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公开(公告)号：CN113661556B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN201980094928.1
申请日：2019-04-19
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/141
摘要： 提供具有能修正色像差的绕组像差修正器的带电粒子线装置。多极透镜具有：磁性体芯(150)；多个电流线(101)～(112)；丝状的多个电极(301)～(312)；用于将多个电极固定于真空容器内的结构物的绝缘性的电极固定部(331)～(342)；和设于电极固定部与磁性体芯的中心轴之间且设为基准电位的导电性的屏蔽件(320)、(321)，多个电流线的主线部沿着磁性体芯的内壁相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置，多个电极中的与磁性体芯的中心轴平行的部分相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置。
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公开(公告)号：CN104067369A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201380006106.6
申请日：2013-01-11
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2008 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20242 , H01J2237/2614
摘要： 提供能拍摄观察区域的绕x轴-180°至+180°的旋转系列像以及绕y轴-180°至+180°的旋转系列像的装置。其特征在于，具有：样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；第1旋转控制部，其以所述保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予-180°至+180°的第1旋转；以及第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。
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公开(公告)号：CN113661556A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201980094928.1
申请日：2019-04-19
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/141
摘要： 提供具有能修正色像差的绕组像差修正器的带电粒子线装置。多极透镜具有：磁性体芯(150)；多个电流线(101)～(112)；丝状的多个电极(301)～(312)；用于将多个电极固定于真空容器内的结构物的绝缘性的电极固定部(331)～(342)；和设于电极固定部与磁性体芯的中心轴之间且设为基准电位的导电性的屏蔽件(320)、(321)，多个电流线的主线部沿着磁性体芯的内壁相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置，多个电极中的与磁性体芯的中心轴平行的部分相对于磁性体芯的中心轴而轴对称地配置。
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公开(公告)号：CN104067369B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201380006106.6
申请日：2013-01-11
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2008 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20242 , H01J2237/2614
摘要： 提供能拍摄观察区域的绕x轴‑180°至+180°的旋转系列像以及绕y轴‑180°至+180°的旋转系列像的装置。其特征在于，具有：样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；第1旋转控制部，其以所述保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予‑180°至+180°的第1旋转；以及第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。
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