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公开(公告)号：CN117822103A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311821097.8
申请日：2023-12-27
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明属于半导体光电材料生产设备技术领域，尤其涉及一种优化的HVPE‑GaN镓舟反应器及GaN晶体生长方法。本发明所述反应器包括镓舟组，镓舟组内部设置有GaCl载气输送管道，镓舟组内部包括三个主要腔室：HCl气体分配腔、GaCl气体反应腔以及GaCl气体输送腔；HCl进气口与HCl气体分配腔连通，GaCl气体输送腔通过GaCl载气输送管道上的GaCl进气口与GaCl出气口连通；GaCl气体反应腔分别与HCl气体分配腔、GaCl气体输送腔连通，GaCl气体反应腔以及GaCl气体输送腔连通的底部为镓液区。通过提高镓舟内HCl气体的利用效率，降低反应腔中额外的HCl气体，提高生长的GaN晶体质量，延长设备使用寿命，保障工作人员身体健康和环境质量。
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公开(公告)号：CN113628960B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202110855731.4
申请日：2021-07-28
Applicant: 山东大学
IPC: H01L21/268 , H01L21/67 , H01L21/02
Abstract: 本发明提供一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法，包括固定加热炉和括激光器、光束整形器、振镜系统和成像设备，固定加热炉用于固定、加热待剥离样品，激光器发出的激光依次经过光束整形器、振镜系统照射到待剥离样品上，待剥离样品反射的照明光成像至成像设备上，实现剥离过程的实时监察。本发明的装置固定加热炉用于控制剥离的温度，缓解由激光照射与非照射区域温差引起的应力，提高完整剥离整片GaN单晶衬底的良率，可通过调整激光能量、光斑直径、剥离温度、扫描速度与扫描路径等参数调整剥离工艺，通过显微成像系统实现剥离过程的实时观察，可随时反馈剥离情况，调整剥离工艺，实现完整GaN单晶衬底的剥离。
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公开(公告)号：CN117415681A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311488693.9
申请日：2023-11-09
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种小尺寸氮化铝晶片的抛光方法。所述抛光方法中，当待加工的小尺寸氮化铝晶片少于3时，采用蓝宝石或碳化硅作为辅片，同小尺寸氮化铝晶片一起置于陶瓷盘上进行抛光；对于直径为4英寸的陶瓷盘，所述待加工晶片的表面总面积为11.4‑45.6cm2，对应直径为1.5英寸‑3英寸的圆面积，此时对应抛光压力为300g/cm2～700g/cm2，大盘的转速为40rpm～70rpm。本发明的方法用于尺寸小于一英寸的晶片的抛光，解决了小尺寸晶片在抛光过程中因尺寸较小易导致夹具倾斜造成晶面TTV难控制以及去除量难以控制的问题；同时用于多个小尺寸晶片的同时抛光，显著提高多个晶片的抛光效率；加工出的晶片完整度高，大大减少压裂现象的发生。
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公开(公告)号：CN117195062A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202310630468.8
申请日：2023-05-29
Applicant: 山东大学
IPC: G06F18/241 , G06F18/214 , G06N3/045 , G06N3/0475 , G06N3/094 , G06N3/096 , G01M13/045
Abstract: 本发明提供了一种基于平衡混合对抗和平滑抑制标签的故障迁移诊断方法，获取滚动轴承的振动信号；根据获取的振动信号，结合优化后的平衡混合对抗分布和平滑抑制标签细化网络，得到故障诊断结果；其中，平衡混合对抗分布和平滑抑制标签细化网络的优化中，目标域数据集的故障种类为源域数据集的子集；采用源域样本特征增强目标域样本特征，对源域和目标域中的数据特征分别进行域内混合，在目标域的软伪标签的基础上，结合补充熵对不确定性预测进行均衡抑制；本发明缓解了自适应网络任务中源域和目标域数据具有相同的标签空间的限制。
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公开(公告)号：CN117005031A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310997952.4
申请日：2023-08-09
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种氮化铝生长技术领域，具体涉及一种在AlN单晶生长过程中抑制籽晶上生长纳米线的方法。为了解决生长过程易产生纳米线的问题，本发明提供了最佳的抑制纳米线的条件，首先料高需要补充足，料高的高度需要维持在坩埚高度的5/12‑7/12；此外，加快坩埚内中间升温段升温速率，即加快生长前期AlN蒸气的升华速率，使得坩埚顶部上方籽晶面处Al蒸气分压快速达到过饱和态，从而抑制AlN纳米线的产生。本发明的方法对纳米线的抑制效果极为显著，生长得到的AlN晶锭主要沿籽晶面进行生长，能够减少AlN多晶的产生，在一定程度上解决了AlN晶体不能沿籽晶生长的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115052297B
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202210619423.6
申请日：2022-06-01
Applicant: 山东大学
Abstract: 一种用于地海通信网络的功率分配及中继设计方法,属无线通信领域。该方法以近海中继通信以及海岸车联网为研究对象，通过中继设计以及对车辆链路发送功率进行分配，实现车辆链路满足低时延要求和中继节点满足能量效率要求。该方法由李雅普诺夫优化定理以及连续凸近似算法来实现，李雅普诺夫优化定理保证车联网的低时延要求，并使用连续凸近似算法来解决功率分配和中继设计问题。该方法对降低海洋中继通信的中继能量消耗、提高海岸车辆行驶的安全性有重要意义。
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公开(公告)号：CN116718381A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310630710.1
申请日：2023-05-29
Applicant: 山东大学
IPC: G01M13/045 , G06F18/00 , G06F18/10 , G06F123/02
Abstract: 本发明提供了一种基于模型不可知元学习的轴承跨域故障诊断方法，对预处理后的轴承振动信号，根据采用源域数据训练的自适应阈值网络，确定轴承振动信号的噪声阈值，得到去除噪声后的轴承振动信号；根据去除噪声后的轴承振动信号，以及采用源域训练的模型不可知元学习轴承跨域故障诊断模型的内循环网络和外循环网络，得到最终轴承故障诊断结果；本发明采用自适应阈值获取网络自适应生成信号阈值，不需要专家知识，配合改进的阈值函数可以直接滤除干扰，结合基于模型不可知元学习网络，提高了故障诊断的精确度。
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公开(公告)号：CN116522089A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310483173.2
申请日：2023-04-24
Applicant: 山东大学
IPC: G06F18/20 , G01N29/44 , G06F18/214 , G06N3/0475 , G06N3/045 , G06N3/0442 , G06N3/08 , G06N3/084
Abstract: 本发明提出了一种金属结构早期疲劳裂纹与剩余寿命预测方法及系统，包括：基于多维非线性超声响应特征，建立典型厚度试件的疲劳裂纹损伤实测样本；生成与实测样本分布特征高度一致的疲劳损伤虚拟样本，进行损伤实测样本数据扩充；对虚拟样本进行疲劳参数标定，结合疲劳裂纹损伤实测样本，构建疲劳裂纹损伤样本库；基于疲劳裂纹损伤样本库，建立智能预测模型，用于量化评估试件疲劳裂纹扩展长度与剩余使用寿命。
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公开(公告)号：CN116230413A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211660156.3
申请日：2022-12-23
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明属于半导体器件技术领域，涉及一种氮化镓/金属氧化物复合材料及制备方法和应用。本发明首先将GaN单晶晶片进行腐蚀，得到多孔GaN单晶薄膜；然后将所述单晶薄膜浸泡于金属盐水溶液中，经水热反应、烧结得到氮化镓/金属氧化物复合电极材料；将电极材料与导电剂、粘结剂混合研磨，加入N‑甲基吡咯烷酮制得浆料，再将浆料涂覆在集流体上，即得用于组装超级电容器的工作电极。本发明的氮化镓/金属氧化物复合电极材料具有较大的比表面积和丰富的活性位点，有利于在化学储能过程中促进电解液的吸附和充分反应，并减少电极材料在大电流冲击下的体积膨胀和材料结构的坍塌；所得超级电容器具有较大的能量密度、可观的比容量和优异的倍率性能且具有超长的循环寿命。
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