公开(公告)号：CN114502659A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202080070285.X

申请日：2020-10-23

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 桥本启华 ,  增田有希 ,  富川真佐夫

IPC: C08L79/08 ,  C08L61/04 ,  C08K5/42 ,  C08K5/13 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G09F9/30 ,  H05B33/02 ,  H05B33/22 ,  H01L51/52

Abstract: 本发明提供一种树脂组合物，其能够赋予对用于将形成布线时使用的光致抗蚀剂除去的剥离剂的耐性、对恒温恒湿试验(HAST)的耐性，而且，在具有感光性的情况下，加热处理后的固化膜的图案形状优异。一种树脂组合物，其包含(A)选自由聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及它们的共聚物组成的组中的1种以上的树脂、(B)酚醛树脂、(C)热交联剂，该(B)酚醛树脂具有特定的通式(4)表示的结构单元，前述通式(4)表示的结构单元具有特定的通式(5)及特定的通式(6)的结构单元，在将前述(B)酚醛树脂中的通式(4)表示的全部结构单元数设为100的情况下，通式(5)及通式(6)表示的结构单元数的比率为通式(5)：通式(6)＝60：40～90：10。

公开(公告)号：CN108473679B

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN201780006274.3

申请日：2017-01-10

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 荘司优 ,  增田有希 ,  矶部王郎 ,  奥田良治

IPC: C08G73/22 ,  G03F7/023 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供耐化学药品性高、伸长率特性高、与金属铜的密合性高的固化膜。固化膜，其是将含有聚苯并噁唑前体的感光性树脂组合物固化而得到的，所述固化膜的特征在于，聚苯并噁唑前体闭环为聚苯并噁唑的比例为10％以上且60％以下。

公开(公告)号：CN108027557B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201680052638.7

申请日：2016-09-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 荘司优 ,  增田有希 ,  矶部王郎 ,  奥田良治

IPC: G03F7/023 ,  C08G69/02 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/0387 ,  C08G69/02 ,  C08G69/40 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/023 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/16 ,  G03F7/161 ,  G03F7/168 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  G03F7/40 ,  H01L23/293 ,  H01L23/3192 ,  H01L23/562 ,  H01L24/02 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/02331 ,  H01L2224/024 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/03515 ,  H01L2224/0362 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/13024 ,  H01L2224/13026 ,  H01L2224/131 ,  H01L2924/0695 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/014

Abstract: 本发明提供高伸长性、低应力性、金属铜高密合性的固化膜。本发明的固化膜是将感光性树脂组合物固化而得到的固化膜，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有聚羟基酰胺，所述固化膜中的所述聚羟基酰胺的闭环率为10％以下。

公开(公告)号：CN109153841A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201780031559.2

申请日：2017-05-22

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 增田有希 ,  奥田良治

IPC: C08L61/14 ,  C08L79/08 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023

Abstract: 本发明提供即使为低温条件下的加热处理、也能够得到具有耐化学药品性、低应力性、高伸长率性的固化膜的树脂组合物。树脂组合物，其特征在于，含有(a)碱溶性树脂，所述(a)碱溶性树脂包含具有交联性基团的酚骨架和不具有交联性基团的酚骨架，并且重均分子量在1,000～50,000的范围内，其中，在上述具有交联性基团的酚骨架和上述不具有交联性基团的酚骨架的结构单元的合计100摩尔％中，上述具有交联性基团的酚骨架所占的含有比率在5～90摩尔％的范围内。

公开(公告)号：CN108137805A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680060287.4

申请日：2016-09-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 增田有希 ,  荘司优 ,  矶部王郎 ,  奥田良治

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明的课题在于提供能够获得高伸长率、低应力、高金属密合的固化膜的树脂及感光性树脂组合物。本发明涉及的树脂的特征在于，所述树脂是具有聚酰胺结构、并且具有酰亚胺前体结构及酰亚胺结构中的至少任一种结构的(A)树脂，所述(A)树脂的结构中的至少任一结构包含具有脂肪族基团的二胺残基。

公开(公告)号：CN107407877A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680017018.X

申请日：2016-03-18

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 荘司优 ,  增田有希 ,  小山祐太朗 ,  奥田良治

IPC: G03F7/023 ,  C08G69/26 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供高敏感度的感光性树脂组合物，其能够得到具有低应力性、高伸长率性、且与金属材料的密合性(特别是与铜的密合性)优异的固化膜。感光性树脂组合物的特征在于，包含具有来源于脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂。

公开(公告)号：CN107001629A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063918.3

申请日：2015-11-19

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 增田有希 ,  木内洋平 ,  奥田良治

IPC: C08G73/10 ,  C08G69/42 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供可制造具有高敏感度及高耐热性的感光性树脂组合物的树脂。本发明涉及以通式(1)或(2)表示的结构为主成分的树脂，其中，R2包含通式(3)表示的有机基团及通式(4)表示的有机基团。

公开(公告)号：CN112424289A

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN201980044052.X

申请日：2019-07-25

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 桥本启华 ,  增田有希 ,  竹山祐贵

IPC: C08L79/08 ,  C08G73/10 ,  C08L61/34 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G09F9/30

Abstract: 提供树脂组合物，其能够提高对焊接时使用的焊剂的耐性、回流焊耐性，并且制成感光性树脂组合物时能够赋予即使为固化后15μm以上的厚膜也能以高灵敏度加工的厚膜加工性。树脂组合物，其包含：(A)具有通式(1)及/或通式(2)所示的结构单元的树脂、(B)酚醛树脂、(C)抗氧化剂，该(B)酚醛树脂包含通式(3)所示的结构。

公开(公告)号：CN106795283B

公开(公告)日：2020-07-10

申请号：CN201580046940.7

申请日：2015-08-24

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 增田有希 ,  有本由香里 ,  弓场智之

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/023 ,  H05K1/03 ,  H05K3/28

Abstract: 本发明的目的在于提供能够制造具有高敏感度、高残膜率的感光性树脂组合物的树脂。本发明提供具有聚酰胺结构、聚酰亚胺前体结构或聚酰亚胺结构的树脂，其中，将酸或其酐的总量设为100摩尔％时，所述树脂含有5～95摩尔％的具有碳原子数6～40的脂环结构或碳原子数6～40的半脂环结构的酸或其酐。

公开(公告)号：CN109642028A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201780053902.3

申请日：2017-08-30

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 增田有希 ,  桥本启华 ,  奥田良治

IPC: C08G73/14 ,  C08G69/26 ,  C08G73/06 ,  C08G73/10 ,  C08J5/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/16 ,  G03F7/40

Abstract: 树脂组合物，其特征在于，含有(a)树脂、(b)抗氧化剂、(d)交联剂，其中，上述(a)树脂包含选自聚酰亚胺前体、聚酰胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、及它们的共聚物中的一种以上的树脂，上述(d)交联剂是在一分子中具有酚式羟基、并且在上述酚式羟基的两个邻位具有分子量为40以上的取代基的交联剂。提供树脂组合物，其可得到微细图案，且能够实现250℃以下的低温固化，同时可得到图案的面内均匀性优异、在可靠性评价(即实际使用的加速试验)后也具有高伸长率及与金属布线的高密合性的图案固化膜。