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公开(公告)号：CN103477713B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280015935.6
申请日：2012-03-27
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/504 , H01L27/3213 , H01L27/3218 , H01L27/3244 , H01L51/5265 , H01L51/56 , H05B33/145
Abstract: TFT基板(10)具有包含至少三种颜色的发光区域的多个像素区域，该至少三种颜色的发光区域分别具有由蒸镀膜构成的发光层(23R(1)、23G、23R(2)、23B)，相邻的两个发光区域是在由各种颜色的发光区域的发光层产生相同亮度的光时具有最大电流效率的颜色的发光层(23G)的发光区域和具有最小电流效率的颜色的发光层(23B)的发光区域的组合以外的组合。
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公开(公告)号：CN103329622B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201280005723.X
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/145 , C23C14/042 , C23C14/54 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/0002 , H01L51/56 , H01L2251/558 , Y10T428/24612
Abstract: 本发明的被成膜基板（200）中，第一膜（23R）的膜厚渐减部分（23sR）的y轴方向上的基端侧形成为与第一成膜区域（24R）重叠，第二膜（23B）的膜厚渐减部分（23sB）形成为位于第二成膜区域（24B）的y轴方向上的外侧，并且与第一膜（23R）的膜厚渐减部分（23sR）重叠而填补膜厚渐减部分（23sR）的膜厚逐渐减少的量。
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公开(公告)号：CN105609519A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510566081.6
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供被成膜基板、制造方法和有机EL显示装置。被成膜基板包括：第一成膜区域和第二成膜区域沿着规定方向彼此隔开间隔地交替配置的基板；和分别在基板的第一成膜区域和第二成膜区域覆盖形成的第一膜和第二膜，第一膜在规定方向上的两侧部分分别具有膜厚向规定方向上的前端侧逐渐减少的膜厚渐减部分，第二膜在规定方向上的两侧部分分别具有膜厚向规定方向上的前端侧逐渐减少的膜厚渐减部分，该膜厚渐减部分与第一膜的膜厚渐减部分重叠，第二膜的除膜厚渐减部分以外的大致平坦部分的膜厚小于第一膜的除膜厚渐减部分以外的大致平坦部分的膜厚，在第二膜上还包括第一缓冲层，第一膜的大致平坦部分的膜厚，与第一缓冲层和第二膜的膜厚之和相等。
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公开(公告)号：CN103314464B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280005736.7
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3262 , C23C14/044 , C23C14/12 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 被成膜基板（200）是在排列于规定方向上的多个蒸镀区域（24R、24G）中的各个蒸镀区域形成有蒸镀膜（23R、23G）的被成膜基板，蒸镀膜（24R）具有相对于被成膜基板（200）的法线方向倾斜的倾斜侧面（23s），蒸镀膜（23R）的上述规定方向上的宽度大于蒸镀区域（24R）的所述规定方向上的宽度与所述各蒸镀区域（24R、24G）间的区域（29）的所述规定方向上的宽度之和。
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公开(公告)号：CN105378139A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480039163.9
申请日：2014-03-04
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C16/458 , H01L27/3241 , H01L51/50 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供能够高精度地形成薄膜的图案的蒸镀装置和蒸镀方法以及显示品质优异的有机电致发光显示装置的制造方法。本发明是一种使用扫描蒸镀法的蒸镀装置，其中，限制部件包括：第一板部；与第一板部之间隔开间隔地设置的第二板部；和将第一板部与第二板部连接的连接部，在第一板部设置有开口，在第二板部设置有与第一板部的开口相对的开口，在第一板部的开口与第二板部的开口之间存在第一空间，在与基板的法线方向和基板的扫描方向正交的方向上的第一空间的旁边，在第一板部与第二板部之间存在第二空间，第一空间与第二空间连接，在基板的扫描方向上的第二空间的旁边，在限制部件之外存在第三空间，第二空间与第三空间连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105283576A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201480033438.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C16/042 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42)，在X轴方向，相对于每1块第一限制板(32)设置有至少2块第二限制板(42)。
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公开(公告)号：CN103299712B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201280004717.2
申请日：2012-01-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/5036 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L27/3276 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L2227/323
Abstract: 一种TFT基板（10），利用蒸镀装置（50）在TFT基板（10）上形成蒸镀层，蒸镀装置（50）具有：具备射出口（86）的蒸镀源（85）；和具备从射出口（86）射出的蒸镀颗粒通过的开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒通过开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀层，TFT基板（10）具有二维地排列有多个像素的像素区域（AG），与各像素电连接的多条配线（14）的端子汇集到蒸镀层的形成区域外。
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公开(公告)号：CN103430625B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201280012948.8
申请日：2012-03-09
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀装置(1)通过蒸镀处理在被成膜基板(40)上形成规定图案的发光层(47)，蒸镀装置(1)包括：喷嘴(13)，其形成有在进行蒸镀处理时向被成膜基板(40)射出形成发光层(47)的蒸镀颗粒(17)的多个射出口(16)；和多个限制板(20)，该多个限制板(20)配置于喷嘴(13)与被成膜基板(40)之间，对从多个射出口(16)射出的蒸镀颗粒(17)相对于被成膜基板(40)的入射角进行限制，喷嘴(13)包括：在配置被成膜基板(40)的一侧的面具有开口部(14c)的容器形状的喷嘴主体(14b)；和多个块体(15)，该多个块体(15)覆盖开口部(14c)，相互分离，且分别形成有多个射出口(16)。由此，形成高精细的蒸镀膜图案。
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公开(公告)号：CN103168114B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201180049926.4
申请日：2011-10-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/50 , C23C16/042 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/001 , H01L51/56 , H01L2227/323 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀装置（50）在被成膜基板（200）上的成膜的区域间竖立设置有分隔壁（26），蒸镀装置（50）具备：掩模单元（80），其具备相对位置被固定的遮蔽掩模（81）和蒸镀源（85）；接触单元，其使被成膜基板（200）与遮蔽掩模（81）经由分隔壁（26）接触；和移动单元，其在维持由接触单元进行的接触的状态下使掩模单元（80）和被成膜基板（200）中的至少一个相对移动。
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公开(公告)号：CN103476962B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201280015939.4
申请日：2012-03-23
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02104 , B65D85/70 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/541 , H01L51/001
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置包括：喷嘴部（110），其具有将气态的蒸镀颗粒向外部射出的射出口（111）；加热板单元（100），其内置于上述喷嘴部（110），具有通过使蒸镀颗粒附着而在表面保持蒸镀材料的多个加热板（101）；和加热装置（160），其将保持在上述加热板（101）的表面的蒸镀材料加热至使该蒸镀材料成为气态的温度以上的温度。
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