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公开(公告)号:CN1855711A
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:CN200610078162.2
申请日:2006-04-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/0428 , H03H2003/0457
Abstract: 压电薄膜谐振器和具有其的滤波器。压电薄膜谐振器包括置于基板上的下电极、置于下电极上的压电薄膜,以及置于压电薄膜上的上电极。由其中上电极和下电极相互交叠以把压电薄膜夹在其间的区域来限定一隔膜区域,并且该隔膜区域具有椭圆形状,并且,下电极还被设置到其中未设有上电极的引出电极和下电极的引出电极的区域中的隔膜区域的外侧。
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公开(公告)号:CN1767380A
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200510117007.2
申请日:2005-10-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02149 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H2003/0428
Abstract: 压电薄膜谐振器及使用该压电薄膜谐振器的滤波器。一种压电薄膜谐振器,其包括:基板;形成在该基板上的下电极;形成在该下电极和基板上的压电薄膜;以及形成在该压电薄膜上的上电极,该压电薄膜部分地插入在彼此相对的下电极和上电极之间。在这种压电薄膜谐振器中,插入在该上电极和下电极之间的压电薄膜的外部周边的至少一部分与由彼此相对的上电极和下电极形成的区域的外部周边相交叠。
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公开(公告)号:CN1716768A
公开(公告)日:2006-01-04
申请号:CN200510076089.0
申请日:2005-05-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器,其包括:器件基板;以及层状体,设置在所述器件基板上,并由下电极、上电极,以及夹在该上电极和下电极之间的压电膜构成。该层状体具有膜部分,其中所述上电极通过所述压电膜与所述下电极彼此重叠,在所述器件基板和所述下电极之间形成穹顶形的间隙,并且该间隙位于该膜部分的下方。
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公开(公告)号:CN1677852A
公开(公告)日:2005-10-05
申请号:CN200510063776.9
申请日:2005-03-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/02094 , H03H9/02149 , H03H9/174 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023 , H03H2003/0428
Abstract: 谐振器、滤波器以及谐振器的制造。该谐振器包括:设置在基板主表面上的压电薄膜;设置在压电薄膜的第一表面上的第一电极膜;设置在压电薄膜第二表面上的第二电极膜;设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜其中之一上的频率调整膜;所述频率调整膜包括膜叠层,该膜叠层包括设置在第一电极膜和第二电极膜其中之一上的第一调整膜,以及设置在第一调整膜上的第二调整膜。第一调整膜用于Δf调整,第二调整膜用于校正滤波器制造工艺中生成的频率偏移。由此,可以准确地控制其中连接有多个谐振器的滤波器的中心频率。
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公开(公告)号:CN1495997A
公开(公告)日:2004-05-12
申请号:CN03125577.9
申请日:2003-09-19
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0547 , H03H9/0523 , H03H9/564 , H03H9/568
Abstract: 本发明公开了一种滤波器器件,该滤波器器件包括:滤波器元件,具有布置在串联支路和并联支路内的压电薄膜谐振器;以及封装,用于容纳处于面朝下状态下的滤波器元件。在该滤波器器件中,通过凸起把滤波器元件和封装互相电连接到一起。该封装包括在其上形成凸起的第一焊盘部分以及用于将第一焊盘部分电连接到外部的传输通路。该滤波器元件包括通过凸起电连接到第一焊盘部分的第二焊盘部分,以及用于将第二焊盘部分电连接到压电薄膜谐振器并将各压电薄膜谐振器互相电连接到一起的布线部分。在这种结构中,由传输通路形成的电感串联到压电薄膜谐振器。
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公开(公告)号:CN100511991C
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN200610000593.7
申请日:2006-01-11
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H2003/021
Abstract: 压电薄膜谐振器以及使用该压电薄膜谐振器的滤波器。压电薄膜谐振器包括形成在器件基板上的膜叠层,所述膜叠层包括下电极、设置在器件基板和下电极上的压电膜、以及设置在压电膜上的上电极。上电极和下电极具有从上电极隔着压电膜与下电极交叠处的隔膜延伸的电极引出部分,上电极和下电极的电极引出部分中的至少一个的宽度比该隔膜的宽度窄。
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公开(公告)号:CN101064499A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200710107742.4
申请日:2007-04-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 本发明提供了一种压电薄膜谐振器和采用该压电薄膜谐振器的滤波器。该压电薄膜谐振器包括基板、设在所述基板上的下部电极、设在所述下部电极上的压电膜以及上部电极,该上部电极设在所述压电膜上,从而具有隔着所述压电膜与所述下部电极交叠的部分。所述压电膜的外端的至少一部分比其中所述上部电极和所述下部隔着所述压电膜彼此交叠的相对区域的外端更靠内。
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公开(公告)号:CN1503451A
公开(公告)日:2004-06-09
申请号:CN200310113761.X
申请日:2003-11-21
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/564 , H03H9/0095 , H03H9/1014 , H03H9/568
Abstract: 一种滤波器元件以及包含它的滤波器器件、双工器和高频电路,该滤波器元件包含位于电路的串联支路和并联支路中的多个谐振器。在该滤波器元件中,至少一个串联支路谐振器包含多个并联的单端双压电薄膜谐振器。
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公开(公告)号:CN101785183A
公开(公告)日:2010-07-21
申请号:CN200780100338.2
申请日:2007-11-21
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H9/174 , H03H9/588 , H03H9/605 , H03H2003/0428
Abstract: 本发明提供低损耗高性能的滤波器、使用该滤波器的双工器及使用该双工器的通信机。该滤波器具有:串联臂压电薄膜谐振器,其配置在串联臂上;以及并联臂压电薄膜谐振器,其配置在并联臂上,串联臂压电薄膜谐振器和并联臂压电薄膜谐振器分别具有基板(21)、形成于基板(21)上的下部电极(22)、形成于下部电极(22)上的压电膜(23)、和形成于压电膜(23)上的上部电极(24)。串联臂压电薄膜谐振器的谐振部(29)的长轴的长度(A)相对于短轴长度(B)的比(A/B)高于并联臂压电薄膜谐振器中的比。
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公开(公告)号:CN101741343A
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200910168371.X
申请日:2009-08-31
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
Abstract: 本发明涉及谐振器、滤波器、以及电子装置。该谐振器包括:基板;下电极;压电薄膜,设置在所述下电极上;以及上电极,设置在所述压电薄膜上。所述下电极包括设置在所述基板上的第一薄膜、以及设置在第一薄膜上并且比重大于第一薄膜的比重的第二薄膜。所述压电薄膜设置在第二薄膜上。所述上电极包括设置在所述压电薄膜上的第三薄膜、以及设置在第三薄膜上的第四薄膜,第三薄膜的比重大于第四薄膜的比重。第三薄膜比第二薄膜厚。
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