含有聚酰胺酸的形成防反射膜的组合物

    公开(公告)号:CN1842744A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200480024583.6

    申请日:2004-08-27

    CPC classification number: G03F7/091 Y10S438/952

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种形成防反射膜的组合物,所述防反射膜是在半导体器件制造的光刻工序中使用的、用于形成可通过光致抗蚀剂用碱性显影液进行显影的防反射膜,还提供一种使用该形成防反射膜的组合物的光致抗蚀剂图形的形成方法。本发明通过提供下述组合物解决了上述课题,即,一种形成防反射膜的组合物,其包含:由四羧酸二酐化合物和具有至少一个羧基的双胺化合物制造出的聚酰胺酸、具有至少2个环氧基的化合物、及溶剂。

    固化膜形成用组合物、取向材料以及相位差材料

    公开(公告)号:CN105452404B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201480044283.8

    申请日:2014-08-01

    Abstract: 本发明的课题在于提供,取向材料和用于提供使用该取向材料的相位差材料的固化膜形成用组合物,所述取向材料具备优异的垂直取向性、即使在树脂膜上也能够高灵敏度地使聚合性液晶进行垂直地取向。本发明的解决方法是固化膜形成用组合物、取向材料、相位差材料,所述固化膜形成用组合物的特征在于,含有(A)具有垂直取向性基团和能够热交联的官能团的聚合物以及(B)交联剂;所述取向材料的特征在于,是使用该组合物而获得的;所述相位差材料的特征在于,是使用该组合物而获得的。

    正型感光性树脂组合物
    126.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107003607B

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN201580065289.8

    申请日:2015-12-01

    Abstract: 本发明的课题是提供下述正型感光性树脂组合物:其能够在维持显影时的密合性的状态下以高灵敏度进行图案形成,能够形成图案内残渣少的固化膜。本发明的解决方法是含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)溶剂的正型感光性树脂组合物。(A)成分:使下述(A1)~(A4)共聚而得的碱溶性丙烯酸系共聚物,(A1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,(A2)具有酚性羟基和聚合性不饱和基团的单体,(A3)具有羟基烷基和聚合性不饱和基团的单体,(A4)N取代马来酰亚胺化合物;(B)成分:1,2‑醌重氮化合物,(C)成分:交联剂,(D)溶剂。

    光取向用液晶取向剂、取向材料及相位差材料

    公开(公告)号:CN107615148B

    公开(公告)日:2021-05-25

    申请号:CN201680032189.X

    申请日:2016-05-27

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种光取向用液晶取向剂,其用于提供具有优异的光反应效率、且能够以高灵敏度使聚合性液晶取向的取向材料。解决手段为一种光取向用液晶取向剂、由该光取向用液晶取向剂得到的取向材料、相位差材料,所述光取向用液晶取向剂含有以下成分,(A)成分:具有包含下述式(1)所示结构的侧链的树脂;和(B)成分:下述式(2)所示的化合物。(式中,X1表示可以被任意取代的苯环,R表示选自OH及NH2中的取代基,R1、R2、R3、R4及R5分别独立地表示氢原子、卤素原子、C1~C6烷基、C1~C6卤代烷基等,n表示整数0或1。)

    正型感光性树脂组合物
    129.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105829967B

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201480068631.5

    申请日:2014-10-20

    Abstract: 本发明的课题是提供一种可以形成非常高灵敏度,透明性高,后烘烤时在宽的烘烤温度范围内形状的变化小的固化膜的正型感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的方法涉及含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分和(E)溶剂的正型感光性树脂组合物。(A)碱溶性丙烯酸系聚合物、(B)成分:1,2‑醌重氮化合物、(C)成分:具有异氰脲酸酯骨架和2个以上聚合性不饱和双键的化合物、(D)成分:具有2个以上选自烷氧基甲基和羟基甲基中的取代基的交联性化合物、(E)溶剂。

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