体声波谐振器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108964628A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810001918.6

    申请日:2018-01-02

    IPC分类号: H03H9/02 H03H9/17

    摘要: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括具有第一过孔和第二过孔的基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极和与所述下电极连接构件分开的上电极连接构件。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。所述下电极连接构件将所述下电极电连接到所述第一过孔并支撑所述谐振部的第一边缘部。所述上电极连接构件将所述上电极电连接到所述第二过孔并支撑所述谐振部的第二边缘部。所述上电极连接构件和所述下电极连接构件中的任意一者或两者包括连接到设置在所述谐振部下方的所述第一过孔和所述第二过孔中的相应的一个的相应的延伸部。

    压电振动片及压电装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107026632A

    公开(公告)日:2017-08-08

    申请号:CN201611196508.9

    申请日:2016-12-22

    IPC分类号: H03H9/13

    摘要: 本发明提供一种压电振动片与压电装置。本发明的压电振动片包括:振动片本体,具有振动部;以及至少一对激振电极,分别形成于振动部的表面及背面。振动片本体为2次旋转晶体振动片。所述一对激振电极在由以+X″轴方向为基准而以Y″轴为中心逆时针地旋转了260°~300°所得的X″′轴而规定的Z″′轴方向上排列,且相对于Y″轴方向倾斜地配置。所述一对激振电极各自形成为具有沿X″′轴方向延伸的直线部分的半圆状,并且彼此以直线部分重叠的状态配置。在激振电极的直线部分具有朝向所述激振电极的端部而厚度逐渐变薄的倾斜部。

    压电薄膜共振器、滤波器和双工器

    公开(公告)号:CN104639087A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201410643401.9

    申请日:2014-11-06

    IPC分类号: H03H9/15 H03H3/02

    摘要: 本发明涉及压电薄膜共振器、滤波器和双工器。该压电薄膜共振器包括:压电膜,该压电膜设置在基板上;下电极和上电极,所述下电极和上电极夹着压电膜的至少一部分并且彼此面对;以及插入膜,该插入膜插入在压电膜中并且设置在共振区域的外周区域中并且不设置在共振区域的中心区域中,其中:在共振区域中下电极的边缘面与下电极的下表面之间的角是锐角;并且在用于从共振区域引出上电极的一侧、插入膜在共振区域中的宽度大于在用于从共振区域引出下电极的一侧、插入膜在共振区域中的另一宽度。

    压电振动片、压电振子以及加速度传感器

    公开(公告)号:CN102386881A

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN201110325459.5

    申请日:2008-10-30

    发明人: 菊岛正幸

    摘要: 本发明提供他轴灵敏度降低了的压电振动片、安装有该压电振动片的压电振子以及加速度传感器。该压电振动片由Z切割压电基板形成,具有:弯曲振动的振动臂;基部,其固定所述振动臂的纵长方向的一端侧而将所述振动臂以悬臂状态支撑,所述振动臂的纵长方向的另一端侧为自由端,所述压电振动片具有在所述振动臂的+Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第一槽、和在所述振动臂的-Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第二槽,所述第一槽的所述基部侧的端比所述第二槽的所述基部侧的端靠近所述基部侧,所述第二槽的所述基部侧的端比所述第一槽的所述自由端侧的端靠近所述基部侧。

    压电谐振器及其制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101111995A

    公开(公告)日:2008-01-23

    申请号:CN200680003381.2

    申请日:2006-01-25

    IPC分类号: H03H9/17 H01L41/09

    摘要: [目的]为了减小由频率常数中的变化导致的频率偏差,并在压电基板的频率常数具有梯度时抑制非必要振动。[解决手段]压电谐振器包括具有形成于基板(1a)的两个主表面上的振动电极(4,5),以便使它们彼此相对并且在两个振动电极之间生成陷获振动。压电基板(1a)具有固定厚度,其频率常数在平面方向上具有梯度,并且振动电极(4,5)被形成为在薄膜厚度中具有梯度,从而薄膜厚度向着其中压电基板的频率常数增加的方向递增。通过在振动电极的薄膜厚度中提供梯度,有可能抑制带内非必要振动并减小频率偏差。