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公开(公告)号：CN106797101A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580043627.8
申请日：2015-07-27
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： 安德雷·亚历山德罗维奇·尼基佩洛夫 , T·J·克嫩 , J·J·M·范海尔福尔特 , W·J·恩格伦 , G·J·H·布鲁斯阿德 , G·G·波尔特 , E·R·鲁普斯特拉
CPC分类号： H01S3/0903 , H01S3/0071 , H01S3/0959 , H01S3/1024 , H01S3/11 , H01S3/1103
摘要： 协调了在电子聚束的加速阶段电子聚束穿过线性加速器(LINAC)与在电子聚束的减速阶段电子聚束穿过所述LINAC。根据重复电子聚束序列而将每个连续电子聚束对在时间上间隔开相应的聚束间隔。电子源在所述电子聚束序列中提供清除间隙以允许在波荡器处的离子的清除。所述电子源根据清除间隙序列而提供所述清除间隙，使得对于多个能量恢复LINAC中的每个和对于实质上所有所述清除间隙：对于在加速阶段或减速阶段中的所述清除间隙的每次穿过所述LINAC，协调了所述清除间隙与在减速阶段或加速阶段中穿过所述LINAC的所述清除间隙中的另外一个清除间隙，由此维持所述LINAC的能量恢复操作。
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公开(公告)号：CN106797101B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201580043627.8
申请日：2015-07-27
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： 安德雷·亚历山德罗维奇·尼基佩洛夫 , T·J·克嫩 , J·J·M·范海尔福尔特 , W·J·恩格伦 , G·J·H·布鲁斯阿德 , G·G·波尔特 , E·R·鲁普斯特拉
CPC分类号： H01S3/0903 , H01S3/0071 , H01S3/0959 , H01S3/1024 , H01S3/11 , H01S3/1103
摘要： 协调了在电子聚束的加速阶段电子聚束穿过线性加速器(LINAC)与在电子聚束的减速阶段电子聚束穿过所述LINAC。根据重复电子聚束序列而将每个连续电子聚束对在时间上间隔开相应的聚束间隔。电子源在所述电子聚束序列中提供清除间隙以允许在波荡器处的离子的清除。所述电子源根据清除间隙序列而提供所述清除间隙，使得对于多个能量恢复LINAC中的每个和对于实质上所有所述清除间隙：对于在加速阶段或减速阶段中的所述清除间隙的每次穿过所述LINAC，协调了所述清除间隙与在减速阶段或加速阶段中穿过所述LINAC的所述清除间隙中的另外一个清除间隙，由此维持所述LINAC的能量恢复操作。
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