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公开(公告)号：CN114023681A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111244329.9
申请日：2021-10-26
Applicant: 江苏亚电科技有限公司 , 亚电科技南京有限公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本申请涉及一种晶圆盒对位翻转转移方法，分别使用第一滑动定位驱动件和第二滑动定位驱动件分别使晶圆盒的侧边固定于第二固定定位块和第四固定定位块上，第二固定定位块和第四固定定位块分别设置于第二发出固定板和第二接收固定板上，且分别与第一滑动定位座和第二滑动定位座垂直，四角定位块设置于第一滑动定位座和第二滑动定位座上；第一滑动定位座和第二滑动定位座分别滑动设置于第一发出固定板和第一接收固定板上；第一旋转座和第二旋转座翻转90度，使位于第一旋转座和第二旋转座上的晶圆盒的开口相对以便于推动总成将晶圆推动至新的晶圆盒内。上述方法通过定位和固定，保障了晶圆盒翻转的安全，实现了晶圆转移的自动化操作。
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公开(公告)号：CN112735995B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110365913.3
申请日：2021-04-06
Applicant: 亚电科技南京有限公司 , 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , B08B3/02 , B08B13/00
Abstract: 本发明涉及半导体设备技术领域，具体地说，涉及基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法。其包括清洗机，清洗机至少包括：清洁体，清洁体包括清洁箱，清洁箱设置有清洗槽，清洁箱设置有进水管，清洗槽设置有出水管，出水管设置有阀门，清洗槽设置有震动体，清洁箱连接有遮蔽体，遮蔽体包括顶板，顶板设置有扶手；安装体，安装体包括四号连接体，四号连接体设置有二号连接体，二号连接体设置有安装槽，安装槽安装有固定体，固定体包括固定架，固定架设置有间距调节体，间距调节体包括调节杆，调节杆连接有接触板。本发明主要提出一种可有效地清除残留在晶圆上的微尘等杂质的清洗装置及其清洗方法。
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公开(公告)号：CN113690169A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202111244045.X
申请日：2021-10-26
Applicant: 亚电科技南京有限公司 , 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本申请涉及一种晶圆倒盒装置，用于将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒完成倒盒。需要进行倒盒时，满载晶圆的晶圆盒放置到第一旋转组件上，空的晶圆盒放置到第二旋转组件上，第一旋转组件和第二旋转组件旋转使晶圆盒相对设置，之后由推动总成推动第一旋转组件上的晶圆盒内的晶圆推动到第二旋转组件上的晶圆盒内，而后，第一旋转组件和第二旋转组件旋转回归图位置，满载晶圆的晶圆盒和空的晶圆盒均被机械手抓走，可继续进行下一个晶圆的转移。
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公开(公告)号：CN112735992A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202110344474.8
申请日：2021-03-31
Applicant: 亚电科技南京有限公司 , 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , B08B3/02 , B08B13/00
Abstract: 本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体地说，涉及基于惰性气体的防水痕半导体晶圆清洗装置及使用方法。其包括清洗机构，清洗机构内至少包括支撑臂，支撑臂侧壁靠近顶部的位置固定连接有安装座，安装座上下两端表面上均开设有固定槽，安装座侧壁表面开设有与固定槽连通的限位螺孔，两个固定槽内均固定安装有清洗臂，清洗臂一端固定连接有旋转基座，旋转基座上表面开设有高度调节孔，旋转基座通过固定杆在安装座内旋转，实现对清洗臂的旋转调节，方便对晶圆进行单面独立清洗，实现了在双面清洗的需求的前提下，适用不同的晶圆夹具，实现对晶圆单面或双面进行选择性清洗，而不需要根据晶圆夹具更换清洗机构。
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公开(公告)号：CN116666268B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202310564884.2
申请日：2023-05-18
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本申请涉及一种槽内晶圆篮故障排除方法和装置，用于将槽内处于异常的晶圆篮取走后，是否可以将该位置的状态调整为无篮，通过调取机械臂进入具有异常状态的晶圆篮的工艺槽判断是否能够抓取晶圆篮，进一步分辨需不需要手动拿走晶圆篮，并在拿走晶圆篮的过程中进行相应的监控，确保系统内状态的调整不会产生误判。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115274492B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202210713042.4
申请日：2022-06-22
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本申请涉及一种摇摆式晶圆干燥设备，包括：槽体，盖体和摇摆机构。摇摆机构包括：驱动件、滑动安装块和拱形滑动臂；所述滑动安装块向下方延伸形成延伸部，拱形滑动臂的第一支臂中间具有滑动槽，滑动安装块的延伸部上设置有位于滑动槽内的滑轮。驱动件带动滑动安装块在滑轨上运动，进而通过滑轮作用于滑动槽，进而使容纳座发生摆动。与现有技术相比，滑动安装块向下方延伸形成延伸部，延伸部上设置滑轮，能够使滑轮尽量远离滑动安装块的移动中线，从而使整个滑轮和滑动槽的配合点更低，提高摆动的幅度。
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公开(公告)号：CN116682756A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310549644.5
申请日：2023-05-16
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , F26B21/00
Abstract: 本申请涉及一种干燥清洗设备，其中包括晶圆升降机构，晶圆升降机构的喷气口设置于晶圆支撑座上，当晶圆支撑座升高到最顶端而将晶圆置于盖体内时，喷气口处于能够离盖体内的晶圆较近的位置，干燥气体能够直接喷吹到晶圆上，提高晶圆的干燥效率和相同时间下的干燥效果。
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公开(公告)号：CN115815202B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310114028.7
申请日：2023-02-15
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种光伏硅片清洗工艺优化方法及设备布置顺序调整方法，属于光伏硅片生产设备技术领域，通过对所有清洗装置均先于所有干燥装置的判断保证了光伏硅片必须先清洗再干燥，对位置靠前的清洗装置和干燥装置是否早于位置靠后的清洗装置和干燥装置的判断，保证了机械手在工作过程中的移动顺序只能是从前往后，避免了机械手前后往复运动，所有过渡段对应的清洗装置和干燥装置中的至少一个清洗装置或干燥装置均需要处于输送顺序中，使得所有的过渡段里的清洗装置或者干燥装置都有花篮进入，以便于整个挂篮搬运装置顺利地在过渡段里完成不同输送段机械手的交接。通过上述条件下的自动化调整，提高了在工艺设定时的效率。
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公开(公告)号：CN115295441A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210700063.2
申请日：2022-06-20
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种晶圆清洗干燥设备，由槽体、盖体、水气供给系统和晶圆升降机构，通过滚轮、连杆及导向块的作用，实现了晶圆篮支撑座和晶圆支撑座的共同升降和晶圆支撑座的单独升降，导向块上的第一导向面、第二导向面、第三导向面和第四导向面四段导向面使得滚轮滑动更顺畅，使整体运行更加平稳。
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公开(公告)号：CN115274492A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210713042.4
申请日：2022-06-22
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本申请涉及一种摇摆式晶圆干燥设备，包括：槽体，盖体和摇摆机构。摇摆机构包括：驱动件、滑动安装块和拱形滑动臂；所述滑动安装块向下方延伸形成延伸部，拱形滑动臂的第一支臂中间具有滑动槽，滑动安装块的延伸部上设置有位于滑动槽内的滑轮。驱动件带动滑动安装块在滑轨上运动，进而通过滑轮作用于滑动槽，进而使容纳座发生摆动。与现有技术相比，滑动安装块向下方延伸形成延伸部，延伸部上设置滑轮，能够使滑轮尽量远离滑动安装块的移动中线，从而使整个滑轮和滑动槽的配合点更低，提高摆动的幅度。
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