配线电路基板的制造方法

    公开(公告)号:CN107567177A

    公开(公告)日:2018-01-09

    申请号:CN201710526969.6

    申请日:2017-06-30

    摘要: 本发明提供一种配线电路基板的制造方法,包括:设置绝缘层的工序1;设置金属薄膜的工序2;设置光致抗蚀剂的工序3;配置光掩模并隔着光掩模对光致抗蚀剂进行曝光的工序4;将光致抗蚀剂的第1曝光部分和第2曝光部分去除的工序5;在金属薄膜的表面设置第1配线和第2配线的工序6。在工序4中,在假定为在金属薄膜处反射的反射光聚光于光致抗蚀剂中的位于第1曝光部分和第2曝光部分之间的部分的情况下,斜面具有光致抗蚀剂中的因聚光而要在工序5中去除的部分与第1曝光部分以及第2曝光部分连续的方式俯视时向一方向弯曲的弯曲部。第2曝光部分在俯视时连续地具有回避弯曲部的回避部和与斜面中的除了弯曲部以外的至少一部分重叠的重叠部。

    曝光装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105474104A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201480046673.9

    申请日:2014-08-18

    IPC分类号: G03F9/00 H01L21/027 H05K3/00

    摘要: 提供一种曝光装置,即便是设于工件的背面的对准标记,也能可靠地使其与掩模对准标记对位,并能高精度地将掩模图案曝光于工件上。本发明的曝光装置包括:掩模(13),该掩模(13)设有掩模对准标记(131);掩模保持件(12),该掩模保持件(12)对掩模(13)进行保持;平台(15),该平台(15)对工件(14)进行装设并加以固定,该工件(14)在面(145)上具有工件对准标记(141),该面(145)是设有掩模对准标记(131)的面(135)所面对的面的相反一侧的面。平台(15)包括光学零件,当对装设的工件(14)的工件对准标记(141)进行摄像时,该光学零件使光在内部奇数次反射,以在比工件(14)的尺寸靠外侧的位置形成像,平台驱动装置根据通过该光学零件形成的像将掩模对准标记(131)和工件对准标记(141)对位。