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公开(公告)号：CN112088418A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201880092749.X
申请日：2018-05-10
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/153
摘要： 在产生多极场的绕线型的像差校正器中，缓和为了配置电流线所要求的机械位置精度。因此，构成像差校正器的多极透镜具有磁性体芯(150)和多个电流线(101)～(112)，在磁性体芯的内壁设有多个槽(151)～(162)，多个槽的中心(151a)～(162a)相对于磁性体芯的中心轴(150a)轴对称地配置，多个电流线的主线部分别配置于磁性体芯的多个槽的任一个。
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公开(公告)号：CN113661556B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN201980094928.1
申请日：2019-04-19
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/141
摘要： 提供具有能修正色像差的绕组像差修正器的带电粒子线装置。多极透镜具有：磁性体芯(150)；多个电流线(101)～(112)；丝状的多个电极(301)～(312)；用于将多个电极固定于真空容器内的结构物的绝缘性的电极固定部(331)～(342)；和设于电极固定部与磁性体芯的中心轴之间且设为基准电位的导电性的屏蔽件(320)、(321)，多个电流线的主线部沿着磁性体芯的内壁相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置，多个电极中的与磁性体芯的中心轴平行的部分相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置。
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公开(公告)号：CN108140525B
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201580083098.4
申请日：2015-09-29
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/28
摘要： 本发明的目的涉及，在低加速电压下，高分辨率观察明视野STEM、暗视野像STEM以及EELS。本发明涉及具备电子能量损失谱仪(17)的透射扫描型电子显微镜，其中，通过变更试样相对于一次电子束的光轴方向的配置，从而控制STEM检测器(11、13)以及电子能量损失谱仪(17)的捕获角。根据本发明，能够抑制伴随着捕获角的控制的色差的产生，且能够容易地控制最适于明视野STEM、暗视野STEM以及EELS的每一个的散射角度。
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公开(公告)号：CN112088418B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN201880092749.X
申请日：2018-05-10
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/153
摘要： 在产生多极场的绕线型的像差校正器中，缓和为了配置电流线所要求的机械位置精度。因此，构成像差校正器的多极透镜具有磁性体芯的内壁设有多个槽(151)～(162)，多个槽的中心(151a)～(162a)相对于磁性体芯的中心轴(150a)轴对称地配置，多个电流线的主线部分别配置于磁性体芯的多个槽的任一个。(150)和多个电流线(101)～(112)，在磁性体芯
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公开(公告)号：CN111033675B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN201780094064.4
申请日：2017-08-24
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28
摘要： 简便地实现能够进行二次带电粒子的能量辨别的带电粒子线装置。带电粒子线装置，具有：带电粒子源(2)；载置样品(15)的样品台(14)；向样品(15)照射来自带电粒子源(2)的带电粒子线(5)的物镜(13)；使向样品(15)照射带电粒子线(5)而放出的二次带电粒子(16)偏转的偏转器(17)；检测由偏转器(17)偏转的二次带电粒子的检测器(18)；对样品(15)或者样品台(14)施加正电压(V3)的样品电压控制部(19)；以及控制偏转器(17)使二次带电粒子(16)偏转的强度的偏转强度控制部(20)。
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公开(公告)号：CN113661556A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201980094928.1
申请日：2019-04-19
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/141
摘要： 提供具有能修正色像差的绕组像差修正器的带电粒子线装置。多极透镜具有：磁性体芯(150)；多个电流线(101)～(112)；丝状的多个电极(301)～(312)；用于将多个电极固定于真空容器内的结构物的绝缘性的电极固定部(331)～(342)；和设于电极固定部与磁性体芯的中心轴之间且设为基准电位的导电性的屏蔽件(320)、(321)，多个电流线的主线部沿着磁性体芯的内壁相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置，多个电极中的与磁性体芯的中心轴平行的部分相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置。
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公开(公告)号：CN112236837B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN201880094321.9
申请日：2018-06-04
申请人： 株式会社日立高新技术
发明人： 山泽雄
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/141 , H01J37/147
摘要： 在进行使入射到试样上的预定的入射位置的电子束的入射角发生变化的角度扫描的电子束装置中，将校正线圈(3)设置于物镜(6)的轭(磁路)(61)的间隙部的情况下，即使偏转频率较高，也能够追随偏转信号来校正球面像差。因此，控制电子光学系统的主控制部(16)在校正线圈的控制中设定针对扫描线圈的控制的预定的相位变化量(a，b)，预定的相位变化量(a，b)根据扫描速度不同的多个扫描模式而不同。
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公开(公告)号：CN112236837A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201880094321.9
申请日：2018-06-04
申请人： 株式会社日立高新技术
发明人： 山泽雄
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/141 , H01J37/147
摘要： 在进行使入射到试样上的预定的入射位置的电子束的入射角发生变化的角度扫描的电子束装置中，将校正线圈(3)设置于物镜(6)的轭(磁路)(61)的间隙部的情况下，即使偏转频率较高，也能够追随偏转信号来校正球面像差。因此，控制电子光学系统的主控制部(16)在校正线圈的控制中设定针对扫描线圈的控制的预定的相位变化量(a，b)，预定的相位变化量(a，b)根据扫描速度不同的多个扫描模式而不同。
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公开(公告)号：CN111033675A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201780094064.4
申请日：2017-08-24
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28
摘要： 简便地实现能够进行二次带电粒子的能量辨别的带电粒子线装置。带电粒子线装置，具有：带电粒子源(2)；载置样品(15)的样品台(14)；向样品(15)照射来自带电粒子源(2)的带电粒子线(5)的物镜(13)；使向样品(15)照射带电粒子线(5)而放出的二次带电粒子(16)偏转的偏转器(17)；检测由偏转器(17)偏转的二次带电粒子的检测器(18)；对样品(15)或者样品台(14)施加正电压(V3)的样品电压控制部(19)；以及控制偏转器(17)使二次带电粒子(16)偏转的强度的偏转强度控制部(20)。
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公开(公告)号：CN108140525A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201580083098.4
申请日：2015-09-29
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J2237/20207 , H01J2237/20235 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802
摘要： 本发明的目的涉及，在低加速电压下，高分辨率观察明视野STEM、暗视野像STEM以及EELS。本发明涉及具备电子能量损失谱仪(17)的透射扫描型电子显微镜，其中，通过变更试样相对于一次电子束的光轴方向的配置，从而控制STEM检测器(11、13)以及电子能量损失谱仪(17)的捕获角。根据本发明，能够抑制伴随着捕获角的控制的色差的产生，且能够容易地控制最适于明视野STEM、暗视野STEM以及EELS的每一个的散射角度。
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