浮平台上固定三维压电位移台，信号发生器控制激振压电陶瓷环的振动，电容式位移传感器测得激振压电陶瓷环的位移变化经电荷放大器处理后传递给锁相放大器，PID控制器将锁相放大器提取的电压幅值信号运算处理后对压电促动器进行控制，压电促动器、X‑Y二维气浮平台和三维压电位移台为上位机提供实时信号，上位机通过UMAC控制器控制Z向位移台、X‑Y二维气浮平台和三维压电位移台。探针以振动模式接近被测样品表面，减小相互作用力不易损坏，Z向闭环反馈功能保证距离恒定，检测更加准确。
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公开(公告)号：CN107486601A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201710675817.2
申请日：2017-08-09
摘要： 一种利用异形电极刀具进行电化学加工的方法，涉及微纳米加工领域。方法是：根据需要加工的特定形貌结构，设计制作异形电极刀具；将异形电极刀具固定于夹具上，再将夹具固定于多维操纵装置的Z方向位移台上；将被加工工件固定于电解池底部，向电解池注入电解液，控制异形电极刀具逼近被加工工件，并利用多维操纵装置的XY方向位移台调整异形电极刀具与被加工工件相对位置；将辅助电极和参比电极浸入电解液中，电化学工作站的工作电极线连接异形电极刀具，启动电化学工作站，产生电化学电流；控制C方向转台使被加工工件进行旋转运动，同时加工进行；加工结束后，被加工工件表面产生要求的形貌结构。本发明用于对工件进行电化学加工。
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公开(公告)号：CN107414221A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710243275.1
申请日：2017-04-14
IPC分类号： B23H5/06
CPC分类号： B23H5/06
摘要： 一种三维微纳结构电化学诱导加工方法，属于微纳米结构加工领域。所述的加工方法包括如下步骤：将被加工工件固定于电化学体系中电解池底部，再将电解池固定于X-Y方向水平位移台上；将微纳米尺寸刀具电极固定于夹具上，再将夹具固定于Z方向位移台上；向电解池中注入电解液，使电解液没过被加工工件；控制微纳米尺寸刀具电极逼近被加工材料；Z方向微动位移台设定为闭环模式，微纳米尺寸刀具电极电化电流作为其闭环信号；微纳米尺寸刀具电极在扫描运动时，根据预加工结构三维形貌实时调制刀具电极的电化学电流，最终在被加工工件表面加工出预定的三维微纳结构。本发明的加工方法属于一次成型，从而大大减少加工复杂度，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN103837708B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210492775.6
申请日：2012-11-27
摘要： 本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括：宏微位移平台；位移台，固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上，可在该X-Y平面上进行位移，电解池与该位移台相对静止；探针电极，固设于宏微位移平台确定的Z方向上，其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中，距离电解池内的工件预设距离；以及电化学工作站，其工作电极连接至探针电极，其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中，控制工作电极电位恒定，检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号，获得电流信号曲线，由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。
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