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公开(公告)号：CN114657539A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210314638.7
申请日：2016-04-18
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18
摘要： 本文公开了一种容器，其用于利用载气从包含在所述容器内的前体材料输送含有前体的流体流。所述容器限定分段为上空间和下空间的内部空间，所述上空间与所述下空间流体连通，所述下空间包含基本上所有所述前体材料并通过分隔体与所述上空间分隔开。所述容器包括从入口端口延伸通过所述分隔体、具有远端并且沿所述容器的底部内壁延伸的扩散管，所述远端具有多个形成于其中的开口。
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公开(公告)号：CN107365975B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201710335600.7
申请日：2017-05-12
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本文描述的是用于在沉积工艺的容器中提供前体利用率的改进的递送容器、系统和其使用方法，以及容器的清洁和再填充。所述容器设计有允许载气从流量分配器递送的结构。所述流量分配器包括多个小开口(喷口)，载气通过其进入前体腔室并冲击在所述化学前体表面上以产生蒸气。
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公开(公告)号：CN104215300B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201410206617.9
申请日：2014-05-15
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： G01F23/296
摘要： 本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
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公开(公告)号：CN109268553A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201810791326.9
申请日：2018-07-18
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
摘要： 提供可完全移除的护架或阀门护罩，其可在容器的顶部、侧面和底部支撑容器。如果所述容器跌落在其侧面或顶部上，则所述可移除的护架或阀门护罩提供保护。所提供的保护允许所述容器通过根据49CFR第178.603节的跌落测试，因此可以根据49 CFR 178.504认证所述容器。
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公开(公告)号：CN109211357A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811082702.3
申请日：2014-05-15
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： G01F23/296
摘要： 本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
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公开(公告)号：CN105387910B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201510549187.5
申请日：2015-08-31
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： G01F23/296
摘要： 一种用于测量密封容器内的液位的具有超声传感器(例如，压电晶体)的超声探头，其具有使得探头更可靠且能够随着容器接近于空的状态得到更精确的液位读数的特征。实施方式包括在探头的下端使超声传感器间隔更密切，偏置传感器以使得其垂直间隔能够更紧密，用于冗余的匹配的传感器对，和位于探头下端的面向下的传感器以降低可通过探头精确测量的最小液位。还可以提供坑槽以进一步降低可通过探头精确测量的最小液位。
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公开(公告)号：CN108570657A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201810346480.5
申请日：2013-05-27
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/448 , C23C16/455 , H01L21/02 , B01D7/00
摘要： 一种容器，用于从所述容器内含有的前体材料中传输含前体流体流，所述容器包括：由顶、一个或多个侧壁及底限定的内部体积；和至少一个用于气化的前体的流体出口，和至少一个颗粒屏障，所述至少一个颗粒屏障限定了在内部体积中的至少一个颗粒限制空间的至少部分，其中所述至少一个颗粒屏障包括至少一个三维过滤器。本发明还公开了使用该设备的方法。
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公开(公告)号：CN106148914B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201610320197.6
申请日：2016-05-13
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/448
摘要： 本文公开的是存储和递送用于制造半导体器件的化学前体的系统以及使用该系统的方法。在一个方面，该存储系统包括该化学前体和容器，并且所述系统具有入口射流设计。所述化学前体在设定用于递送的容器温度下具有小于约50托‑绝对压力的低蒸气压。该递送系统还包含载气。该入口射流设计可以以一定压力和一定的低速率递送载气，以撞击在所述化学前体表面上而产生所述化学前体的蒸气或小滴。所述化学前体的蒸气或小滴然后与所述载气合并以提供负载前体的流体流，所述负载前体的流体流将传送到加工设备并在该加工设备中使用。
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公开(公告)号：CN109268553B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201810791326.9
申请日：2018-07-18
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
摘要： 提供可完全移除的护架或阀门护罩，其可在容器的顶部、侧面和底部支撑容器。如果所述容器跌落在其侧面或顶部上，则所述可移除的护架或阀门护罩提供保护。所提供的保护允许所述容器通过根据49CFR第178.603节的跌落测试，因此可以根据49 CFR 178.504认证所述容器。
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公开(公告)号：CN110551989A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910951469.6
申请日：2016-04-18
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18
摘要： 本文公开了一种容器，其用于利用载气从包含在所述容器内的前体材料输送含有前体的流体流。所述容器限定分段为上空间和下空间的内部空间，所述上空间与所述下空间流体连通，所述下空间包含基本上所有所述前体材料并通过分隔体与所述上空间分隔开。所述容器包括从入口端口延伸通过所述分隔体、具有远端并且沿所述容器的底部内壁延伸的扩散管，所述远端具有多个形成于其中的开口。
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