从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法

    公开(公告)号:CN106145037A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201510153117.8

    申请日:2015-04-01

    IPC分类号: C01B3/52 C01B3/56

    摘要: 本发明提供了一种从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法,采用一次水洗、化学吸附深度脱氯、氢气压缩机增压、PSA气体分离系统、催化脱氧、水冷却、终端净化、回流氢气控制前端管道压力、再生气返回前端净化回收及防爆措施的技术路线。将氢气中残余的微量杂质脱除到99.99999%以下得到高纯氢气;该方法可以使所得到的产品氢气纯度达99.9%~99.99999%,回收率可高达95%。残存杂质中的氯气、氧气、硅烷等可分别低至1×10-8,并可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于从硅外延生产过程中的放空废气中分离和回收氢气,具有十分良好的经济效益、环保效益。

    光纤生产过程中通入光纤冷却管中的冷却氦气的回收方法

    公开(公告)号:CN105776161A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201410822479.7

    申请日:2014-12-25

    IPC分类号: C01B23/00

    摘要: 本发明涉及一种光纤生产过程中的冷却氦气的回收净化方法,(1)将氦气回收装置安装在光纤冷却管的两端;(2)将两端的氦气回收装置连接到负压发生装置上;(3)在氦气回收装置与负压发生装置之间设置一台流量控制调节装置,保证冷却氦气、大气和回收氦气之间的压力保持一下关系:分析仪器安装在氦气回收装置和粗氦缓冲罐之间;(4)将回收的氦气集中到粗氦缓冲罐中;(5)将粗氦缓冲罐中的粗氦加压到净化所需要的压力,采用低温吸附或变压吸附加变温吸附加吸气剂净化联合流程净化至高纯氦气标准。本发明的氦气回收装置和工艺流程经过优化设计,优先考虑氦气的回收率,使价格昂贵的氦气得以充分的回收利用。

    一种基于气体数据识别的催化吸附材料评价系统及方法

    公开(公告)号:CN118150439B

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202410574688.8

    申请日:2024-05-10

    摘要: 本发明公开了一种基于气体数据识别的催化吸附材料评价系统及方法,属于化学或物理分析领域,本发明获取定量反应物在适应反应条件下进行反应作为对照反应组,同时获取等量反应物在适应反应条件和催化吸附材料的共同作用下进行反应,获取反应生成物的量变化曲线,将获取的反应生成物的量变化曲线导入催化效果评价策略中进行催化效果评价值的计算,将获取的反应生成物的量变化曲线导入吸附效果评价策略中进行吸附效果评价值的计算,将计算得到的催化效果评价值和吸附效果评价值导入材料评价值计算策略中进行材料评价值的计算,根据材料评价值的计算结果,进行催化吸附材料优次品的判断,通过材料的催化吸附效果对材料性能进行综合评价。

    一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法

    公开(公告)号:CN113120873A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN201911411877.9

    申请日:2019-12-31

    IPC分类号: C01B23/00

    摘要: 本发明涉及一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法,属于气体生产与应用领域。主要技术方案如下:一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置,包括依次通过管路串连的前置缓冲罐、压缩机、尾气预处理系统和低温再沸液化氩气系统;所述的尾气预处理系统包括催化塔、热交换器、吸附干燥塔;所述的催化塔包括第一催化塔和第二催化塔,所述的第一催化塔连接第一热交换器,所述的第二催化塔连接第二热交换器;本发明可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于用氩气做保护气的工业炉放空废气中回收氩气,具有十分良好的经济效益和环保效益。

    一种多功能吸附剂及其制备方法、应用

    公开(公告)号:CN110280206A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201910717456.2

    申请日:2019-08-05

    摘要: 本发明涉及一种多功能吸附剂及其制备方法、应用,属于化学工业中气体净化技术领域。主要技术方案如下:一种多功能吸附剂,由活性组分、载体和粘结剂制备而成;所述的活性组分为Ni、Cu、Mn或其化合物;所述的载体为氧化铝、氧化硅、氧化钛中的一种或者几种混合;所述的粘结剂为硅藻土、高岭土、高铝水泥、拟薄水铝石、钛酸酯中的一种或几种混合。本发明以多金属化合物为活性组分,利用国内丰富的矿产资源,生产成本低廉;可广泛应用于半导体、光纤、钢铁、化工等众多领域,具有强大的市场竞争能力。

    一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法

    公开(公告)号:CN109437234A

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201811361799.1

    申请日:2018-11-15

    摘要: 本发明涉及一种化合物半导体外延尾气回收利用的方法。利用加压、低温氨分离、变温吸附纯化和低温再沸脱气技术,将尾气中的氨、氢气和氮气充分回收利用,具有回收的氨、氢气、氮气的纯度高和回收率高等优点。本发明可以将传统工艺中使用一次就放空的昂贵液氨、氢气和氮气大量的回收,并通过分离净化方法使其再重新投入生产过程,大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本,提高了器件生产产量,具有回收效率高,回收液氨、氮气和氢气纯度高,纯化深度好,回收成本低的显著特点,同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的,促进本领域发展,具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。

    一种超高纯氢气、氩气、氦气纯化方法

    公开(公告)号:CN107434243A

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201710609233.5

    申请日:2017-07-25

    IPC分类号: C01B3/56 C01B23/00

    摘要: 本发明涉及半导体、LED、光伏太阳能生产等领域,具体的涉及一种超高纯氢气、氩气、氦气纯化方法。主要技术方案如下:包括干燥脱氧工序、吸气工序、再生工序;三个工序通过控制系统实现,所述的控制系统包括中央控制单元、以及分别与中央控制单元的流量计、程控阀门组、交流接触器、压力传感器、加温元件。本发明的对原料气中O2、H2O、CO、CO2、N2、CH4、TCH等杂质深度脱出,解决了气体杂质影响电子行业生产器件,造成电子元件质量下降的问题。且采用两塔纯化流程,其中一个吸附干燥器工作,另一个吸附干燥器则进行再生,这样两个吸附干燥器交替工作和再生,从而可实现对原料气的连续净化。

    一种基于气体数据识别的纯化过程监测系统及方法

    公开(公告)号:CN118518834A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202411001436.2

    申请日:2024-07-25

    IPC分类号: G01N33/00

    摘要: 本发明涉及气体纯化监测技术领域,尤其涉及一种基于气体数据识别的纯化过程监测系统及方法,该方法的步骤包括:将待纯化气体导入纯化流程中,通过传感器实时采集气体含量信息;根据第一氧气含量信息和正常氧气含量范围信息计算氧气供给系数;根据氧气供给系数、第一杂质气体含量信息和理化环境信息计算催化氧化工艺指数;根据第二氧气含量信息和第二杂质气体含量信息计算脱氧吸附工艺指数;根据催化氧化工艺指数和脱氧吸附工艺指数计算气体纯化指数,并根据气体纯化指数对纯化过程进行实时监测。本发明通过气体纯化指数对气体纯化过程进行监测,在提高气体纯化速率的同时提升了纯化过程监测的及时性和准确性。