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公开(公告)号：CN116643469A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310794992.9
申请日：2020-03-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种曝光装置以及制造方法。为了实现装置的小型化，即占用区域的窄小化，曝光装置包括：光学系统，照射基板；载台装置，一边保持基板一边移动；保持部，保持基板；腔室，收容光学系统、载台装置及保持部；以及控制装置，使载台装置移动。载台装置包括保持装置。保持部在基板位于腔室的开口内时位于能够保持基板的位置。控制装置在载台装置位于保持部下方的状态下，使保持装置保持通过保持部而被保持的基板中不与曝光区域重叠的部分，使保持装置能够从保持部接收基板，在基板的所述部分被保持装置保持的状态下，移动载台装置使载台装置自保持部远离，且一边使保持基板的载台装置相对于光学系统移动，一边使光学系统照射基板。
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公开(公告)号：CN113826048B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202080036828.6
申请日：2020-03-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种曝光装置、平板显示器制造方法以及元件制造方法。为了实现装置的小型化(占用区域(footprint)的窄小化)，曝光装置(100)包括：曝光装置本体(10)；腔室(200)，收容所述曝光装置本体；基板保持部(160)，接纳并保持由所述腔室(200)外的外部搬送机器人(300)搬送而来的基板(P)，且设在所述腔室内；以及基板交接装置(140)，进行所述基板(P)从所述外部搬送机器人(300)向所述基板保持部(160)的交接、所述基板(P)从所述基板保持部(160)向所述曝光装置本体(10)所具有的保持装置(28)上的交接、所述基板(P)从所述保持装置(28)上向所述外部搬送机器人(300)的交接。
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公开(公告)号：CN112162465B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202010960580.4
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法。透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。
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公开(公告)号：CN113433802B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202110729623.2
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , G03F7/22 , G01B11/00 , G01B11/27 , G01D5/38 , G03F9/00 , H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明的移动基板(P)的移动体装置，具备：保持基板(P)可往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、通过设在基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设在Y粗动载台(24)的标尺(72)取得基板保持具(32)的位置信息的第1测量系统、通过设在Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)取得Y粗动载台(24)的位置信息的第2测量系统、根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。
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公开(公告)号：CN112965345B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202110361410.9
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109791369B
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN201780060669.1
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 一种物体保持装置，其中，保持基板(P)的基板保持具部(70)具有：多个夹具部(74)，分别具备保持基板(P)的保持面、以及设于保持面的背面侧的吸附部分与非吸附部分；底座部(72)，吸附夹具部(74)的吸附部分；定盘部(50)；以及管路部(62)，设于定盘部(50)与底座部(72)之间，具有经由夹具部(74)的非吸附部分使气体通过的管路，夹具部(74)，在使用通过非吸附部分的气体保持基板(P)，且解除吸附部分对底座部(72)的吸附后，从所述底座构件卸除第1构件。
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公开(公告)号：CN108139680B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN201680057222.4
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 曝光装置的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，将基板(P)的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；基板载具(40)，在X轴方向不与非接触保持具(32)重叠的位置保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；Y线性致动器(62)及Y音圈马达(64)，使基板载具(40)在Y轴方向相对非接触保持具(32)相对移动；X音圈马达(66)，使基板载具(40)在X轴方向移动；以及致动器，使非接触保持具(32)在X轴方向移动。
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公开(公告)号：CN110114725B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201780060911.5
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 一种搬运装置，其相对于非接触地支撑基板(P)的非接触固定器(32)而搬运基板(P)，所述搬运装置包括：保持垫(1084b)，在位于非接触固定器(32)的上方的第1位置保持基板(P)的一部分；驱动部，使保持基板(P)的保持垫(1084b)以基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的方式朝下方移动；以及吸附垫(44)，保持由保持垫(1084b)保持的基板(P)借由所述驱动部而移动，非接触地支撑于非接触固定器(32)后的基板(P)；所述驱动部使保持垫(1084b)自第1位置移动至可将基板(P)交付至吸附垫(44)的第2位置。
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公开(公告)号：CN110058493B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201910052762.9
申请日：2015-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明提供一种放电灯及其更换方法、点亮方法及制造方法，放电灯，具有：将包括沿规定方向相对设置的第1电极及第2电极的发光部覆盖的玻璃部件；和相对于发光部而分别设在玻璃部件的第1电极侧及第2电极侧的第1灯座部件及第2灯座部件，且该放电灯安装在曝光装置内的支承部件上，在该放电灯中，第1灯座部件具有：被连结部，其供将来自曝光装置的电力向发光部传递的部件连结；和被保持部，其能够由搬送部保持。
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公开(公告)号：CN109819673B
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN201780059376.1
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息通过设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息通过设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统则一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。
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