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公开(公告)号：CN117173459A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311095794.X
申请日：2023-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/096
Abstract: 一种基于迁移学习的互连铟柱缺陷多分类方法，它涉及一种互连铟柱缺陷多分类方法。本发明为了解决焦平面连接像元的结构缺陷和高度异常缺陷检测的问题。本发明的步骤包括步骤1、生成缺陷数据；步骤2、建立迁移学习模型；步骤3、数据降维；步骤4、缺陷分类。本发明属于图像处理技术领域。
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公开(公告)号：CN117173114A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311085842.7
申请日：2023-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于图像重建的互连铟柱缺陷检测方法，它涉及一种互连铟柱缺陷检测方法。本发明为了解决焦平面连接像元的结构缺陷和高度异常缺陷检测的问题。本发明使用自监督学习的方法将含有缺陷的图像重建为正常图像，再利用多尺度图像一致性方法定位缺陷位置，结合自适应阈值分割的方法，实现缺陷检测、定位和分割。本发明属于图像处理技术领域。
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公开(公告)号：CN117173066A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311085756.6
申请日：2023-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T5/50
Abstract: 一种基于多尺度曝光融合的图像增强算法，它涉及一种图像增强算法。本发明为了解决传统的单图像增强技术处理微光图像容易引入欠增强或过增强，过增强的图像像素值达到饱和，甚至会放大背景噪声或使图像失真，欠增强的图像边缘、纹理等信息增强不足，导致图像细节信息的丢失的问题。本发明首先对原始图像进行滤波，得到基本层和细节层，然后对基本层和细节层进行处理和权重融合，得到亮度提高、细节增强的图像。本发明属于图像处理技术领域。
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公开(公告)号：CN113984771B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202111121288.4
申请日：2021-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括径向偏振光产生模块、旋转方向照明模块、明场超分辨共聚焦探测模块、暗场超分辨共聚焦探测模块；通过偏振转换器产生径向偏振光照明，同时利用互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号并进行双路同步收集，可同时获取亚波长级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息。
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公开(公告)号：CN116465867A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310248941.6
申请日：2023-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超结构表面的热波暗场荧光共焦显微测量装置，包括热波泵浦光产生模块、线振探测光产生模块、照明模块和信号检测模块；述热波泵浦光产生模块和所述线振探测光产生模块分别产生热波泵浦光和荧光激发光；所述照明模块用于接收所述热波泵浦光和所述荧光激发光，在待测样品上形成聚焦光斑，并产生热波荧光信号；其中，所述热波荧光信号包括左旋圆偏振光信号和右旋圆偏振光信号；所述信号检测模块分别获取所述左旋圆偏振光信号和右旋圆偏振光信号的信号值，并计算手性信息；本发明，能够采用热波荧光成像检测，对吸收缺陷的检测具有更高的成像灵敏度，可以对吸收性污染缺陷检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116297486A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310253142.8
申请日：2023-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括涡旋照明光产生模块、光束扫描照明模块和螺旋谱提取模块；通过液晶空间光调制器加载叉形光栅相位调制样品反射至探测路的光束，同时利用孔径光阑遮挡环形光探测光斑中心光强，提取对应涡旋阶数的螺旋谱分量强度。可提取亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析反射光螺旋谱可获取样品的相位等信息；能够准确地实现光学元件相位缺陷与振幅缺陷的识别及分类。
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公开(公告)号：CN116123473A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211257815.9
申请日：2023-01-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双凹透镜与半凸透镜组合的自然光匀化照明装置，它涉及一种自然光匀化照明装置。本发明为了解决目前占据市场主流的光导管效率低、采光均匀性差、且在安装过程张可能对原有建筑结构造成破坏，不利于推广和普及的问题。本发明包括理想双凹透镜组合和理想半凸透镜组合；理想双凹透镜组合和理想半凸透镜组合并排设置，且理想双凹透镜组合位于室外，理想半凸透镜组合位于室内。本发明属于照明系统技术领域。
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公开(公告)号：CN115343829A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202211046963.6
申请日：2022-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种平场远心管镜，包括从物侧到像侧沿光轴依次设置的光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，第一透镜和第二透镜相胶合，第三透镜和第四透镜相胶合；第一透镜为具有负光焦度的正弯月透镜；第二透镜为具有负光焦度的负弯月透镜；第三透镜为具有正光焦度的正弯月透镜；第四透镜为具有正光焦度的弯月透镜；第五透镜为具有正光焦度的双凸透镜；第六透镜为具有正光焦度的弯月透镜。该管镜在主光线在像面上的倾斜角度小于0.1°，各种像差得到很好矫正，且结构简单，设计合理，易于制造。
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公开(公告)号：CN114383533A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202210031996.7
申请日：2022-01-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种暗场共焦显微测量宽度定值方法,包括基于暗场共焦显微镜通过调节成像端的探测孔径获取的下表面准焦反射图像PR和下表面准焦散射图像PS。基于深沟槽暗场共焦显微成像模型计算沟槽下表面准焦强度像中沟槽边缘位置的归一化光强值IE，根据实际测量得到的下表面准焦反射图像PR以及光强值IE确定实际边缘位置值，获得反射探测模式下沟槽宽度定值结果；通过实际测量得到的下表面准焦散射图像Ps，通过高斯拟合沟槽边缘响应峰值位置值，获得散射探测模式下沟槽宽度定值结果；将反射探测模式与散射探测模式下的宽度定值结果加权平均作为沟槽宽度的最终测量值。为暗场共焦显微镜提供一种更为准确合理的沟槽宽度定值方法。
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公开(公告)号：CN111123495B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202010058986.3
申请日：2020-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京恒锐精密仪器有限公司 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于环形阵列光源照明的三维全内反射显微成像装置及方法，其中装置包括：环形LED阵列、圆锥透镜、物镜、管镜和图像采集模块；圆锥透镜上放置有样品；环形LED阵列包括M个半径不同的单层环形LED阵列；圆锥透镜的侧表面由M个倾斜角度不同的圆台侧表面组成；每层环形LED阵列中的单个LED灯依次发出照明光束，并进入圆锥透镜，在圆锥透镜与样品交界面产生倏逝场；样品经过倏逝场照明后所产生的散射光依次通过物镜和管镜后被图像采集模块接收。本发明提供的基于环形阵列光源照明的三维全内反射显微成像装置及方法，不需要荧光标记即可实现超分辨成像。
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