一种激光干涉仪准直装置和方法

    公开(公告)号:CN116661163B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202310935287.6

    申请日:2023-07-28

    摘要: 本发明涉及激光干涉仪调整技术领域,特别是涉及一种激光干涉仪准直装置和方法,所述准直装置包括反射镜工装以及激光发生器辅助板;反射镜工装包括连接件、安装板以及两组检测装置;安装板底部还设有Z轴反射镜,Z轴反射镜下安装有折光镜连接件用于将反射镜工装安装在机床主轴上;每组检测装置都包括反射镜和激光笔;激光发生器辅助板用于安装激光发生器,激光发生器辅助板上还设置有标靶,安装后的激光发生器的光线发射孔与标靶的距离恒定,且该距离与同组检测装置中的激光笔和反射镜之间的(56)对比文件KR 20120063780 A,2012.06.18CN 107270837 A,2017.10.20司立坤.激光干涉仪测量机床精度的准直调节技巧《. 实验室科学 》.2018,第21卷(第05期),72-74+78.宋嘎.基于镜组准直的激光干涉仪快速对光方法研究《.制造技术与机床》.2019,第2019卷(第06期),150-153.

    一种激光干涉仪准直装置和方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116661163A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310935287.6

    申请日:2023-07-28

    摘要: 本发明涉及激光干涉仪调整技术领域,特别是涉及一种激光干涉仪准直装置和方法,所述准直装置包括反射镜工装以及激光发生器辅助板;反射镜工装包括连接件、安装板以及两组检测装置;安装板底部还设有Z轴反射镜,Z轴反射镜下安装有折光镜连接件用于将反射镜工装安装在机床主轴上;每组检测装置都包括反射镜和激光笔;激光发生器辅助板用于安装激光发生器,激光发生器辅助板上还设置有标靶,安装后的激光发生器的光线发射孔与标靶的距离恒定,且该距离与同组检测装置中的激光笔和反射镜之间的间距相等。通过本装置和方法,解决了激光干涉仪光路准直耗时耗力和效率低下的问题。