多晶硅还原炉电极绝缘组件

    公开(公告)号:CN210393746U

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201920928156.4

    申请日:2019-06-19

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极绝缘组件,包括:第一密封件,设置于底盘与电极之间,第一密封件用于对电极进行密封,防止多晶硅还原炉内的物料与电极接触;第二密封件,设置于第一密封件与电极之间,且第一密封件位于第二密封件的外围,第二密封件用于对电极进一步密封,防止多晶硅还原炉内的物料与电极接触;第一绝缘件,设置于底盘与电极之间,第一绝缘件用于底盘与电极之间绝缘,至少部分第一绝缘件包覆于第一密封件与第二密封件外。上述绝缘组件,不仅提高了电极与底盘的绝缘性能,还具有良好的密封效果,降低了多晶硅还原炉运行过程中因绝缘低而造成的接地问题,避免了电极槽内部积灰造成的缺相和绝缘问题,减少了电极附近的污染。

    一种还原炉底盘清洗设备
    12.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209393667U

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201821815127.9

    申请日:2018-11-05

    IPC分类号: B08B7/00 C01B33/035

    摘要: 本实用新型提供一种还原炉底盘清洗设备,其包括激光清洗装置和与之连接的自动夹持装置;所述激光清洗装置用于在所述自动夹持装置的控制下,沿预设路径对还原炉底盘的表面进行激光清洗。本实用新型将激光清洗技术引入至多晶硅领域,通过自动夹持装置的自动化控制手段,控制激光清洗装置自动清洗还原炉底盘表面的积垢,实现了还原炉底盘表面的自动清洗,还可以清洗到以往物理清洗方法无法彻底清理的死角,解决了现有技术中存在的清洗效果不佳、清洗不彻底、引入新的污染源和浪费人力的问题。