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公开(公告)号:CN116904925A
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202310906009.8
申请日:2023-07-21
申请人: 广东省科学院新材料研究所
摘要: 本发明公开了一种高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜及其制备方法与应用,属于表面处理技术领域。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜包括用于在基底表面依次设置的Cr打底层、CrxSiyCz梯度过渡层以及Si‑DLC功能层,该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜具有较高的硬度和弹性模量。其可在高温摩擦过程中,于摩擦副处原位形成由非晶碳和SiOx组成的致密转移膜,有效降低涂层和摩擦副之间的摩擦系数,在高温大气环境下实现宏观尺度上的稳定超滑,有望将超滑技术推向工业应用。该高温超润滑硅掺杂类金刚石碳膜的制备具有设备简单、沉积温度低、工艺成熟、成膜均匀、重复性好等特点,极大拓宽了碳基薄膜潜在的应用场景。
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公开(公告)号:CN116247034A
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN202310358315.2
申请日:2023-04-04
申请人: 广东省科学院新材料研究所
IPC分类号: H01L23/538 , H01L21/768 , H01L21/285
摘要: 本发明公开了一种铜互连结构体系及其制备方法与电子元器件,属于集成电路制造及先进封装技术领域。该铜互连结构体系包括设置于衬底表面的介电层以及设置于介电层表面的铜基合金薄膜,铜基合金薄膜与介电层之间形成有扩散阻挡层互连结构;铜基合金薄膜中掺杂有掺杂元素;掺杂元素包括易形成氧化物自钝化层的金属以及难熔金属,且掺杂元素与铜之间不形成金属间化合物;掺杂元素在铜基合金薄膜中的掺杂量为0.1‑3at.%。该铜互连结构体系具有较高的热稳定性和可靠性,且能够保持较低的薄膜电阻率,不仅有利于降低电路功耗,而且还有利于延长电路使用寿命,对于集成电路性能的提高有着重要的指导意义。
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公开(公告)号:CN114994998B
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN202210781539.X
申请日:2022-07-04
申请人: 广东省科学院新材料研究所
IPC分类号: G02F1/1523 , G02F1/1524 , G02F1/155 , G02F1/153 , G02F1/1506 , C23C14/35 , C23C14/08 , C23C14/10 , C23C14/06
摘要: 本发明公开了一种无机全固态电致变色器件及其制备方法,属于变色器件技术领域。该无机全固态电致变色器件具有相邻设置的离子传导层和离子储存层;离子传导层为单物质层或复合物层;单物质层中的物质为Al2O3、ZrO2、SiO2、Al2SiO5或AlSiON,复合物层中的复合物选自Al2O3、Al2SiO5和AlSiON独立地与LiPON、LiTaO3或LiNbO3复合后的复合物;离子储存层含有WO3、NiO、TiO2、V2O5、MoO3、AlxWO3等中的至少一种。该器件具有高光学调制幅度、快速转换时间、优越的着色效率以及良好的循环性能等优点。其制备方法简单,适用于工业生产。
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公开(公告)号:CN115896736A
公开(公告)日:2023-04-04
申请号:CN202211432194.3
申请日:2022-11-16
申请人: 广东省科学院新材料研究所
摘要: 本发明公开了一种金刚石涂层微细钻头及其制备方法与应用,属于微细钻头技术领域。该方法包括:在沉积金刚石涂层之前,将微细钻头进行化学预处理;微细钻头的直径为0.35‑0.75mm,晶粒度为0.3‑1.0μm,含钴量为4‑8wt%;化学预处理包括第一次酸刻蚀、碱刻蚀及第二次酸刻蚀;酸刻蚀液包括体积比为1:2‑4:10‑15的硝酸、盐酸和水;碱刻蚀液包括体积比为1:1:10的铁氰化钾、硝酸钾和水;三次刻蚀时间分别为10‑30s、2‑6min和10‑50s。该方法可显著降低化学预处理对微细钻头断裂强度及对金刚石涂层制备效果的影响,Co去除效果好,刻蚀效率高,所得的微细钻头可用于线路板加工。
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公开(公告)号:CN117684120A
公开(公告)日:2024-03-12
申请号:CN202311782930.2
申请日:2023-12-22
申请人: 广东省科学院新材料研究所
摘要: 本发明公开了一种不锈钢表面复合渗层及其制备方法和应用,该不锈钢表面复合渗层包括表面CrN+Cr2N层以及氮化奥氏体扩散层。本发明以梯度离子渗氮处理结合渗铬处理,获得了一种新的不锈钢表面复合渗层,与传统的渗氮后渗铬方法相比,本发明的复合渗层具有完整致密的CrN+Cr2N层与氮化奥氏体扩散层的梯度渗层结构,渗层耐腐蚀性能和耐磨性能更优良,渗层与基体结合强度高,韧性好。同时本发明的复合渗层的制备方法操作简单,渗速快,可制备大厚度渗层,并且可在复杂工件表面实现均匀渗层,适合规模化生产,可广泛应用在不锈钢工模具、海洋平台、核能、燃料电池、高端装备运动部件等领域。
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公开(公告)号:CN117512515A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202311509134.1
申请日:2023-11-13
申请人: 广东省科学院新材料研究所
IPC分类号: C23C14/16 , C23C14/06 , C23C14/35 , C23C14/32 , H01M8/0228
摘要: 本发明公开了一种导电耐蚀的复合涂层及其制备方法与应用,属于材料技术领域。该复合涂层包括在基体表面由内至外依次设置的第一含Ti涂层、Ti‑C涂层及功能表层;功能表层包括交替设置的第二含Ti涂层和ta‑C涂层。第二含Ti涂层可在酸性高电位环境中形成稳定的钝化层,ta‑C涂层具有较高的sp3含量、高致密度以及石墨微粒,有利于提高涂层的耐腐蚀性能,同时保证涂层的导电性能。打底层和过渡层作为缓冲残余内应力的缓冲层,能够使功能表层有效地结合在基体表面,提高涂层与基体的结合强度。将该涂层材料用于燃料电池金属双极板表面,可有效阻隔金属双极板与腐蚀液的接触,提高燃料电池中金属双极板的使用寿命。
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公开(公告)号:CN115341191A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202211114045.2
申请日:2022-09-14
申请人: 广东省科学院新材料研究所
摘要: 本发明涉及涂层的制备技术领域,公开了表面具石墨烯涂层的材料及其涂层的制备方法以及耐磨件。涂层的制备方法,包括:在金属基材表面形成一层含催化剂层;利用热丝化学气相沉积法向反应腔室内通入有机气体和氢气,利用热丝产生的热源分解有机气体,在氢气的辅助下使反应腔室中裂解的碳原子吸附到含催化剂层表面形成自润滑石墨烯涂层。表面具石墨烯涂层的材料,采用上述的制备方法在金属基材表面形成自润滑石墨烯涂层。耐磨件,采用上述的材料制备而成,或采用上述制备方法在基材表面制得石墨烯涂层而得到。本申请提供的涂层的制备方法,能制得润滑性能好的石墨烯涂层,该方法实用性广。
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公开(公告)号:CN114994998A
公开(公告)日:2022-09-02
申请号:CN202210781539.X
申请日:2022-07-04
申请人: 广东省科学院新材料研究所
IPC分类号: G02F1/1523 , G02F1/1524 , G02F1/155 , G02F1/153 , G02F1/1506 , C23C14/35 , C23C14/08 , C23C14/10 , C23C14/06
摘要: 本发明公开了一种无机全固态电致变色器件及其制备方法,属于变色器件技术领域。该无机全固态电致变色器件具有相邻设置的离子传导层和离子储存层;离子传导层为单物质层或复合物层;单物质层中的物质为Al2O3、ZrO2、SiO2、Al2SiO5或AlSiON,复合物层中的复合物选自Al2O3、Al2SiO5和AlSiON独立地与LiPON、LiTaO3或LiNbO3复合后的复合物;离子储存层含有WO3、NiO、TiO2、V2O5、MoO3、AlxWO3等中的至少一种。该器件具有高光学调制幅度、快速转换时间、优越的着色效率以及良好的循环性能等优点。其制备方法简单,适用于工业生产。
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公开(公告)号:CN112125704A
公开(公告)日:2020-12-25
申请号:CN202011011695.5
申请日:2020-09-23
申请人: 广东省科学院新材料研究所
摘要: 本发明公开了一种具有稀土改性磷酸镧涂层的碳化硅纤维材料及其制备方法和应用,该碳化硅纤维材料的制备方法包括:在碳化硅纤维表面沉积稀土改性磷酸镧涂层,再将沉积有稀土改性磷酸镧涂层的碳化硅纤维进行烧结处理。该稀土改性磷酸镧涂层中的稀土元素可减少高温还原的气氛下LaPO4与SiC发生反应,进而克服了现有的具有LaPO4涂层的碳化硅纤维在高温还原气氛下退化性能降低的问题,扩展了LaPO4涂层在非氧化陶瓷基复合材料体系中的应用,使得含有该碳化硅纤维的陶瓷基复合材料能够在航空航天等领域具有广泛的应用前景。
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