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公开(公告)号：CN103619591B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201280018588.2
申请日：2012-04-13
Applicant: 东洋纺株式会社
CPC classification number: B29C33/3842 , B29C39/02 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2379/08 , B81C1/0038 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L27/1218 , H01L31/0392 , H01L31/03923 , H01L31/03925 , Y02E10/50 , Y02E10/541 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的课题在于提供一种耐热性优异的膜器件、以及提供一种该膜器件制作用的耐热性树脂层和无机物层的层叠体。解决手段为至少由无机层和树脂膜构成的层叠体及利用该层叠体的膜器件的制造方法，本发明的层叠体的制造方法，其特征在于，其包括下述(1)～(3)的工序，即，(1)对无机层的至少单面的表面实施偶联剂处理的工序；(2)对经上述偶联剂处理的无机层的至少单面，按照预先决定的图案进行UV照射处理，由此设置无机层与树脂层之间的剥离强度不同的部分的工序；及(3)在该图案化后的无机层的偶联剂处理面上涂布树脂溶液或树脂前体溶液，将所得的涂布溶液层干燥并实施热处理，形成上述树脂层的工序。另外，利用在使用该层叠体制作器件后按照预先决定的图案进行UV曝光的工序，将对基板的粘接剥离强度较弱的部分从上述无机基板剥离，从而实现膜器件的制作。
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公开(公告)号：CN103502005B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201280018634.9
申请日：2012-04-12
Applicant: 东洋纺株式会社
CPC classification number: B32B38/10 , B29C59/14 , B29C65/02 , B29C65/1406 , B29C65/1432 , B29C65/1496 , B29C65/76 , B29C66/028 , B29C66/1122 , B29C66/41 , B29C66/43 , B29C66/71 , B29C66/73111 , B29C66/73117 , B29C66/7315 , B29C66/73161 , B29C66/7352 , B29C66/7392 , B29C66/7394 , B29C66/7465 , B29C66/9121 , B29C66/91216 , B29C66/91311 , B29C66/91313 , B29C66/91315 , B29C66/9141 , B29C66/91445 , B29C66/919 , B29C66/953 , B29C2035/0827 , B29K2995/0072 , B32B7/06 , B32B27/08 , B32B27/16 , B32B27/281 , B32B27/34 , B32B38/0004 , B32B38/0008 , B32B2255/10 , B32B2255/26 , B32B2307/306 , B32B2307/71 , B32B2307/734 , B32B2307/748 , B32B2315/08 , B32B2379/08 , B32B2457/00 , C08G73/105 , C08G73/1067 , C08G73/1071 , C08G73/1085 , C08G73/22 , C08L79/08 , Y10T156/10 , Y10T428/24802 , Y10T428/24851 , Y10T428/31725 , B29K2079/08
Abstract: 本发明的课题在于提供一种层叠体，其是作为用于层叠各种器件的基材的聚酰亚胺膜与支撑体的层叠体，该层叠体即使在器件制作时的高温工艺中也不会剥离，并且在聚酰亚胺膜上制作器件后能够容易地将聚酰亚胺膜从支撑体剥离。本发明的层叠体的制造方法是至少由支撑体(1)和聚酰亚胺膜(6)构成的层叠体的制造方法，作为上述聚酰亚胺膜(6)，使用至少对与上述支撑体(1)相对的面实施了等离子体处理的膜，对上述支撑体(1)和上述聚酰亚胺膜(6)的相对的面中的至少一面实施偶联剂处理而形成偶联处理层(2)，接着，对偶联处理层(2)的一部分实施钝化处理而形成规定的图案后，将上述支撑体(1)与上述聚酰亚胺膜(6)重叠并进行加压加热处理。
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公开(公告)号：CN103619591A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280018588.2
申请日：2012-04-13
Applicant: 东洋纺株式会社
CPC classification number: B29C33/3842 , B29C39/02 , B32B38/0008 , B32B38/10 , B32B2379/08 , B81C1/0038 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L27/1218 , H01L31/0392 , H01L31/03923 , H01L31/03925 , Y02E10/50 , Y02E10/541 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的课题在于提供一种耐热性优异的膜器件、以及提供一种该膜器件制作用的耐热性树脂层和无机物层的层叠体。解决手段为至少由无机层和树脂膜构成的层叠体及利用该层叠体的膜器件的制造方法，本发明的层叠体的制造方法，其特征在于，其包括下述(1)～(3)的工序，即，(1)对无机层的至少单面的表面实施偶联剂处理的工序；(2)对经上述偶联剂处理的无机层的至少单面，按照预先决定的图案进行UV照射处理，由此设置无机层与树脂层之间的剥离强度不同的部分的工序；及(3)在该图案化后的无机层的偶联剂处理面上涂布树脂溶液或树脂前体溶液，将所得的涂布溶液层干燥并实施热处理，形成上述树脂层的工序。另外，利用在使用该层叠体制作器件后按照预先决定的图案进行UV曝光的工序，将对基板的粘接剥离强度较弱的部分从上述无机基板剥离，从而实现膜器件的制作。
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