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公开(公告)号:CN110581181B
公开(公告)日:2024-04-26
申请号:CN201910908017.X
申请日:2019-09-24
申请人: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国网山东省电力公司 , 国家电网有限公司
IPC分类号: H01L29/872 , H01L29/06 , H01L21/04
摘要: 本发明提供的一种碳化硅肖特基二极管及其制备方法,其中所述碳化硅肖特基二极管包括基底,以及若干P型结,其包括相对设置的第一端部和第二端部,且所述P型结嵌插设置于所述基底内以使所述第二端部位于所述基底内,相邻P型结间隔设置;连接所述第一端部和第二端部且位于P型结侧面上的连线为光滑的弧线。通过连接所述第一端部和第二端部且位于P型结侧面上的连线为光滑的弧线的结构,使得注入P型结边缘的电场强度更加均匀,进一步提高碳化硅肖特基二极管芯片的反向耐压以及可靠性。
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公开(公告)号:CN109860283A
公开(公告)日:2019-06-07
申请号:CN201910040864.9
申请日:2019-01-16
申请人: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国网湖北省电力有限公司 , 国家电网有限公司
IPC分类号: H01L29/739 , H01L21/331
摘要: 本发明提供了一种IGBT、IGBT背面的制作方法和装置,在N型硅片的背面采用离子注入方式形成场终止层,并对所述场终止层进行激光退火处理;在所述场终止层的底部形成P+集电极层,并依次对有源区的P+集电极层和整个背面的P+集电极层进行激光退火处理;在所述有源区的P+集电极层和整个背面的P+集电极层的底部分别形成背面金属层,不需要光刻程序,仅需要一次注入即可形成,简化了制作过程,大大提高了制作效率,降低了制作成本。且本发明通过不同激光退火条件实现有源区的P+集电极层和整个背面的P+集电极层激光退火,能够降低终端区P+注入效率,减小过渡区电场积累,提高IGBT可靠性。
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公开(公告)号:CN109860283B
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN201910040864.9
申请日:2019-01-16
申请人: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国网湖北省电力有限公司 , 国家电网有限公司
IPC分类号: H01L29/739 , H01L21/331
摘要: 本发明提供了一种IGBT、IGBT背面的制作方法和装置,在N型硅片的背面采用离子注入方式形成场终止层,并对所述场终止层进行激光退火处理;在所述场终止层的底部形成P+集电极层,并依次对有源区的P+集电极层和整个背面的P+集电极层进行激光退火处理;在所述有源区的P+集电极层和整个背面的P+集电极层的底部分别形成背面金属层,不需要光刻程序,仅需要一次注入即可形成,简化了制作过程,大大提高了制作效率,降低了制作成本。且本发明通过不同激光退火条件实现有源区的P+集电极层和整个背面的P+集电极层激光退火,能够降低终端区P+注入效率,减小过渡区电场积累,提高IGBT可靠性。
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公开(公告)号:CN109671771B
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN201811379016.2
申请日:2018-11-19
申请人: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国网湖北省电力有限公司 , 国家电网有限公司
IPC分类号: H01L29/739 , H01L21/265 , H01L29/06 , H01L29/40 , H01L21/331
摘要: 本发明公开了一种IGBT芯片的背面结构、IGBT芯片结构及制备方法,背面结构包括:缓冲层和掺杂层,掺杂层为在缓冲层进行离子注入形成;终端区及过渡区的掺杂层通过一次高温退火处理;有源区的掺杂层通过两次高温退火处理,实现有源区与终端区的不同空穴注入效率,改善IGBT过渡区存在的电流集中问题,提高可靠性。与现有技术中采用光刻工艺在有源区和终端区背面分别注入不同剂量的掺杂离子来实现有源区与终端区背面集电极不同注入效率的处理方式相比,仅采用了退火工艺,省去了光刻工艺,节约了制造成本。另外在缓冲层注入惰性离子缺陷层,形成缺陷层,使IGBT背面集电极可以采用更高的掺杂浓度,IGBT背面与背面金属容易形成良好的欧姆接触,降低IGBT通态压降。
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公开(公告)号:CN111668088A
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN202010345960.7
申请日:2020-04-27
申请人: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国家电网有限公司 , 国网山东省电力公司泰安供电公司
摘要: 本发明提供一种碳化硅衬底的处理方法,通过等离子体处理设备对所述碳化硅衬底进行钝化;采用退火炉对钝化后的碳化硅衬底进行高温退火;在高温退火后的碳化硅衬底表面生长氧化层;对碳化硅衬底进行高温退火,可以改善碳化硅衬底表面形貌,减少碳化硅衬底与氧化层界面处杂质的引入,避免退火过程中引入新的杂质,减少氧化层中缺陷,提高氧化层质量,同时可以通过温度和时间精确控制磷原子扩散的结深;本发明通过氧族气体中的氧等离子体消除碳化硅衬底表面残余的碳,利用氮族气体中的氮等离子体和磷族气体中的磷等离子体对碳化硅衬底表面进行钝化,大大降低了界面态密度。
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公开(公告)号:CN108663607B
公开(公告)日:2023-09-08
申请号:CN201810644920.5
申请日:2018-06-21
申请人: 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 国网江苏省电力有限公司 , 深圳市朗驰欣创科技股份有限公司 , 江苏省电力试验研究院有限公司
发明人: 贾勇勇 , 邓洁清 , 腾云 , 杨景刚 , 高山 , 陶风波 , 张量 , 刘洋 , 丁然 , 刘媛 , 李洪涛 , 刘通 , 陈少波 , 刘子全 , 赵科 , 王静君 , 李玉杰 , 宋思齐 , 吴昊 , 弓新月 , 周俊泉 , 周仁彬 , 张略轩
摘要: 本发明公开了一种局部放电超声波检测耦合剂自动添加装置及方法,该装置包括安装在巡检设备上的巡检耦合剂管理组件以及和所述巡检耦合剂管理组件无线连接的安装在耦合剂加料站的耦合剂加料组件。通过安装在巡检设备上的巡检耦合剂管理组件,实现了耦合剂余量的实时检测,当检测到耦合剂余量低于最小预设值时,巡检设备自动运行到耦合剂加料组件处完成耦合剂添加任务,有效解决了巡检设备不能自动检测耦合剂容器内耦合剂余量,不能及时通知相关人员添加耦合剂只能通过人工定期保养添加耦合剂,增加人力投入的问题。
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公开(公告)号:CN108663607A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:CN201810644920.5
申请日:2018-06-21
申请人: 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 国网江苏省电力有限公司 , 深圳市朗驰欣创科技股份有限公司 , 江苏省电力试验研究院有限公司
发明人: 贾勇勇 , 邓洁清 , 腾云 , 杨景刚 , 高山 , 陶风波 , 张量 , 刘洋 , 丁然 , 刘媛 , 李洪涛 , 刘通 , 陈少波 , 刘子全 , 赵科 , 王静君 , 李玉杰 , 宋思齐 , 吴昊 , 弓新月 , 周俊泉 , 周仁彬 , 张略轩
摘要: 本发明公开了一种局部放电超声波检测耦合剂自动添加装置及方法,该装置包括安装在巡检设备上的巡检耦合剂管理组件以及和所述巡检耦合剂管理组件无线连接的安装在耦合剂加料站的耦合剂加料组件。通过安装在巡检设备上的巡检耦合剂管理组件,实现了耦合剂余量的实时检测,当检测到耦合剂余量低于最小预设值时,巡检设备自动运行到耦合剂加料组件处完成耦合剂添加任务,有效解决了巡检设备不能自动检测耦合剂容器内耦合剂余量,不能及时通知相关人员添加耦合剂只能通过人工定期保养添加耦合剂,增加人力投入的问题。
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公开(公告)号:CN108663181B
公开(公告)日:2023-10-27
申请号:CN201810698305.2
申请日:2018-06-29
申请人: 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 国网江苏省电力有限公司 , 江苏省电力试验研究院有限公司
IPC分类号: G01M7/02
摘要: 本发明公开了一种用于敞开式隔离开关的振动模态试验系统及方法,包括弹簧触发激振锤柄,外表面装有橡胶套,下端连接三脚架,上端连接激光测距模块,锤柄另一端装有弹簧套筒,螺旋弹簧与锤头相连,放置于弹簧套筒内部,锤头内部集成力传感器,力传感器通过电缆与激光测振仪连接,通过工控机控制激光测振仪检测隔离开关机械振动情况。本发明通过控制出锤的速度,模拟不同速度、力度下的外施激励,试验时利用激光测振仪实测不同外施激励条件下典型缺陷隔离开关的振动情况;本发明可用于研究典型缺陷隔离开关振动模态与外施激励速度、力度的关系与变化规律,为开展敞开式隔离开关故障检测奠定基础。
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公开(公告)号:CN112748330A
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN202011544920.1
申请日:2020-12-24
申请人: 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 国网江苏省电力有限公司 , 江苏省电力试验研究院有限公司
IPC分类号: G01R31/327
摘要: 本发明公开了一种基于分布式集成神经网络的高压断路器操作机构故障诊断方法,包括:获取待诊断的高压断路器分闸线圈电流曲线;从分闸线圈电流曲线上提取分闸线圈电流特征参数;基于分闸线圈电流特征参数,采用预先训练的多个分布式集成神经网络子分类器进行故障分类,获得多个分类结果;将多个分类结果进行集成,得到最终的故障诊断结果。本发明通过构建多个差异化单体神经网络,并对其进行集成,利用投票机制对单体神经网络识别结果集成,从而提高状态识别准确率和可靠性。
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公开(公告)号:CN108663181A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:CN201810698305.2
申请日:2018-06-29
申请人: 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司 , 国网江苏省电力有限公司 , 江苏省电力试验研究院有限公司
IPC分类号: G01M7/02
摘要: 本发明公开了一种用于敞开式隔离开关的振动模态试验系统及方法,包括弹簧触发激振锤柄,外表面装有橡胶套,下端连接三脚架,上端连接激光测距模块,锤柄另一端装有弹簧套筒,螺旋弹簧与锤头相连,放置于弹簧套筒内部,锤头内部集成力传感器,力传感器通过电缆与激光测振仪连接,通过工控机控制激光测振仪检测隔离开关机械振动情况。本发明通过控制出锤的速度,模拟不同速度、力度下的外施激励,试验时利用激光测振仪实测不同外施激励条件下典型缺陷隔离开关的振动情况;本发明可用于研究典型缺陷隔离开关振动模态与外施激励速度、力度的关系与变化规律,为开展敞开式隔离开关故障检测奠定基础。
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