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公开(公告)号：CN118706318A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410219336.0
申请日：2024-02-28
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Inventor： 东条博史
IPC: G01L13/02
Abstract: [课题]抑制组装在隔着玻璃板配置在半导体所构成的基体上的传感器芯片中的差压计的输出的零点偏移。[解决手段]一种差压计，其在接合第一半导体层(103)和玻璃板(102)的第一接合区域(111)的周围设置第一未接合区域(112)，在接合玻璃板(102)和基体(101)的第二接合区域(121)的周围设置第二未接合区域(122)。第一接合区域(111)包围第一压力室(105)的区域而配置，第二接合区域(121)包围第一导压路(109)的区域而配置。
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公开(公告)号：CN112649139B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202011056960.1
申请日：2020-09-30
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Abstract: 本发明提供能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件的传感器芯片(10a)具备：第1压力与第2压力的差压测量用的膜片(42)；第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的膜片(43)；第1压力导入通路(贯通孔(21、31、47)、槽(35、53)以及凹陷部(33、50))，其将第1压力传递至膜片(42)；以及第2压力导入通路(贯通孔(20、30、46)、槽(32、54)以及凹陷部(40、51))，其将第2压力传递至膜片(42、43)。在利用等效电路表示第1、第2压力向膜片(42、43)的传递时，第1压力的传递路径与第2压力的传递路径对称。
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公开(公告)号：CN113175962A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110067631.5
申请日：2021-01-19
Applicant: 阿自倍尔株式会社
IPC: G01F1/34
Abstract: 本发明的差压式流量计降低流量测量误差。差压式流量计具备：配管(1)；配置在配管(1)内的层流元件(2)；测量层流元件(2)上游侧的流体的绝对压力(P1)的绝对压力传感器(3)；测量层流元件(2)下游侧的流体的绝对压力(P2)的绝对压力传感器；测量绝对压力传感器(3、4)的周围温度(T)的温度传感器(5)；基于温度(T)校正绝对压力传感器(3)的输出信号并换算成绝对压力(P1)、并且基于温度(T)校正绝对压力传感器(4)的输出信号并换算成绝对压力(P2)的压力计算部(8)；以及基于由压力计算部(8)计算出的绝对压力(P1、P2)计算流体的流量的流量计算部(11)。承受绝对压力(P1)的绝对压力传感器(3)的膜片、承受绝对压力(P2)的绝对压力传感器(4)的膜片和温度传感器(5)集成在一个传感器芯片上。
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公开(公告)号：CN112649141A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011061571.8
申请日：2020-09-30
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Abstract: 本发明提供能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件(1)具备：第1压力与第2压力的差压测量用的膜片(42)；第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的膜片(43)；将第1压力传递至膜片(42)的第1压力导入通路(贯通孔(21、31、47、52)、槽(53)以及凹陷部(50))；将第2压力传递至膜片(42、43)的第2压力导入通路(贯通孔(20、30、46)、槽(32、54)以及凹陷部(40、51))；以及液量调整室(凹陷部(60))，其使封入于第1压力导入通路的压力传递介质的量与封入于第2压力导入通路的压力传递介质的量相同。
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公开(公告)号：CN110779654A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910664731.9
申请日：2019-07-23
Applicant: 阿自倍尔株式会社
IPC: G01L13/06
Abstract: 本发明的压力传感器芯片抑制传感器隔膜在传感器隔膜于阻挡构件触底之后异常变形。在阻挡构件的曲面状的凹部设置槽图案区域(#1)和无槽图案区域(#2)。无槽图案区域(#2)分成环状的第1区域(#21)和环状的第2区域(#22)，在传感器隔膜对阻挡构件的曲面状的凹部触底时，所述环状的第1区域(#21)与传感器隔膜密接，且所述环状的第2区域(#22)位于环状的壁的内壁面(1-5a)与环状的第1区域(#21)之间。由此，以第1区域(#21)作为密封区域，以第2区域(#22)作为封闭区域，环状的壁的内壁面(1-5a)侧的空间内残留的压力传递介质被封闭到封闭区域(#22)内，从而抑制传感器隔膜异常变形。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106969870A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201611053228.2
申请日：2016-11-25
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Abstract: 本发明公开了一种压力传感器，其将压力传导媒介(封入液)的使用量极小化，并且做成无密封结构，谋求小型化以及低成本化。以导入被测流体的压力的一侧的面(第1保持构件的下表面)作为接合面将传感器芯片接合于传感器室的底面(基座体的内壁面)，使受压隔膜和传感器芯片的接合面之间的封入室(受压室+导压路)与第1保持构件的导压孔连通。传感器室向大气开放。由此，来自传感器隔膜的引线的导出部(引线键合面)位于封入室的外侧，成为电极引脚与封入室中的封入液分离的结构。
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公开(公告)号：CN114295276B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202111170025.2
申请日：2021-10-08
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Abstract: 本发明涉及一种压力测定装置，其能够抑制处理的信号的增加，进行压力测定装置的故障诊断。本发明由在受压区域(102)中，设置有第1电阻元件(103a)、第2电阻元件(103b)、第3电阻元件(103c)、第4电阻元件(103d)，由它们来构成第1桥式电路，第1连接焊盘(105a)连接该第1桥式电路与电源(106)且与通过受压区域(102)的测温元件(104)的另一端的配线(107)连接而形成。
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公开(公告)号：CN114295276A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111170025.2
申请日：2021-10-08
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Abstract: 本发明涉及一种压力测定装置，其能够抑制处理的信号的增加，进行压力测定装置的故障诊断。本发明由在受压区域(102)中，设置有第1电阻元件(103a)、第2电阻元件(103b)、第3电阻元件(103c)、第4电阻元件(103d)，由它们来构成第1桥式电路，第1连接焊盘(105a)连接该第1桥式电路与电源(106)且与通过受压区域(102)的测温元件(104)的另一端的配线(107)连接而形成。
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公开(公告)号：CN112649142A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011055138.3
申请日：2020-09-30
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Inventor： 东条博史
IPC: G01L9/04
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，在同时测量多个压力的压力传感器中抑制由温度、静压引起的零点漂移。压力传感器(1)在传感器芯片(10)的内部形成有两个膜片(32、33)、以分别与膜片(32、33)的上表面相接的方式配置的成为第1压力导入室的凹陷部(40、41)、以及以分别与膜片(32、33)的下表面相接的方式配置的成为第2压力导入室的凹陷部(30、31)。进而，以在被施加至膜片(32(33))的上表面和下表面的压力之差为零时，使由设置于膜片(32(33))的应变片(34‑1～34‑4(35‑1～35‑4))构成的惠斯通电桥电路的输出电压成为零的方式，将空洞(220(230))设置于传感器芯片(10)。
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公开(公告)号：CN118730381A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410219334.1
申请日：2024-02-28
Applicant: 阿自倍尔株式会社
Inventor： 东条博史
IPC: G01L13/02
Abstract: [课题]抑制组装在俯视呈长方形的传感器芯片中的差压计的输出的漂移。[解决手段]一种差压计，其在第一区域(141)中设置未接合区域(112)，在玻璃板(102)的第一接合区域(111)和第二区域(142)之间的第一区域(141)中设置槽，将第一接合区域(111)形成为在第一区域(141)中的第一半导体层(103)和玻璃板(102)之间，包围第一压力室(105)，并设为在俯视时在第一压力室(105)的周向上一致的宽度。
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