一种原位显微测量宏微复合校准样板及校准方法

    公开(公告)号:CN117367278A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311422830.9

    申请日:2023-10-31

    Abstract: 本发明涉及一种原位显微测量宏微复合校准样板及校准方法,属于光学精密测量交叉技术领域。解决机械臂由于运动学误差的存在,其定位准确性无法保证的问题。包括基板和标准样板,基板上均匀布置有标准样板。本发明可以建立基于空间位置的机械臂定位误差校准网格,实现机械臂运动执行机构大行程范围下宏观定位准确度的校准。

    一种共焦显微系统的信号采集与处理方法

    公开(公告)号:CN117147451A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202311114328.1

    申请日:2023-08-31

    Abstract: 一种共焦显微系统的信号采集与处理方法,它涉及一种信号采集与处理方法。本发明为了解决目前扫描振镜控制卡灵活性和专用性有待提高,通用性数据采集卡资源利用率低的问题。本发明的步骤包括步骤1、加载形貌;步骤2、采集信息;步骤3、增强信号;步骤4、模数转换;步骤5、重建形貌。本发明属于图像处理技术领域。

    一种具有可拆卸静音结构的高速旋转棱镜

    公开(公告)号:CN117008323A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202310948465.9

    申请日:2023-07-31

    Abstract: 一种具有可拆卸静音结构的高速旋转棱镜,它涉及一种高速旋转棱镜。本发明为了解决超精密测量过程中噪声导致测量精度受影响的问题。本发明包括电机、电机固定件、静音机构、联轴器、转轴、多面转镜和底板;电机固定件和静音机构固定设置在底板的上表面,且电机固定件位于静音机构内,电机固定安装在电机固定件上,电机的电机轴通过联轴器与转轴的一端同轴固定连接,且转轴位于静音机构外,多面转镜同轴固定套装在转轴上。本发明属于超精密测量环境控制技术领域。

    基于涡旋二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法

    公开(公告)号:CN116482107A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310253087.2

    申请日:2023-03-16

    Abstract: 本发明公开了一种基于涡旋二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法,属于光学精密测量技术领域。包括阵列涡旋光产生模块、阵列涡旋光照明模块和阵列暗场共焦探测模块;阵列涡旋光产生模块的阵列涡旋波片生成涡旋光照明阵列涡旋光照明模块的样品,阵列暗场共焦探测模块提取散射信号,并对相反阶数涡旋光照明下的收集的散射信号作差。直接分析一阶涡旋照明下的散射信号,可提取亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息;分析相反阶涡旋光照明下的散射信号差值,可获取微纳结构的手性信息。

    基于圆二向色性的暗场热波共焦显微测量装置及方法

    公开(公告)号:CN116465909A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310246370.2

    申请日:2023-03-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于圆二向色性的暗场热波共焦显微测量装置,包括:时分复用圆偏光产生光路在同一周期内,交替产生左旋圆偏振光和右旋圆偏振光,作为热波探测光;热波探测光整形光路对热波探测光进行整形;热波泵浦光产生光路产生热波泵浦光,对热波泵浦光进行调制后与接收的热波探测光进行合束,得到合束光;光束照明光路将合束光照射至待测样品,并接收热波反射及散射光;暗场平衡探测光路接收整形后的热波探测光,并提取热波反射及散射光中的热波探测光的散射光,根据热波探测光的参照光与散射光之间的差频信号得到圆二向色性热波暗场信号。本发明可获取样品缺陷的多种物理性质及微纳结构的手性信息。

    表面及亚表面一体化共焦显微测量装置和方法

    公开(公告)号:CN111220625B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202010058975.5

    申请日:2020-01-18

    Inventor: 刘辰光 刘俭 陈刚

    Abstract: 本发明公开了表面及亚表面一体化共焦显微测量装置和方法,装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块、暗场共焦探测模块和反射共焦探测模块;环形光照明模块包括激光器、扩束镜、偏振片一、凹面锥透镜和半反半透膜一;环形光扫描模块包括二维扫描振镜、扫描透镜、管镜、物镜和待测样品;暗场共焦探测模块包括半反半透膜二、光阑、偏振片二、聚焦透镜一、针孔一和相机一;反射共焦探测模块包括偏振片三、聚焦透镜二、针孔二和相机二。本发明通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测,有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号,可同时获取纳米级表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息,兼具表面及亚表面缺陷一体化检测功能。

    基于平凸透镜与半平凸透镜组合的自然光匀化照明装置

    公开(公告)号:CN115451371A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211251871.1

    申请日:2022-10-13

    Abstract: 基于平凸透镜与半平凸透镜组合的自然光匀化照明装置,它涉及一种自然光匀化照明装置。本发明为了解决现有太阳能转换装置的光导管效率低、采光均匀性差、且在安装过程张可能对原有建筑结构造成破坏,不利于推广和普及的问题。本发明包括理想透镜组合和半透镜组合,理想透镜组合的背面与半透镜组合的背面固定连接,理想透镜组合的透镜面朝向室外,半透镜组合的透镜面朝向室内。本发明属于照明系统技术领域。

    一种大视场平场远心显微物镜

    公开(公告)号:CN115343832A

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN202211060466.1

    申请日:2022-08-30

    Inventor: 刘俭 李勇 刘辰光

    Abstract: 本发明公开了一种大视场平场远心显微物镜,包括从像侧到物侧沿光轴依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜和第八透镜,第一透镜为具有负光焦度的负弯月透镜;第二透镜为具有负光焦度的负双胶合透镜;第三透镜为具有正光焦度的正双凸透镜;第四透镜为具有正光焦度的正双胶合透镜;第五透镜为具有正光焦度的正弯月透镜;第六透镜为具有正光焦度的正弯月透镜;第七透镜为具有负光焦度的负双凹透镜;第八透镜为具有正光焦度的正弯月透镜。本发明满足大视场的同时很好地保证了成像的质量,有效地提高了显微物镜系统的应用范围。

    一种定焦平场远心摄影镜头

    公开(公告)号:CN115308880A

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202211046935.4

    申请日:2022-08-30

    Inventor: 刘俭 李勇 刘辰光

    Abstract: 本发明公开了一种定焦平场远心摄影镜头,包括从物侧到像侧沿光轴依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、光阑、第七透镜、第八透镜和第九透镜,第一透镜为具有正光焦度的正弯月透镜;第二透镜为具有负光焦度的负弯月透镜;第三透镜为具有负光焦度的负双胶合透镜;第四透镜为具有负光焦度的负弯月透镜;第五透镜为具有正光焦度的正弯月透镜;第六透镜为具有正光焦度的正弯月透镜;第七透镜为具有正光焦度的正双胶合透镜;第八透镜为具有正光焦度的正双胶合透镜;第九透镜为具有正光焦度的正弯月透镜。本发明同时满足大视场、远心、平场和无渐晕,且结构简单,设计合理,易于制造。

    基于高色散柱透镜和柱形凹面光栅的线扫描式光谱共焦装置

    公开(公告)号:CN113959363A

    公开(公告)日:2022-01-21

    申请号:CN202111121245.6

    申请日:2021-09-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于高色散柱透镜和柱形凹面光栅的线扫描式光谱共焦装置,包括照明模块,高色散柱透镜聚焦模块,柱形凹面光栅分光探测模块。利用高色散柱透镜将照明模块产生的宽光谱平行光束根据波长聚焦到不同轴向位置,且横向聚焦为一条直线,在测量量程内,不同波长的光的聚焦轴向位置与波长成线性关系。不同波长的反射光通过柱形凹面光栅分光后聚焦在面阵CCD像面不同区域上,根据扫描线上每个点的光谱成像结果实现样品表面形貌测量。该发明为非接触式测量装置,相比于传统单点扫描式光谱共焦装置能够大幅提升测量速度。

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