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公开(公告)号：CN103062300A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210574757.2
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
摘要： 滚动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关与控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维近似零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062296A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210574678.1
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/04
摘要： 二维柔性铰链角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁浮推力轴承进行承载，活塞筒与套筒之间分别气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062286A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210571716.8
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , G03F7/20
摘要： 柔性膜角度解耦的零刚度隔振器及由其构成的隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103048892A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574194.7
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台属于大规模集成电路制造装备，该装置隔振平台台体由四个均匀分布于下方的隔振器支撑，在隔振平台台体与地面之间配置有X向位移传感器、Z向位移传感器和Y向位移传感器以及X向执行器、Z向执行器和Y向执行器，构成六自由度位置闭环运动伺服系统；本发明中高度、水平姿态六维位置量可同时测量，并经解耦解算反馈给控制系统，可有效消除隔振平台由于六自由度之间相互耦合引入的位置误差源，大大提高气浮隔振平台的水平姿态精度和隔振性能。
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公开(公告)号：CN103047357A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210575237.3
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
摘要： 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，套筒与气浮板之间通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047354A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210575210.4
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16F15/03
摘要： 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过气浮面润滑与支撑、通过电磁阻尼器衰减振动能量，气浮板与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动与角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047350A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574800.5
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16F15/03
摘要： 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过磁浮推力轴承进行承载，气浮板与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动与角运动自由度充分解耦等特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047342A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574600.X
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16C32/06 , H02N15/00
摘要： 共面气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动与角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047341A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574587.8
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16C32/06
CPC分类号： F16F15/03 , F16F15/002 , F16F15/0275 , G01B7/004 , G01D5/20 , H02K41/0354
摘要： 气浮球轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047340A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574531.2
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16F15/03
摘要： 滑动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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