公开(公告)号：CN117736128A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311209276.6

申请日：2023-09-19

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 福岛将大 ,  畠山润 ,  大桥正树

IPC: C07C381/12 ,  G03F7/004 ,  C08F212/14 ,  C08F220/22 ,  C08F220/18 ,  C08F220/20 ,  G03F1/56 ,  G03F7/20 ,  C07C309/12 ,  C07C303/32 ,  C07C25/18 ,  C07C17/00 ,  C07D333/76 ,  C07D307/93

Abstract: 本发明涉及鎓盐型单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供在使用高能射线的光学光刻中，溶剂溶解性优良且为高感度、高对比度、EL、LWR等光刻性能优良同时即使在微细图案形成时图案崩塌耐性仍强且蚀刻耐性亦优良的化学增幅抗蚀剂组成物所使用的鎓盐型单体，以及提供含有来自该鎓盐型单体的重复单元的聚合物、含有该聚合物的化学增幅抗蚀剂组成物、及使用该化学增幅抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段是一种鎓盐型单体，以下式(a1)或(a2)表示。#imgabs0#

公开(公告)号：CN110908242B

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN201910880788.2

申请日：2019-09-18

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  大桥正树 ,  藤原敬之

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明为抗蚀剂组合物和图案化方法。包含基础聚合物和含有具有碘化的苯环的锍盐的猝灭剂的抗蚀剂组合物提供高感光度、最小的LWR和改进的CDU，而不管其为正色调的还是负色调的。

公开(公告)号：CN117430744A

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202310868989.7

申请日：2023-07-17

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  渡边修 ,  池田让

IPC: C08F220/18 ,  A61B5/268 ,  A61B5/259 ,  A61B5/28 ,  A61B5/256 ,  C08F220/38 ,  C08F216/14 ,  C08F220/28 ,  C08F212/14 ,  C08F220/36 ,  C08F220/58

Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、及其制造方法。本发明的课题为提供可形成导电性及生物体适合性优异、轻量、且能以低成本制造，不论被水濡湿或干燥而导电性也不会大幅降低，柔软且伸缩性及粘着性优异的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物；以该生物体电极组成物形成有生物体接触层的生物体电极；以及其制造方法。本发明的解决手段，是一种生物体电极组成物，含有离子性的高分子材料作为(A)成分，其特征在于：该(A)成分含有具有重复单元a及重复单元b的聚合物，该重复单元a具有选自氟磺酸、氟磺酰亚胺、及N‑羰基氟磺酰胺中的任一者的铵盐、钠盐、钾盐、及银盐中的结构，该重复单元b具有硝基。

公开(公告)号：CN110908243B

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN201910880802.9

申请日：2019-09-18

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  大桥正树 ,  藤原敬之

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明为抗蚀剂组合物和图案化方法。包含基础聚合物和含有具有碘化的苯环的锍盐的产酸剂的抗蚀剂组合物不管其为正型还是负型，都提供高感光度、最小的LWR和改进的CDU。

公开(公告)号：CN116560186A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202310052290.3

申请日：2023-02-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  福岛将大

IPC: G03F7/004

Abstract: 本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料、以及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有：包含具有由键结于聚合物主链的磺酸阴离子与下式(1)表示的锍阳离子构成的盐结构的重复单元a的基础聚合物。

公开(公告)号：CN116360217A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202211633529.8

申请日：2022-12-19

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 增永惠一 ,  畠山润 ,  渡边聪 ,  船津显之 ,  小竹正晃 ,  福岛将大

IPC: G03F7/039 ,  G03F1/56 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明提供一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，其能形成具有极高分辨率，LER小而矩形性优异且能形成显影负载的影响受抑制的图案的抗蚀剂膜。一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，包含基础聚合物，该基础聚合物含有：包括含苯酚性羟基的单元、苯酚性羟基受酸不稳定基团保护的单元及羧基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物、或包括含苯酚性羟基的单元及苯酚性羟基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物及包括含苯酚性羟基的单元及羧基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物，该基础聚合物中含有的聚合物的全部重复单元中，具有芳香环骨架的重复单元为65摩尔％以上。

公开(公告)号：CN116136647A

公开(公告)日：2023-05-19

申请号：CN202211439146.7

申请日：2022-11-17

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润 ,  大山皓介 ,  菊地骏

IPC: G03F7/039

Abstract: 本发明涉及正型抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题是提供酸的扩散受到控制，具有优于已知的正型抗蚀剂材料的分辨率，边缘粗糙度、尺寸偏差小，且曝光后的图案形状良好的正型抗蚀剂材料及图案形成方法。该课题的解决手段为一种正型抗蚀剂材料，含有末端被含连接于硫醚基的羧酸阴离子的锍盐封端而成的基础聚合物。

公开(公告)号：CN111385968B

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN201911348345.5

申请日：2019-12-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 畠山润

IPC: H05K1/09 ,  C08J7/06 ,  C08J5/18

Abstract: 本发明的课题是为了提供伸展时导电性的降低少，且膜表面的拨水性优良的伸缩性配线膜及其形成方法。一种伸缩性配线膜，含有：(A)伸缩性膜，至少表面由含有有机硅聚氨酯树脂的伸缩性膜材料的固化物构成，且该伸缩性膜的表面形成有深度为0.1μm～5mm、节距为0.1μm～10mm的范围的凹凸的重复图案，及(B)伸缩性配线；其特征为：在该伸缩性膜的形成有该凹凸的重复图案的表面上形成有该伸缩性配线。

公开(公告)号：CN109307985B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN201810834820.9

申请日：2018-07-26

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 大桥正树 ,  畠山润 ,  阿达铁平

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明为锍盐、聚合物、抗蚀剂组合物和图案化方法。涂布包含衍生自具有聚合性基团的特定结构的锍盐的重复单元的聚合物，以形成因为改进的LWR、CDU和分辨率而适于精确图案化的抗蚀剂膜。

公开(公告)号：CN114736578A

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202210006689.3

申请日：2022-01-05

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 池田让 ,  岩渊元亮 ,  畠山润

IPC: C09D133/14 ,  C09D125/18 ,  C09D183/12 ,  C09D7/61 ,  A61B5/263 ,  A61B5/265 ,  A61B5/266 ,  A61B5/268 ,  A61B5/28

Abstract: 本发明涉及生物体电极组成物、生物体电极、及生物体电极的制造方法。本发明的课题是提供能形成贴附于皮肤后可快速地取得信号，不会造成残留于皮肤的生物体电极用的生物体接触层的生物体电极组成物、以该生物体电极组成物形成生物体接触层的生物体电极、及其制造方法。一种生物体电极组成物，其特征为分别含有：高分子化合物(A)，含有具有选自氟磺酸、氟磺酰亚胺、及N‑羰基氟磺酰胺中的任一者的铵盐、钠盐、钾盐、及银盐的结构的重复单元a；及填料粒子(B)，选自二氧化硅粒子、氧化铝粒子、氧化钛粒子、氧化锆粒子中的1种以上。