公开(公告)号：CN103512665A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310238257.6

申请日：2013-06-17

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： D·科科斯 ,  M·德蓬 ,  D·埃拉德 ,  B·高茨曼 ,  L·库尔 ,  T·E·莫尔夫

IPC: G01J5/02 ,  G01J5/34

Abstract: 本发明涉及用于MEMS结构中的精确空隙控制和热隔离的纳米尖端间隔物。一种包括垂直天线的THz辐射检测器，该垂直天线被热隔离气隙从悬空平台分离，用于将THz辐射能集中到热传感器元件所位于的悬空MEMS平台。THz光子能经耦合电容器的极板之间的热隔离气隙转换为电能，该极板由确定空隙距离的多个纳米尖端间隔物分离。所述电容器将能量从天线耦合到热传感器。

公开(公告)号：CN101035739A

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN200580034207.X

申请日：2005-09-29

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： M·德蓬 ,  U·T·迪里希 ,  B·W·格茨曼

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  F03G7/06 ,  F03G7/065 ,  H01H2037/008

Abstract: 一种微系统，包括第一静态元件(1)，第二可移动并且独立的元件(2)，用于在所述第一和第二元件(1、2)之间产生力的致动器(3)，所述致动器(3)被设计为控制所述第一元件(1)和所述第二元件(2)之一的温度(T1、T2)。介绍了在微系统中用于相对于第一元件(1)来定位第二元件(2)的相应方法。

公开(公告)号：CN1894155A

公开(公告)日：2007-01-10

申请号：CN200480037174.X

申请日：2004-11-08

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： T·阿尔布雷克特 ,  M·卡斯特里奥塔 ,  M·德蓬 ,  M·兰茨 ,  S·奥焦尼

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81C3/002 ,  H05K3/3436 ,  H05K2201/094 ,  H05K2201/09418 ,  H05K2201/2036 ,  H05K2203/048 ,  Y02P70/613

Abstract: 本发明公开了一种方法和系统，用于在制造期间有效地自动对准MEMS的部件，和控制这些部件之间的距离。根据本发明，每个MEMS部件包括至少一个衬垫，所述衬垫对准以形成衬垫对。在优选实施例中，每个部件包括三个衬垫。两对衬垫的衬垫形状是矩形，一对相对于另一对旋转约等于90°的角，并且第三对的衬垫形状是环形。因此，衬垫对的一个允许根据第一方向对准，第二衬垫对允许根据第二方向对准，并且第三衬垫对允许旋转对准。

公开(公告)号：CN1828749A

公开(公告)日：2006-09-06

申请号：CN200610001262.5

申请日：2006-01-12

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： P·贝希托尔德 ,  J·G·贝德诺尔兹 ,  G·K·宾尼格 ,  G·凯鲁比尼 ,  E·S·埃莱夫特里乌 ,  M·德蓬

IPC: G11B9/00

CPC classification number: G11B11/007 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/1472

Abstract: 一种存储设备，包括存储介质，其用于以地形标记或磁性标记的形式存储数据。至少一个探针被安装在共用框架上，共用框架和存储介质被设计成相对于彼此移动，以产生或检测所述标记。每个探针包括面对存储介质的头(34)、读传感元件(42)、写元件(38)以及电容性平台(46)，所述平台形成第一电极、并被设计为，施加到其上的电压电势独立于用于所述读传感元件(42)的控制信号，以及施加到所述电容性平台(46)上的所述电压电势独立于用于所述写加热元件(38)的控制信号。所述设备还包括第二电极，其被设置在相对于存储介质的固定位置，并与所述第一电极、第一和第二电极之间的介质一起形成第一电容器。通过这样操作所述存储设备：根据头(34)和所述介质之间的希望距离，改变施加给电容性平台(46)电压电势，并将第二电极接地。