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公开(公告)号：CN109927413B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201810914191.0
申请日：2018-08-13
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 礒圭二
Abstract: 本发明提供一种能够利用喷墨印刷技术来减少膜的直线状边缘的歪曲的膜形成装置。基于涂布对象区域的图案，一边使涂布对象物和油墨吐出装置中的一方相对于另一方沿第1方向移动，一边使油墨吐出装置吐出油墨，从而对涂布对象区域的与第1方向平行的边缘涂布油墨。一边使涂布对象物和油墨吐出装置中的一方相对于另一方沿第2方向移动，一边使油墨吐出装置吐出油墨，从而对涂布对象区域的与第2方向平行的边缘涂布油墨。
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公开(公告)号：CN102861706B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201210234561.9
申请日：2012-07-06
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 礒圭二
Abstract: 本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置，其不会导致降低吞吐量就能够固化基板上附着的薄膜材料。本发明的薄膜形成方法中，在载物台上保持基板，从喷头吐出光固化性薄膜材料的液滴，并使薄膜材料的液滴着落于基板的表面。从临时固化用光源对着落于基板上的薄膜材料照射光，使薄膜材料的表层部固化。着落液滴的工序及固化薄膜材料的表层部的工序之后，从载物台搬出基板。
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公开(公告)号：CN1161203C
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：CN98101045.8
申请日：1998-03-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 礒圭二
IPC: B23K26/02
CPC classification number: B23K26/0673 , B23K26/082 , H05K3/0026
Abstract: 一种激光加工设备和激光加工方法，其中来自激光振荡器10的脉冲激光束由光束分离器13分离成两束。分离的激光束由X-Y扫描仪14和16通过工作透镜17和18辐射到工件20上。另外，在工件上，激光光束在X-轴和Y-轴方向摆动。这些X-Y扫描仪同时加工多个被分离并设置在工件上的加工区。
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公开(公告)号：CN1195591A
公开(公告)日：1998-10-14
申请号：CN98101045.8
申请日：1998-03-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 礒圭二
IPC: B23K26/02
CPC classification number: B23K26/0673 , B23K26/082 , H05K3/0026
Abstract: 来自激光振荡器10的脉冲激光束由光束分离器13分离成两束。分离的激光束由X－Y扫描仪14和16通过工作透镜17和18辐射到工件20上。另外,在工件上,激光光束在X－轴和Y－轴方向摆动。这些X－Y扫描仪同时加工多个被分离并设置在工件上的加工区。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110099513B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201811248191.8
申请日：2012-07-17
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置及基板制造方法。本发明的基板制造装置，在第1涂布站中，对底层基板的单面涂布液状薄膜材料，并对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来固化薄膜材料的表层部。在第1涂布站中被涂布薄膜材料的底层基板搬入到反转站。在反转站对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来使薄膜材料固化至其内部，并且使底层基板的背面和表面反转。搬送装置在第1涂布站与反转站之间搬送底层基板。控制装置控制第1涂布站、反转站及搬送装置。控制装置控制搬送装置将在第1涂布站中经处理的底层基板搬送到反转站。
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公开(公告)号：CN110453221A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910329477.7
申请日：2019-04-23
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 礒圭二
Abstract: 本发明提供一种针对被加工板的两个面能够彼此对位后进行处理的板处理装置。打标部对支承于工作台上的被加工板的朝向工作台的面赋予标记。处理部对支承于工作台上的被加工板的朝向与工作台相反一侧的面进行处理，并且对处理结果与打标部赋予给朝向工作台的面上的标记的位置建立对应关联。而且，处理部检测形成于朝向与工作台相反一侧的面上的标记，并基于检测到的标记的位置对朝向与工作台相反一侧的面进行处理。
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公开(公告)号：CN103688602B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280033928.9
申请日：2012-06-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: H05K3/3452 , B41J11/002 , H05K2203/013
Abstract: 本发明提供一种基板制造方法及基板制造装置。本发明的基板制造方法，反复进行使薄膜材料的液滴着落于底层基板表面中与着落对象像素对应的位置的工序，及使着落于底层基板的薄膜材料固化的工序，由此形成由薄膜材料构成的薄膜图案。以由二维分布的多个像素构成的图像数据定义薄膜图案的平面形状。着落对象像素是从底层基板表面中，应用薄膜材料涂布的满布区域内的多个像素中提取的一部分像素。着落于与着落对象像素对应的位置的薄膜材料向面内方向扩散至与没有提取为着落对象像素的像素对应的区域之后，使薄膜材料固化，由此形成覆盖满布区域的整个区域的薄膜图案。
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公开(公告)号：CN103718661A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201280037448.X
申请日：2012-07-17
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: B05D3/065 , H05K3/0091 , H05K2203/1563
Abstract: 本发明提供一种基板制造装置及基板制造方法。本发明的基板制造装置，在第1涂布站中，对底层基板的单面涂布液状薄膜材料，并对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来固化薄膜材料的表层部。在第1涂布站中被涂布薄膜材料的底层基板搬入到反转站。在反转站对涂布于底层基板的薄膜材料照射光来使薄膜材料固化至其内部，并且使底层基板的背面和表面反转。搬送装置在第1涂布站与反转站之间搬送底层基板。控制装置控制第1涂布站、反转站及搬送装置。控制装置控制搬送装置将在第1涂布站中经处理的底层基板搬送到反转站。
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