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公开(公告)号：CN107976557B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201710976930.4
申请日：2017-10-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 一种微机械z加速度传感器(100)，所述微机械z加速度传感器具有：具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内垂直于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接。
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公开(公告)号：CN109073673B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201780028744.6
申请日：2017-05-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森 , D·古格尔 , G-N-C·乌尔里希 , M·林克-莱斯卡纳 , A·皮格勒尼耶
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器(200)，具有：‑衬底(1)；‑在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34)；其中，‑每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上；其中，‑所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。
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公开(公告)号：CN109073673A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780028744.6
申请日：2017-05-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森 , D·古格尔 , G-N-C·乌尔里希 , M·林克-莱斯卡纳 , A·皮格勒尼耶
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器(200)，具有：-衬底(1)；-在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34)；其中，-每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上；其中，-所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105008692B
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201480013300.1
申请日：2014-02-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: F01N13/00
Abstract: 提出一种传感器系统(110)，其用于检测一测量气体室(112)中的测量气体的至少一个特性。传感器系统(110)包括用于检测测量气体的特性的探头(114)。探头(114)具有至少一个传感器元件(116)和至少一个包围传感器元件(116)的壳体(118)。壳体(118)构造为，能够将测量气体施加给壳体(118)中的传感器元件(116)。传感器系统(110)还具有可以与测量气体室(112)的壁(128)连接的接收元件(126)。探头(114)能够沿着插入轴线(130)插入接收元件(126)中并且能够固定在接收元件(126)中。探头(114)能够通过至少一个密封件(140)从测量气体室(112)密封。密封件(140)包括至少一个线状密封件。
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公开(公告)号：CN107976557A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201710976930.4
申请日：2017-10-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01P15/03 , B81B2201/0235 , B81C1/00333 , B81C2203/0145 , G01P15/0802 , G01P2015/0831 , G01P15/08 , B81B3/0027 , B81B7/02 , B81C1/0019 , G01P15/18
Abstract: 一种微机械z加速度传感器(100)，所述微机械z加速度传感器具有：具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内垂直于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接。
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公开(公告)号：CN104049024B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201410084684.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/419
Abstract: 一种用于定向安装到废气系统中的废气传感器。本发明提出一种用于检测在测量气体室（112）中测量气体的至少一个特征的传感器系统（110）。传感器系统（110）包括用于检测所述测量气体的特征的探测器（114）。所述传感器系统（110）还具有与所述测量气体室（112）的壁（130）可连接的容纳部（128）。所述探测器（114）沿插入轴线（132）可引入到所述容纳部（128）中并且可固定在所述容纳部（128）中。所述探测器（114）具有至少一个第一定向件（136）。所述容纳部（128）具有至少一个第二定向件（138）。所述第一定向件（136）和所述第二定向件（138）相互互补地设计，使得所述探测器（114）通过所述第一定向件（136）与所述第二定向件（138）的相互作用可固定在至少一个关于绕所述插入轴线（132）的旋转的预定的角位置中。
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公开(公告)号：CN105008692A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201480013300.1
申请日：2014-02-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: F01N13/00
CPC classification number: F16J15/062 , F01N13/008 , F16L9/18 , F16L41/008 , G01M15/104 , G01N15/06 , G01N27/407 , G01N27/4078
Abstract: 提出一种传感器系统(110)，其用于检测一测量气体室(112)中的测量气体的至少一个特性。传感器系统(110)包括用于检测测量气体的特性的探头(114)。探头(114)具有至少一个传感器元件(116)和至少一个包围传感器元件(116)的壳体(118)。壳体(118)构造为，能够将测量气体施加给壳体(118)中的传感器元件(116)。传感器系统(110)还具有可以与测量气体室(112)的壁(128)连接的接收元件(126)。探头(114)能够沿着插入轴线(130)插入接收元件(126)中并且能够固定在接收元件(126)中。探头(114)能够通过至少一个密封件(140)从测量气体室(112)密封。密封件(140)包括至少一个线状密封件。
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公开(公告)号：CN104049024A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410084684.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/419
CPC classification number: G01N27/4077
Abstract: 一种用于定向安装到废气系统中的废气传感器。本发明提出一种用于检测在测量气体室（112）中测量气体的至少一个特征的传感器系统（110）。传感器系统（110）包括用于检测所述测量气体的特征的探测器（114）。所述传感器系统（110）还具有与所述测量气体室（112）的壁（130）可连接的容纳部（128）。所述探测器（114）沿插入轴线（132）可引入到所述容纳部（128）中并且可固定在所述容纳部（128）中。所述探测器（114）具有至少一个第一定向件（136）。所述容纳部（128）具有至少一个第二定向件（138）。所述第一定向件（136）和所述第二定向件（138）相互互补地设计，使得所述探测器（114）通过所述第一定向件（136）与所述第二定向件（138）的相互作用可固定在至少一个关于绕所述插入轴线（132）的旋转的预定的角位置中。
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