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公开(公告)号：CN103119407A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201180033060.8
申请日：2011-06-07
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/4531 , G01J3/4532
Abstract: 所要保护的发明涉及一种干涉光谱分析设备并且能被用于不同技术领域中的光谱分析。本发明解决了增强光谱仪的光学特性的问题，其中通过采用最小数目的以低成本制造的光学元件减少了由于像差导致的来自物体的辐射光的损耗。这一问题得以解决是由于静态傅里叶光谱仪包括输入准直器，其光学连接到干涉测量单元，干涉测量元件包括光学分束器和至少两个反射镜，它们被布置为使得能够产生位于反射镜以及图像记录装置的平面中的干涉图案，图像记录装置借助于投影系统光学连接到干涉测量单元，使得所述干涉图案的图像能够被投影到图像记录装置上，其中投影系统包括球面镜和相对于反射镜的光学表面的法线位于中心的透镜类型的物镜，并且反射镜和透镜类型的物镜被设计成使光辐射能够从干涉测量单元穿过透镜类型的物镜到达球面镜，所述光辐射被所述球面镜反射并且穿过同一个透镜类型的物镜到达记录装置。
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公开(公告)号：CN100588896C
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200480017992.3
申请日：2004-06-14
Applicant: 西默股份有限公司
Inventor： R·J·拉法克
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J1/4257 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45 , G01J9/00 , H01S3/1305 , H01S3/225
Abstract: 揭示了一种测量激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计量方法与装置，包括：提供第一和第二输出的光学带宽监视器，第一输出代表指示激光器发射光带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数；和利用把第一和第二输出用作多变量方程组成部分以计算实际带宽参数的实际带宽计算装置，所述方程用光学带宽监视器专用的预定校正变量。该实际带宽参数包括激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)或谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。带宽监视器包括一标准具，第一输出代表该标准具在FWXM的光学输出的至少一个干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX’)，第二输出代表第二FWX″M或EX″′中的至少一个，其中X≠X″，X’≠X″′。预算的校正变量用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出，与校正谱第一和第二输出的出现相关。实际带宽参数值从以下式算出：估算的实际带宽参数＝K×W1+L×W2+M，其中W1＝代表FWXM或EX’的第一测量输出，W2是代表FWX″M或EX″′的第二测量输出。该装置与方法可在激光面印术光源和/或集成电路石印机中实施。
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公开(公告)号：CN100432619C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200480018076.1
申请日：2004-06-14
Applicant: 西默股份有限公司
Inventor： R·J·拉法克
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J1/4257 , G01J3/027 , G01J3/28 , G01J3/45 , G01J9/00 , H01S3/1305 , H01S3/225
Abstract: 本发明公开了一种控制激光器系统的设备和方法，它可以包括用来测量由激光器发射的激光的光谱未知宽度的光谱仪，该光谱仪可包含光学带宽测量单元，用于提供作为输出的测量参数，其表示被测光谱未知带宽的参数；报道参数计算单元，按照下面的公式来计算被测光谱未知带宽的报道参数：报道参数(“RP”)=A*(测量参数(“MP”))+C，其中RP和MP是不同类型的参数，而A和C的数值则是根据光学带宽测量单元中MP对已知RP数值的光的响应的校准来确定的。光学带宽测量单元可以包含诸如标准具的干涉测量的或者色散的光学仪器。RP可以是在，譬如说FWXM处，而MP可以在FWX’M处，其中X≠X’。RP可以是在，譬如说EX%处，而MP可以是例如在FWXM处。
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公开(公告)号：CN101133316A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680006938.8
申请日：2006-03-03
Applicant: MKS仪器股份有限公司
Inventor： S·博什-卡普内亚 , B·J·玛什科-古茨 , L·I·卡姆雷特 , J·E·内拉 , D·F·玛瑞安
CPC classification number: G01J3/45
Abstract: 揭示了将改进的变迹函数用于信号光谱测定法的方法和装置。这种方法和装置涉及：(i)获取样品和参考时域波形；(ii)将样品和参考变迹波形应用于上述样品和参考时域波形，使得大致相同的权重被加到上述样品和参考时域波形的相应的大致共同延伸的区域；(iii)将上述样品和参考变迹波形从时域变化到频域；以及(iv)从变换后的样品和参考频谱的比例中产生出用于信号分析的参考谱分析波形，该谱分析波形基本上不包括与变迹后的样品和参考时域波形中相应的大致共同延伸的区域相关联的频率。
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公开(公告)号：CN1210975A
公开(公告)日：1999-03-17
申请号：CN98115544.8
申请日：1996-03-28
Applicant: 迪维安公司
Inventor： 伊凡·普里克里尔 , 霍利斯·奥尼尔·霍尔II
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01J3/45 , G01J3/4535 , G01J9/02
Abstract: 通过比较测试光束和参考光束来确定在源光束中的象差的可调光学系统,包括:测试光源;波阵面分析器;和干涉仪,其包括:将源光束分成测试光束和参考光束的分束器;成像装置;反射镜,将测试光束反射到成像装置上;微反射镜,将参考光束的中央部分反射到成像装置上并让参考学束的外围部分由此通过;用来收集和探测参考光束的所述外围部分的对光图像装置;和将参考光束会聚在微反射镜之上的聚焦装置,微反射镜的横向尺寸不超过由聚焦装置聚焦其上的参考光束的中心波瓣的大致横向尺寸。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108955888A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810985909.5
申请日：2018-08-28
Applicant: 金陵科技学院
IPC: G01J3/45
CPC classification number: G01J3/45
Abstract: 本发明公开了一种全光纤干涉仪自由光谱范围测量系统及方法，利用矢量网络分析仪测量信号发生器输入的微波信号和光电探测器输出微波信号的S21参数特性，将全光纤Mach‑Zehnder干涉仪的自由光谱范围的转换为微波信号的S21参数的等间隔梳状频谱，通过矢量网络分析仪S21参数观察计算全光纤Mach‑Zehnder干涉仪的自由光谱范围。本发明简化了全光纤Mach‑Zehnder干涉仪的自由光谱范围测量系统的复杂性，减小了系统的成本，而且操作步骤简单。
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公开(公告)号：CN106662824B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201580037024.7
申请日：2015-06-19
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： A·辛格 , H·P·M·佩莱曼斯 , P·沃纳尔
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70491 , G01J3/2823 , G01J3/45 , G01N21/4788 , G01N2201/06113 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 检查装置(100)用于测量衬底上的目标。相干辐射跟随用于照射目标(T)的照射路径(实线)。收集路径(虚线)收集来自目标的衍射辐射并且将其传递至锁定图像检测器(112)。参考束跟随参考路径(点线)。声光调制器(108)偏移参考束的光学频率，使得锁定检测器处的辐射的强度包括时变分量，其具有与衍射辐射与参考辐射的频率之间的差相对应的特征频率。锁定图像检测器记录表示时变分量的幅度和相位的二维图像信息。具有不同偏移(110)的第二参考束跟随第二参考路径(点划线)。两个参考束之间的敢骚扰可用于强度标准化。
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公开(公告)号：CN107748009A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201711012750.0
申请日：2017-10-26
Applicant: 邱卓然
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/2803 , G01J3/45 , G01J2003/451
Abstract: 本发明公开了一种基于矩形光栅色散剪切的干涉成像光谱装置及其探测方法，包括沿光路依次放置的前端光学系统、滤光片、双矩形光栅剪切器、后端成像物镜、面阵探测器和信号处理系统。探测目标各点的光束进入前端光学系统，形成准直光束；准直光束经过滤光片，探测波段内光束随后进入双矩形光栅剪切器，准直光束被横向色散剪切；随后剪切光束经过后端成像物镜成像在面阵探测器的靶面上，获取携带有干涉条纹的目标场景的二维图像；通过旋转双矩形光栅剪切器或者整个系统获取目标场景中各点的干涉条纹，信号处理系统通过傅里叶变换等数学运算处理得到特定谱段内高分辨率的光谱信号。本发明结构简单、紧凑、体积小。
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公开(公告)号：CN105164513B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201380076163.1
申请日：2013-06-04
Applicant: 福斯分析股份公司
Inventor： 佩尔·瓦本·汉森
CPC classification number: G01N21/35 , G01J3/0291 , G01J3/42 , G01J3/45 , G01N21/274 , G01N2021/3595 , G01N2201/061 , G01N2201/12746
Abstract: 本发明涉及一种确定一个样品(610)的一个路径长度偏差的方法，该方法包括：将该样品(610)暴露到多个波数下的电磁辐射，确定在该多个波数下该样品(610)中的电磁吸收，确定与一个吸收谱带的一个第一吸收水平相关联的一个第一波数及与该吸收谱带的一个第二吸收水平相关联的一个第二波数，其中该第二波数不同于该第一波数，确定该第一波数与该第二波数之间的一个差，以及基于该差确定该路径长度偏差。
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公开(公告)号：CN107367329A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710482098.2
申请日：2017-06-22
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/447 , G01J3/45
Abstract: 本发明公开了一种图像、光谱、偏振态一体化获取装置及探测方法，沿入射光传播方向，以主光轴方向依次设前置望远系统，消色差波片阵列、起偏器、Savart偏光镜、检偏器、成像镜阵列和面阵列CCD，通过消色差 波片阵列对光谱及偏振信息进行四种调制，再通过起偏器、Savart偏光镜和检偏器组成偏振干涉仪得到调制后四个强度光谱干涉图像，通过傅里叶变换精确复原出目标图像、光谱和偏振态信息。克服了通道光谱技术测量Stokes矢量谱中复原光谱分辨率严重降低和复原光谱存在误差畸变的缺点。且偏振光谱信息复原结果对仪器存在高斯噪声及泊松噪声具有免疫作用，提高了获取干涉图数据的信噪比，解决了常规测量方法谱元分时探测信噪比低，时效性差的问题。
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