单片集成MEMS压力和加速度复合传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116462153A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310610556.1

    申请日:2023-05-29

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 一种单片集成MEMS压力和加速度复合传感器及其制备方法,复合传感器包括通过硅基垂直互连集成的MEMS压力传感器和MEMS加速度传感器,二者分别布置在硅基相背的工作面上;MEMS压力传感器为压阻式传感器,包括一个多翼型敏感膜,多翼型敏感膜形成于所述硅基的上表面,多翼型敏感膜的表面形成有半岛结构、孤岛结构及中央凸台结构,半岛结构的上表面均设置一个第一压阻器件;MEMS加速度传感器包括设置于所述硅基下表面的多悬臂梁结构,多悬臂梁结构包括多个悬臂梁和一个中央质量块;悬臂梁上设置第二压阻器件。本发明不仅能够解决现有微机械复合压力传感器灵敏度低、集成度低的问题,而且制备工艺更合理,通用性更强。

    一种基于环境监测的辐照量智能控制方法及系统

    公开(公告)号:CN117258005A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311267992.X

    申请日:2023-09-27

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于环境监测的辐照量智能控制方法,包括:S1、实时获取监测环境中的温湿度信息与活体检测信息;S2、根据活体检测信息得到活体与光源的距离信息;S3、将温湿度信息输入温湿度衰减预测模型,获得温度对应的第一辐射强度与湿度对应的第二辐射强度;S4、将距离信息输入距离衰减预测模型,获得距离对应的第三辐射强度;S5、根据第一辐射强度、第二辐射强度、第二辐射强度计算出照射时间;S6、根据照射时间、第一辐射强度、第二辐射强度、第二辐射强度计算出辐射剂量;S7、根据辐射剂量与预设调整策略自动调整照射时间。保证照射目标的同时,满足了照射剂量和臭氧浓度在规定的安全范围内,提高了消毒杀菌的工作效率。

    一种可移动紫外杀菌装置

    公开(公告)号:CN221600720U

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202322991120.X

    申请日:2023-11-02

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种可移动紫外杀菌装置,紫外杀菌灯位于两个轨道之间且两端分别可滑动安装在轨道上;紫外杀菌灯的正电极、负电极和激发灯管位于灯盒内,正电极和负电极间隔布置,激发灯管安装在正电极和负电极下方且横跨正电极和负电极设置,激发灯管内填充有激发气体,灯盒底部设有与激发灯管对应布置的滤光片。通过上述优化设计的可移动紫外杀菌装置,只需设置少量紫外紫外杀菌灯,紫外杀菌灯沿轨道装置定向移动至当前病原微生物浓度较高处进行高效消杀,针对不同空间位置的杀菌需求移动,可以减少重复照射,减少紫外杀菌灯所需数量,从而降低养殖场消杀成本。

Patent Agency Ranking