成象设备与制造成象设备的方法

    公开(公告)号:CN1068453C

    公开(公告)日:2001-07-11

    申请号:CN93121499.8

    申请日:1993-12-29

    CPC classification number: H01J1/316 H01J31/127 H01J2201/3165

    Abstract: 一种成象设备,它包括基片、装于基片上的电子发射装置以及成象部件;电子发射装置有极间电子发射区且在极间加电压时可发射电子,成象部件在有电子束辐射时形成图象;成象部件上电子束在极间施压方向上的直径内方程式(Ⅰ)给定:S1=K1·2d(Vf/Va)12(Ⅰ),其中K1为常数,0.8≤K1≤1.0,d为基片与成象部件间距离,Vf为极间电压,Va为成象部件电压。设计成象设备的成象部件面板上电子束在极间加压方向上的直径S1的一种方法,该直径S1设计为满足以上方程式(Ⅰ)。

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