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公开(公告)号：CN111095105A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059342.7
申请日：2018-09-07
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用了感光化射线性或感放射线性的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，该感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有树脂(A)且用于形成膜厚为2μm以上的膜，上述树脂(A)包含具有酸性基团的重复单元及具有酸分解性基团的重复单元，上述具有酸性基团的重复单元的含量相对于上述树脂(A)中的所有重复单元为15摩尔％以上，上述具有酸分解性基团的重复单元的含量相对于上述树脂(A)中的所有重复单元大于20摩尔％，上述树脂(A)的玻璃化转变温度为145℃以下。
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公开(公告)号：CN108884568A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780018488.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够在与图案状被镀层对应的位置形成低电阻的金属层的导电性层叠体的制造方法、层叠体及导电性层叠体。本发明的导电性层叠体的制造方法具有：使用规定的被镀层形成用组合物，在基材上形成被镀层形成用层的工序；对被镀层形成用层以图案状实施曝光处理及显影处理，而形成包含线宽小于3μm的部分的图案状被镀层的工序；使用含有镀覆催化剂或其前体的碱性的镀覆催化剂赋予液，将镀覆催化剂或其前体赋予到图案状被镀层的工序；及使用含有氨基羧酸类的镀覆液，对赋予有镀覆催化剂或其前体的图案状被镀层进行镀覆处理，而在图案状被镀层上形成金属层的工序。
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公开(公告)号：CN107615404A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680027956.8
申请日：2016-05-26
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G06F3/044 , B32B5/028 , B32B15/04 , B32B15/08 , B32B2307/202 , B32B2457/208 , C23C18/1605 , C23C18/1653 , C23C18/2086 , C23C18/30 , C23C18/31 , C23C18/38 , C23C18/54 , G06F2203/04103 , G06F2203/04111 , G06F2203/04112 , H05K1/0296 , H05K3/184 , H05K2201/09245 , H05K2201/10128 , H05K2203/0557 , H05K2203/072
Abstract: 本发明提供一种具有由金属细线构成的网状金属层、金属细线的视觉辨认得到抑制、且金属层的导电特性优异的导电性薄膜、触摸面板传感器以及触摸面板。本发明的导电性薄膜具有：基板；图案状被镀覆层，以网状配置于基板上，且具有与镀覆催化剂或其前体相互作用的官能团；以及网状金属层，配置于图案状被镀覆层上，且由多个金属细线交叉而成，图案状被镀覆层的平均厚度为0.05～100μm，金属层的平均厚度为0.05～0.5μm，构成金属层的网的金属细线的交点的平均交点粗率为1.6以下。
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公开(公告)号：CN112602019B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN201980055055.3
申请日：2019-07-09
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F220/16 , G03F7/004 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂膜、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的图案形成方法及电子器件的制造方法。上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：树脂，包含源自设为均聚物时的玻璃化转变温度为50℃以下的单体的非酸分解性的重复单元和具有酸分解性基团的重复单元；及化合物，由通式(P‑1)表示。环Q1是4～6元环。其中，环Q1可以与其他环形成稠合环。作为环元素，环Q1具有至少2个碳原子，与S+直接键合的环元素的原子为碳原子。RP1～RP5分别独立地表示氢原子、羟基、卤原子、烷基、芳基、杂芳基或烷氧基。RP1～RP5中的至少2个可以键合而形成环。Z‑表示非亲核性阴离子。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN110494806B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN201880024097.6
申请日：2018-05-11
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种作为掩模而能够适用于蚀刻时，能够形成耐龟裂性及耐蚀刻性优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物为含有树脂且固体成分浓度为10质量％以上的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，上述树脂包含：以制成均聚物时的玻璃化转变温度为50℃以下的单体为来源的重复单元A；及具有酸分解性基的重复单元B，上述重复单元B的含量相对于树脂中的所有重复单元为20摩尔％以下，且上述树脂所具有的重复单元中的任一至少1种为具有芳香族环的重复单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115298613A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202180021154.7
申请日：2021-03-01
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C309/17 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种降低了颗粒的含量的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法。并且，提供一种图案形成方法及电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法包括：工序1，制备包含光产酸剂和溶剂的中间体溶液；及工序2，将上述中间体溶液与至少树脂进行混合，制备粘度为10mPa·s以上的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN114303098A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202080060658.5
申请日：2020-08-13
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：(A)通过酸的作用而极性增大的树脂；(B)光产酸剂；及阴离子(P)，其为选自由NO3‑、SO42‑、Cl‑及Br‑组成的组中的1种以上的阴离子，其中，相对于感光化射线性或感放射线性树脂组合物的总质量，上述阴离子(P)的含量为0.01ppb以上且100ppm以下。
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公开(公告)号：CN112602019A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201980055055.3
申请日：2019-07-09
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F220/16 , G03F7/004 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂膜、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的图案形成方法及电子器件的制造方法。上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：树脂，包含源自设为均聚物时的玻璃化转变温度为50℃以下的单体的非酸分解性的重复单元和具有酸分解性基团的重复单元；及化合物，由通式(P‑1)表示。环Q1是4～6元环。其中，环Q1可以与其他环形成稠合环。作为环元素，环Q1具有至少2个碳原子，与S+直接键合的环元素的原子为碳原子。RP1～RP5分别独立地表示氢原子、羟基、卤原子、烷基、芳基、杂芳基或烷氧基。RP1～RP5中的至少2个可以键合而形成环。Z‑表示非亲核性阴离子。
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公开(公告)号：CN114303098B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202080060658.5
申请日：2020-08-13
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：(A)通过酸的作用而极性增大的树脂；(B)光产酸剂；及阴离子(P)，其为选自由NO3‑、SO42‑、Cl‑及Br‑组成的组中的1种以上的阴离子，其中，相对于感光化射线性或感放射线性树脂组合物的总质量，上述阴离子(P)的含量为0.01ppb以上且100ppm以下。
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公开(公告)号：CN116847791A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202280014259.4
申请日：2022-01-17
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: A61B17/00
Abstract: 本发明提供一种能够通过已有的装置、设备使结构物的温度在短时间内上升的超声波处置器具装置及其驱动方法。超声波振子(51a、51b)发出超声波。超声波用驱动部(19)驱动超声波振子(51a、51b)，以使超声波在结构物(S)中沿着从一侧朝向另一侧的第1方向(D1)传播，且沿着与第1方向(D1)相反的第2方向(D2)传播。超声波用驱动部(19)使超声波振子(51a、51b)的频率发生变化来驱动超声波振子(51a、51b)，以使流过超声波振子(51a、51b)的电流值成为极大电流值。
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