平板玻璃表面的异物检测装置

    公开(公告)号:CN105572149A

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201510994157.5

    申请日:2010-03-25

    Abstract: 本发明涉及平板玻璃表面的异物检测装置,包括:A面激光束照射装置,从平板玻璃的A面的上部朝向A面,以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束;A面摄像装置,对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄,该激光束是从A面激光束照射装置而照射;B面激光束照射装置,从平板玻璃的A面的上部,以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波长的激光束;B面摄像装置,对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄,该激光束是从B面激光束照射装置而照射;以及检测信号处理部。本发明可对存在于平板玻璃基板上的异物附着于A面与B面中的哪一面进行准确检测。

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