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公开(公告)号:CN101064500B
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200710107701.5
申请日:2007-04-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种滤波器和双工器,该滤波器包括:压电薄膜谐振器,所述压电薄膜谐振器具有基板、由所述基板支承的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜、以及设在所述压电膜上的上部电极。所述压电薄膜谐振器中的至少一个压电薄膜谐振器具有其中所述上部电极隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。上述部分的形状与其他压电薄膜谐振器的相应部分的形状不同,从而所述压电薄膜谐振器中的上述至少一个压电薄膜谐振器中的寄生成分在与所述其他压电薄膜谐振器中出现寄生成分的频率不同的频率处出现。
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公开(公告)号:CN100576734C
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200610137474.6
申请日:2006-10-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供了压电薄膜谐振器及滤波器。该压电薄膜谐振器包括构建于基板上的下电极,在该下电极和基板之间限定了圆形穹状空腔;设置于下电极之上的压电膜,以及设置于压电膜上的上电极。隔膜区域是下电极和上电极隔着压电膜的交叠区域,空腔在所述基板上的投影区域包含了该隔膜区域。
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公开(公告)号:CN100557969C
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN200710107742.4
申请日:2007-04-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种压电薄膜谐振器和采用该压电薄膜谐振器的滤波器。该压电薄膜谐振器包括基板、设在所述基板上的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜以及上部电极,该上部电极设在所述压电膜上,以便具有隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。所述压电膜在谐振部分中的外端比其中所述上部电极和所述下部隔着所述压电膜彼此交叠的相对区域的外端更靠内,并且所述谐振部分是其中所述上部电极和所述下部电极隔着所述压电膜彼此交叠的部分。
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公开(公告)号:CN101309074A
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200810096545.1
申请日:2008-05-16
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/0211 , H03H9/02133 , H03H9/132 , H03H9/173
Abstract: 本发明提供压电薄膜谐振器和滤波器。压电薄膜谐振器包括:在基板上形成的下部电极;在该基板和该下部电极上形成的压电膜;在该压电膜上形成的上部电极,该压电膜的一部分插在相互面对的该下部电极和该上部电极之间;以及附加膜,该附加膜形成在该基板上,在该下部电极的外周的至少一部分上,并且位于该下部电极和该上部电极相互面对的部分,该附加膜沿着该下部电极布置。
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公开(公告)号:CN101166020A
公开(公告)日:2008-04-23
申请号:CN200710181952.8
申请日:2007-10-17
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/205 , H03H3/00 , H03H3/0073 , H03H3/04 , H03H9/0211 , H03H9/02118 , H03H9/02133 , H03H9/02149 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/15 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/178 , H03H9/54 , H03H9/568 , H03H9/587 , H03H9/588 , H03H9/605 , H03H9/6483 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/0414 , H03H2003/0471 , Y10T29/42 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/49124 , Y10T29/49208 , Y10T29/49224
Abstract: 本发明提供了一种梯型滤波器。该梯型滤波器包括:串联谐振器,该串联谐振器具有第一层叠膜,在该第一层叠膜中,上部电极和下部电极隔着压电膜而彼此面对,并且在该第一层叠膜上设有第一膜;以及并联谐振器,该并联谐振器具有第二层叠膜,该第二层叠膜具有与所述第一层叠膜相似的结构,在该第二层叠膜上设有第二膜以及与所述第一膜相同的另一第一膜。
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公开(公告)号:CN1956324A
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200610137474.6
申请日:2006-10-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供了压电薄膜谐振器及滤波器。该压电薄膜谐振器包括构建于基板上的下电极,在该下电极和基板之间限定了圆形穹状空腔;设置于下电极之上的压电膜,以及设置于压电膜上的上电极。隔膜区域是下电极和上电极隔着压电膜的交叠区域,空腔在所述基板上的投影区域包含了该隔膜区域。
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公开(公告)号:CN1862959A
公开(公告)日:2006-11-15
申请号:CN200610080180.4
申请日:2006-05-10
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 一种压电薄膜谐振器,包括:形成于衬底上的下电极,形成于所述下电极上的压电膜,以及形成于所述压电膜上的上电极。在所述的压电薄膜谐振器中,所述上电极具有比下电极更厚的膜厚。
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公开(公告)号:CN101785183A
公开(公告)日:2010-07-21
申请号:CN200780100338.2
申请日:2007-11-21
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H9/174 , H03H9/588 , H03H9/605 , H03H2003/0428
Abstract: 本发明提供低损耗高性能的滤波器、使用该滤波器的双工器及使用该双工器的通信机。该滤波器具有:串联臂压电薄膜谐振器,其配置在串联臂上;以及并联臂压电薄膜谐振器,其配置在并联臂上,串联臂压电薄膜谐振器和并联臂压电薄膜谐振器分别具有基板(21)、形成于基板(21)上的下部电极(22)、形成于下部电极(22)上的压电膜(23)、和形成于压电膜(23)上的上部电极(24)。串联臂压电薄膜谐振器的谐振部(29)的长轴的长度(A)相对于短轴长度(B)的比(A/B)高于并联臂压电薄膜谐振器中的比。
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公开(公告)号:CN101741343A
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200910168371.X
申请日:2009-08-31
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
Abstract: 本发明涉及谐振器、滤波器、以及电子装置。该谐振器包括:基板;下电极;压电薄膜,设置在所述下电极上;以及上电极,设置在所述压电薄膜上。所述下电极包括设置在所述基板上的第一薄膜、以及设置在第一薄膜上并且比重大于第一薄膜的比重的第二薄膜。所述压电薄膜设置在第二薄膜上。所述上电极包括设置在所述压电薄膜上的第三薄膜、以及设置在第三薄膜上的第四薄膜,第三薄膜的比重大于第四薄膜的比重。第三薄膜比第二薄膜厚。
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公开(公告)号:CN100594675C
公开(公告)日:2010-03-17
申请号:CN200510105173.0
申请日:2005-09-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/54
CPC classification number: H03H9/564 , H03H7/18 , H03H7/46 , H03H9/0571 , H03H9/706
Abstract: 本发明提供了具有改进特性的紧凑双工器。双工器包括:第一和第二滤波器,包括按梯型形式布置的多个膜体声学谐振器;第一和第二集成无源器件,置于公共端子与第一和第二滤波器之间;以及基板,第一和第二滤波器以及第一和第二集成无源器件安装在其上。该基板包括用于实现连接在第一和第二滤波器与地之间的电感的导电图案。第一和第二集成无源器件包括连接到第一和第二滤波器的电感器。
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