-
公开(公告)号：CN103674405A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310677236.4
申请日：2013-12-13
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01L9/12
摘要： 本发明涉及HTCC高温压力传感器，具体是一种差动式HTCC无线无源高温压力传感器及其制造方法。本发明解决了现有HTCC高温压力传感器灵敏度低、测量范围小、以及非线性误差大的问题。差动式HTCC无线无源高温压力传感器包括第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片；第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片自上而下依次层叠成一体；第二生瓷片的上表面分别布置有固定电容上极板和圆形螺旋电感；第四生瓷片的上表面布置有活动电容极板；第六生瓷片的上表面布置有固定电容下极板。本发明适用于民用工业和国防军工领域中的压力测量。
-
公开(公告)号：CN102324371B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201110252650.1
申请日：2011-08-30
申请人： 中北大学
摘要： 本发明公开了一种基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室，基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室由两片完全相同的电极板重叠放置组成，基于印制电路板工艺的光离子化气体检测仪电离室的厚度为两片电极板厚度之和，电极板包括三个焊盘，三个焊盘上分别设有第一过孔、第二过孔、第三过孔，两片电极板的反面相接触，两片电极板通过分别在第一过孔、第二过孔、第三过孔内放置一个插针进行机械固定和电气连接，一个插针接偏置电极，一个插针接收集电极，另外一个插针接地。本发明保证了体积的足够小，又确保了足够的光路长度，使进入电离室内的气体被充分电离。
-
公开(公告)号：CN102393249A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110288708.8
申请日：2011-09-26
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01J5/10
摘要： 本发明公开的是一种基于晶片键合技术实现的热释电红外探测器及其制备方法。所述热释电红外探测器包括硅衬底(1)、硅衬底(1)表面的绝热层(2)、键合层(3)、热释电材料片(4)、上电极层(6)及红外吸收层(7)，其中所述硅衬底(1)的绝热层(2)和所述热释电材料片(4)在制备方法中通过所述键合层(3)键合在一起。本发明在热释电晶片与硅衬底结合的同时保证了原始晶片完整性，与同种热释电材料的薄膜热释电探测器相比，具有易加工、材料强度高、厚度容易实现、抵抗外界恶劣环境的影响能力较强、热散失轻等优点。
-
公开(公告)号：CN101567120A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910074252.8
申请日：2009-04-27
申请人： 中北大学
摘要： 本发明涉及瓦斯检测领域，具体是一种便携式红外瓦斯报警仪。解决了现有瓦斯红外检测装置的灵敏度和精度未能达到理想的要求等问题，该报警仪包括置于盒体内的检测单元、信号处理电路，盒体上设有功能按钮、显示屏、报警器、报警指示灯，盒体上开有与检测单元正对的通气孔；检测单元为内置有红外光源、红外探测器的集气罐，集气罐包含侧壁上开有通孔的筒体、分别固定于筒体两端的端盖，端盖的内表面为凹镜镜面，红外光源、红外探测器分别通过支撑体与两端盖的内表面固定，并处于端盖内表面凹镜镜面的焦点位置。检测单元结构简单、合理、紧凑，便于加工，便于随身携带，整个报警仪的灵敏度高、响应速度快、稳定性好、测量精度高，应用范围广。
-
公开(公告)号：CN118676036A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202411160490.1
申请日：2024-08-22
申请人： 中北大学
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/308
摘要： 本发明的目的在于提供一种硅的高均匀性湿法腐蚀装置及方法，属于半导体芯片制造技术领域，所述装置包括水浴锅，所述水浴锅内设有烧杯，所述烧杯内设有用于夹持硅片的聚四氟乙烯材料制作的夹具，所述夹具包括夹持件，所述夹持件包括通过螺栓连接的上夹持件和下夹持件，所述上夹持件的顶端设有上螺杆，所述夹持件的底部设有过滤板，下夹持件与过滤板之间通过中螺杆连接，过滤板的底部设有下螺杆。通过该装置及方法，能够提升湿法腐蚀均匀性、改善湿法腐蚀形貌，通过缓解腐蚀液流速，加速生成沉淀物和气体溢出，达到提高整片晶圆深硅腐蚀均匀性同时改善形貌的效果。
-
公开(公告)号：CN116165852B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310458670.7
申请日：2023-04-26
申请人： 中北大学
摘要： 本发明提供了一种自适应光纤曝光系统及光纤‑平面芯片纵向异构集成方法，属于半导体器件制备的技术领域，该系统包括光源、三维微动平台、旋转式光纤夹具、光纤适配器和载物台；三维微动平台包括Y轴移动平台、X轴移动平台和旋转平台。本发明在解决了光纤与平面芯片高精度（微米级）耦合的同时，开发了自适应光纤光刻工艺及热调控过盈配合侧面键合工艺，显著提高了光纤与芯片的刚性耦合强度，规避了常用有机胶固定连接结构所带来的温度限制、化学和蠕变稳定性以及刚性匹配等问题。该方法对于光纤端面无要求，平面、凸面、斜面均可实现需求图形的定量刻蚀以实现光纤与平面芯片异构集成。
-
公开(公告)号：CN116165852A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310458670.7
申请日：2023-04-26
申请人： 中北大学
摘要： 本发明提供了一种自适应光纤曝光系统及光纤‑平面芯片纵向异构集成方法，属于半导体器件制备的技术领域，该系统包括光源、三维微动平台、旋转式光纤夹具、光纤适配器和载物台；三维微动平台包括Y轴移动平台、X轴移动平台和旋转平台。本发明在解决了光纤与平面芯片高精度（微米级）耦合的同时，开发了自适应光纤光刻工艺及热调控过盈配合侧面键合工艺，显著提高了光纤与芯片的刚性耦合强度，规避了常用有机胶固定连接结构所带来的温度限制、化学和蠕变稳定性以及刚性匹配等问题。该方法对于光纤端面无要求，平面、凸面、斜面均可实现需求图形的定量刻蚀以实现光纤与平面芯片异构集成。
-
公开(公告)号：CN112197893B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202010908776.9
申请日：2017-11-13
申请人： 中北大学
摘要： 本发明提供了一种测量力学参数的光纤法珀传感器及其制造方法。其中，测量力学参数的光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其插入于第一管体，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其插入于第二管体，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
-
公开(公告)号：CN113340491A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110769703.0
申请日：2021-07-07
申请人： 中北大学
摘要： 本公开描述一种光纤法珀压力传感器及其敏感单元的高一致性制备方法，其包括以下步骤：准备第一石英片、第二石英片、以及第三石英片；对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面和下表面进行抛光，并且对第三石英片的上表面进行抛光；以预定分布方式在第一石英片的上表面或第二石英片的上表面制作多个凹槽；以预定分布方式在第三石英片制作多个通孔；以覆盖多个凹槽的方式将第一石英片的上表面与第二石英片的上表面结合，并且将第三石英片的上表面与第二石英片的下表面结合，形成各个凹槽与各个通孔分别共轴的层叠体；并且对多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。
-
公开(公告)号：CN108680566A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810490582.4
申请日：2018-05-21
申请人： 中北大学
IPC分类号： G01N21/76
CPC分类号： G01N21/76
摘要： 本发明公开了一种基于MoS2纳米类酶发光体系检测过氧化氢的新方法，包括如下步骤：S1、制备MoS2二维纳米类酶；S2、配制0.1mol/L的鲁米诺母液和Tris‑HCl缓冲溶液；S3、将配制所得的鲁米诺母液用Tris‑HCl缓冲溶液稀释至5毫摩尔每升的鲁米诺溶液，然后取40微升所得溶液与40微升不同浓度的过氧化氢溶液在测量杯中混匀，再向其中加入40微升1毫摩尔每升的MoS2纳米类酶，反应30秒后，整个反应体系放入化学发光测定仪，通过化学发光仪收集并记录反应所产生的光信号。本发明增强了检测过氧化氢时的发光信号的强度，缩短了反应时间。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
109 条记录 (耗时 0.027 秒)
